The invention discloses a silicon crystal material detection system and a universal integral sphere structure, which includes a computer, a light source device, a camera and a universal integral sphere structure. The universal integral sphere structure includes a body, a movable part, a filter and a driving mechanism. The body has a spherical cavity, and a light inlet hole and an light outlet hole are arranged on the body. The light outlet is connected with a spherical cavity; the movable part is movably arranged on the body and beside the side of the light inlet hole, and the filters are arranged on the movable part alternately opposite the light inlet hole with the movable part moving; the driving mechanism is arranged on the body and drives the movable part moving. By using the driving mechanism to drive the movable parts to move, the filters can alternately align with the movable parts to enter the spherical cavity by choosing the light sources of different wavelengths, so that the integrating sphere can generate different light sources to meet the detection requirements of different products, which has strong versatility and brings convenience to the detection operation.
【技术实现步骤摘要】
硅晶材料检测系统及其通用型积分球结构
本专利技术涉及检测设备领域技术,尤其是指一种硅晶材料检测系统及其通用型积分球结构。
技术介绍
晶片或晶柱等硅晶材料制作完成后均需要进行检测,以检测其是否存在气泡、针孔等缺陷,检测时主要配合光源和摄像头,为了能够达到检测,照射到检测工件上的光源需要非常分散,现有技术中,主要透过积分球来进行光线的分散。然而,不同的硅晶材料需要使用不同波长的光源,目前的积分球只能产生一种波长的光源,当需要更换另一种光源时,需要对外部的光源装置进行更换,通用性不好,给检测作业带来麻烦。并且,由于光源会衰减,在检测过程中无法及时知晓光源衰减,从而导致检测结果不准确。因此,有必要研究一种方案,以解决上述问题。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术针对现有技术存在之缺失,其主要目的是提供一种硅晶材料检测系统及其通用型积分球结构,其能有效解决现有之积分球通用性不好并且无法及时知晓光源衰减的问题。为实现上述目的,本专利技术采用如下之技术方案:一种通用型积分球结构,包括有一本体、一活动件、至少两个过滤不同光波的滤光片以及一驱动机构;该本体内具有一球形空腔,本体上开设有一进光孔和一出光孔,该进光孔和出光孔均连通球形空腔;该活动件可活动地设置于本体上并位于进光孔的侧旁,各滤光片均设置于活动件上随活动件活动而交替正对进光孔;该驱动机构设置于本体上并带动活动件活动。作为一种优选方案,所述进光孔位于本体的侧面,该出光孔位于本体的顶部。作为一种优选方案,所述本体的侧面还开设有连通球形空腔的光源取样孔。作为一种优选方案,所述活动件为圆盘结构,该活动件可转动地安装在本体的外侧 ...
【技术保护点】
1.一种通用型积分球结构,其特征在于:包括有一本体、一活动件、至少两个过滤不同光波的滤光片以及一驱动机构;该本体内具有一球形空腔,本体上开设有一进光孔和一出光孔,该进光孔和出光孔均连通球形空腔;该活动件可活动地设置于本体上并位于进光孔的侧旁,各滤光片均设置于活动件上随活动件活动而交替正对进光孔;该驱动机构设置于本体上并带动活动件活动。
【技术特征摘要】
1.一种通用型积分球结构,其特征在于:包括有一本体、一活动件、至少两个过滤不同光波的滤光片以及一驱动机构;该本体内具有一球形空腔,本体上开设有一进光孔和一出光孔,该进光孔和出光孔均连通球形空腔;该活动件可活动地设置于本体上并位于进光孔的侧旁,各滤光片均设置于活动件上随活动件活动而交替正对进光孔;该驱动机构设置于本体上并带动活动件活动。2.根据权利要求1所述的通用型积分球结构,其特征在于:所述进光孔位于本体的侧面,该出光孔位于本体的顶部。3.根据权利要求1所述的通用型积分球结构,其特征在于:所述本体的侧面还开设有连通球形空腔的光源取样孔。4.根据权利要求1所述的通用型积分球结构,其特征在于:所述活动件为圆盘结构,该活动件可转动地安装在本体的外侧面上,活动件的表面周缘开设有多个安装孔,各滤光片嵌于对应的安装孔中固定,该驱动机构带动活动件转动。5.根据权利要求4所述的通用型积分球结构,其特征在于:所述本体上具有安装座,该活动件位于...
【专利技术属性】
技术研发人员:林火旺,廖文民,刘立清,
申请(专利权)人:东莞市庆颖智能自动化科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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