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本实用新型公开了一种荧光式刻蚀机温度测量装置，属于温度检测技术领域，包括解调单元、传输光缆、荧光式传感头以及刻蚀机，刻蚀机内安装有静电卡盘、晶圆托盘和刻蚀机台基板，传输光缆的一端设有可调行程接头，可调行程接头包括接头安装件、封盖件以及限位螺...
该专利属于南京五石金传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京五石金传感技术有限公司授权不得商用。

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