基板翘曲检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种基板翘曲检测装置，其包括：载台，设有工作面，所述载台的工作面上设有用以放置基板的放置区；定位机构，设于所述载台的工作面上，用以定位基板；传感器，用以检测基板的边缘位置；以及控制系统，用以接收所述传感器的检测信号。上述基板翘曲检测装置，控制系统根据接收到的传感器的检测信号，判断基板是否发生了翘曲，发生翘曲的程度是否影响后续的生产制造。若检测出基板的翘曲程度超出了正常翘曲误差的标准，则可将其判定为不合格品。有效避免了阵列基板制造过程中产生碎片的情况，进而避免了因碎片而导致的设备故障。

【技术实现步骤摘要】
基板翘曲检测装置
本技术涉及显示
，特别是涉及一种基板翘曲检测装置。
技术介绍
显示
的阵列基板包括基板、无机层、金属层等。具体的，基板为阵列基板的基础层，然后在基板上依次形成无机层、金属层等。基板在制造或存放过程中容易发生翘曲。由于基板的厚度较小，一些细微的翘曲不易被发现。若将具有翘曲缺陷的基板用于阵列基板的制作中，在形成无机层、金属层时，容易因基板的翘曲缺陷导致形成于基板上的无机层等碎裂，严重的可能导致设备故障。
技术实现思路
基于此，有必要针对基板的翘曲问题，提供一种有效检测基板翘曲度的基板翘曲检测装置。一种基板翘曲检测装置，包括：载台，设有工作面，所述载台的工作面上设有用以放置基板的放置区；定位机构，设于所述载台的工作面上，用以定位基板；传感器，用以检测基板的边缘位置；以及控制系统，用以接收所述传感器的检测信号。上述基板翘曲检测装置，控制系统根据接收到的传感器的检测信号，判断基板是否发生了翘曲，发生翘曲的程度是否影响后续的生产制造。若检测出基板的翘曲程度超出了正常翘曲误差的标准，则可将其判定为不合格品。有效避免了阵列基板制造过程中产生碎片的情况，进而避免了因碎片而导致的设备故障。在其中一个实施例中，所述载台为大理石载台。在其中一个实施例中，所述载台的放置区边缘设有凹槽，所述传感器设于所述凹槽内。在其中一个实施例中，所述传感器设置为四个，分别检测基板的四个拐角处的位置。在其中一个实施例中，所述传感器为光纤传感器、超声波测距传感器、激光测距传感器或红外线测距传感器。在其中一个实施例中，所述定位机构包括固定设于所述载台的工作面上的用以定位基板两个相邻侧边的位置的定位件、以及可活动的设于所述载台的工作面上的用以限制基板移动的限位件。在其中一个实施例中，所述定位件为定位轮，所述限位件为限位轮。在其中一个实施例中，所述定位机构还包括用以驱动所述限位件移动的驱动组件。在其中一个实施例中，还包括用以接收所述控制系统的警报信号的报警器。在其中一个实施例中，还包括用于取放基板的升降顶针。附图说明图1为本技术一实施例的基板翘曲检测装置的俯视图。图2为图1所示的基板翘曲检测装置A-A向视图。图3为无翘曲基板放置在图2所示基板翘曲检测装置上的结构示意图。图4为翘曲基板放置在图2所示基板翘曲检测装置上的结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1至图4所示，本技术一实施例提供的基板翘曲检测装置100，其包括载台110、用以定位基板的定位机构130、用以检测基板的边缘位置的传感器150、以及用以接收传感器150的检测信号的控制系统。其中，载台110设有工作面111。载台110的工作面111上设有用以防止基板的放置区113。定位机构130设于载台110的工作面111上。需要说明的是，放置区113的大小等于基板的大小，通过定位机构130将基板限位放置在放置区113内。通过传感器150检测基板的边缘位置，判断基板是否发生了翘曲，发生翘曲的程度是否影响后续的生产制造。若检测出基板的翘曲程度超出了正常翘曲误差的标准，则可将其判定为残次品。只有检测的基板的翘曲程度满足正常的翘曲误差标准时，才将该基板用于阵列基板的制造，有效避免了阵列基板制造过程中产生碎片的情况，进而避免了因碎片而导致的设备故障。本实施例中，载台110呈长方体状。结果简单，易于加工。工作面111为载台110的上表面。当然，载台110还可以呈圆柱体状等其他规则或不规则的结构。本实施例中，载台110为大理石载台。大理石载台平整度好且不易变形，增加基板翘曲检测的准确性。当然，载台110还可以是不易变形的合金载台等。根据基板的翘曲位置设置传感器150的检测位置。本实施例中，基板的翘曲提现在基板的四周翘起的情况，因此通过传感器150检测基板边缘位置即可判断基板的翘曲情况。具体的，本实施例中，载台110的放置区113边缘设有凹槽115，传感器150设于所述凹槽115内，从而可以检测到基板的边缘位置。优选的，本实施例中，载台110的放置区113的边缘设有四个凹槽115，相应的，每个凹槽115内设有一个传感器150。即传感器150设置为四个，分别检测基板的四个拐角处的位置。如图3所示，当基板200无翘曲缺陷时，基板200放置到载台110的放置区113后，基板200的底面各处均与放置区113所在的平面贴合。传感器150与基板200的边缘处的距离为H0。然而，如图4所示，当基板300有翘曲缺陷时，基板300放置到载台110的放置区113后，基板300的边缘位置翘起，基板200底面的边缘位置与放置区不贴合。设定传感器150与基板300的边缘处的距离为H，显然，H＞H0。需要说明的是，当基板300的翘曲缺陷很小时，是不会影响到后续的阵列基板的生产的，只有达到某一翘曲临界值时，才会影响到阵列基板的制作。此处假定基板的翘曲临界值为Hm。当然，根据基板的应用环境不同，具体确定基板的翘曲临界值。本实施例中，传感器150为光纤传感器。调整传感器150的感应距离为Hm，当传感器150能检测到基板300的边缘时，H＜H0+Hm，基板的翘曲缺陷较小，不影响后续阵列基板的制作及后续的应用，基板300为合格品。当传感器150不能检测到基板300的边缘时，H＞H0+Hm，基板的翘曲缺陷较大，且会影响后续阵列基板的制作及后续的应用，基板300为不合格品。当然，传感器150不限于光纤传感器，还可以是其他测距传感器，如超声波测距传感器、激光测距传感器或红外线测距传感器等。测距传感器可以直接测得其与基板300的边缘之间的距离H，然后通过比较H与H0+Hm，判断基板300是否合格。需要说明的是，还可以将传感器设置在基板的上方。具体的，在另外的实施例中，载台110上设有支撑架。传感器150固定设于支撑架上，且位于所述放置区的上方。此时需要比较H与H0-Hm，来判断基板是否合格。本实施例中，定位机构130包括固定设于载台110的工作面111上的用以定位基板两个相邻侧边的位置的定位件131、以及可活动的设于载台110的工作面111上的用以限制基板移动的限位件133。具体的，本实施例中，定位件131为定位轮，限位件133为限位轮。测量时，首先将基板防止在载台110的工作面111上，使得基板基本与放置区113吻合。然后通过移动限位件133，使得基板的两个相邻的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板翘曲检测装置，其特征在于，包括：载台，设有工作面，所述载台的工作面上设有用以放置基板的放置区；定位机构，设于所述载台的工作面上，用以定位基板；传感器，用以检测基板的边缘位置；以及控制系统，用以接收所述传感器的检测信号。

【技术特征摘要】
1.一种基板翘曲检测装置，其特征在于，包括：载台，设有工作面，所述载台的工作面上设有用以放置基板的放置区；定位机构，设于所述载台的工作面上，用以定位基板；传感器，用以检测基板的边缘位置；以及控制系统，用以接收所述传感器的检测信号。2.根据权利要求1所述的基板翘曲检测装置，其特征在于，所述载台为大理石载台。3.根据权利要求1所述的基板翘曲检测装置，其特征在于，所述载台的放置区边缘设有凹槽，所述传感器设于所述凹槽内。4.根据权利要求1所述的基板翘曲检测装置，其特征在于，所述传感器设置为四个，分别检测基板的四个拐角处的位置。5.根据权利要求1所述的基板翘曲检测装置，其特征在于，所述传感器为光纤传感器、超声波测距传感器、...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘成，崔永鑫，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13