热电偶制造技术

本揭示的目的在于提供一种与以往的热电偶相比能够一方面维持温度响应性及生产性一方面防止测温触点部的强度降低的热电偶。本发明专利技术的热电偶(1)具有2根线(2、3)及夹持构件(4)，夹持构件(4)将2根线(2、3)的前端部以彼此并列接触的状态夹持，由此设置测温触点部(5)，当将2根线(2、3)的直径分别设为d1、d2(其中d1≧d2)，将测温触点部(5)的2根线(2、3)的长度方向的长度设为L，将测温触点部(5)的2根线(2、3)的并列方向的最大宽度设为D，将测温触点部(5)的横截面的与并列方向正交的方向上的最大宽度设为E时，满足以下的式(1)～(3)。式(1)0.5×(d1+d2)≦L≦5×(d1+d2)；式(2)1×(d1+d2)＜D≦5×(d1+d2)；式(3)1.4×d1＜E≦8×d1。

Thermocouple

The purpose of this revelation is to provide a thermocouple which can maintain the temperature responsiveness and productivity on the one hand and prevent the strength of temperature measuring contacts from decreasing compared with the previous thermocouples. The thermocouple (1) of the present invention has two lines (2, 3) and a clamping member (4). The clamping member (4) clamps the front ends of two lines (2, 3) in a state of parallel contact with each other, thereby setting the temperature measuring contact part (5). When the diameters of two lines (2, 3) are set to D1 and D2 respectively (where D1 is greater than d2), the length direction of two lines (2, 3) of the temperature measuring contact part (5) is set to L, and the length direction of the temperature measuring contact part (5) is set to L. When the maximum width of parallel direction of line (2, 3) is set to D and the maximum width of cross section of temperature measuring contact (5) is set to E in the direction orthogonal to parallel direction, the following formula (1) ~ (3) is satisfied. Formula (1) 0.5 * (d1 + d2) = L < 5 * (d1 + d2); Formula (2) 1 * (d1 + d2) < D < 5 * (d1 + d2); Formula (3) 1.4 * D1 < E < 8 * d1.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】热电偶
本揭示涉及一种热电偶。
技术介绍
在半导体制造领域中，必须进行制程的温度管理，而需使用R热电偶或S热电偶等高精度的热电偶。制程中还存在常用温度超过1100℃的温度范围。在这种温度范围中，会发生形成线的结晶粒横截线径的所谓竹节结构而热电偶容易断裂的情况。为了抑制该断线，开发出使用控制组织的线的热电偶(例如参照专利文献1)，或使用经氧化物分散强化的线的热电偶(例如参照专利文献2)，达成热电偶的长寿命化。已有揭示有一种热电偶的固定具(例如参照专利文献3)，该固定具具备：导热部，插入到设置在被测温物的孔部；热电偶的保持部，设置在导热部；及可弹性变形的多根足部，与导热部连续形成；且将足部插入到孔部并通过其弹性力将导热部支撑于孔部，由此将热电偶固定于被测温物。揭示有一种移动铸片的表面温度测定方法，将使套管式热电偶的前端温触点部位于其内部的埋入用金属片埋入并固接在铸片表面(例如参照专利文献4)。揭示有一种热电偶的安装结构，设置有用来将接合的热电偶的线固定在测定对象部位的上部或附近的加强构件(例如参照专利文献5)。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本专利特开2015-200014号公本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热电偶，其特征在于，包含2根线及夹持构件，该夹持构件将所述2根线的前端部以彼此并列接触的状态夹持，由此设置测温触点部，且当将所述2根线的直径分别设为d1、d2(其中d1≧d2)，将所述测温触点部的所述2根线的长度方向上的长度设为L，将所述测温触点部的所述2根线的并列方向上的最大宽度设为D，将所述测温触点部的横截面的与所述并列方向正交的方向上的最大宽度设为E时，满足以下的式(1)～(3)：式(1)0.5×(d1+d2)≦L≦5×(d1+d2)式(2)1×(d1+d2)＜D≦5×(d1+d2)式(3)1.4×d1＜E≦8×d1。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.29 JP 2016-149754;2016.10.20 JP 2016-206121.一种热电偶，其特征在于，包含2根线及夹持构件，该夹持构件将所述2根线的前端部以彼此并列接触的状态夹持，由此设置测温触点部，且当将所述2根线的直径分别设为d1、d2(其中d1≧d2)，将所述测温触点部的所述2根线的长度方向上的长度设为L，将所述测温触点部的所述2根线的并列方向上的最大宽度设为D，将所述测温触点部的横截面的与所述并列方向正交的方向上的最大宽度设为E时，满...

【专利技术属性】
技术研发人员：丸子智弘，宫泽智明，齐藤匠司，大川裕也，森田健介，新井义照，
申请(专利权)人：株式会社古屋金属，
类型：发明
国别省市：日本,JP