一种钛旋转靶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种钛旋转靶，包括第一铜辅助部、钛靶主体、第二铜辅助部，所述第一铜辅助部、钛靶主体、第二铜辅助部顺次连接形成管状结构，所述第一铜辅助部和第二铜辅助部为对称结构，所述第一铜辅助部为台阶状结构，包括第一直径段、第二直径段、第三直径段，所述第一直径段、第二直径段、第三直径段顺次连接为一体结构，所述第一直径段外侧设置有外螺纹，所述第三直径段外侧设置有外螺纹，所述钛靶主体采用高纯钛材料制成，所述钛靶主体为T字形结构，其两侧端部设置有内螺纹，所述钛靶主体两侧端部设置的内螺纹和第三直径段外侧设置的外螺纹配合连接，装配简单，使用方便，降低了成本。

A Titanium Rotary Target

The utility model discloses a titanium rotating target, which comprises a first copper auxiliary part, a titanium target main body and a second copper auxiliary part. The first copper auxiliary part, a titanium target main body and a second copper auxiliary part are connected sequentially to form a tubular structure. The first copper auxiliary part and the second copper auxiliary part are symmetrical structures, and the first copper auxiliary part is a step structure, including the first diameter section and the second diameter section. The first diameter section, the second diameter section and the third diameter section are connected sequentially as one structure. The outer threads are arranged on the outer side of the first diameter section, and the outer threads are arranged on the outer side of the third diameter section. The titanium target body is made of high purity titanium material. The titanium target body is T-shaped structure, and the two ends of the titanium target body are provided with internal threads, and the two sides of the titanium target body are provided with internal threads. The inner thread set at the end and the outer thread set at the outer side of the third diameter section are joined together. The assembly is simple, the use is convenient and the cost is reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种钛旋转靶
本技术属于靶材
，具体涉及一种钛旋转靶。
技术介绍
物理气相沉积PVD被广泛地应用在光学、电子、信息等高端产业中，例如：集成电路、液晶显示器、工业玻璃、照相机镜头、信息存储、船舶、化工等。PVD中使用的金属靶材组件则是集成电路、液晶显示器等制造过程中最重要的原材料之一。钛靶是一种比较典型的金属靶材，钛靶的抗腐蚀性能好，电磁屏蔽性能好。钛靶广泛应用在装饰和功能镀膜工业、平面显示工业、光数据存储工业、光通讯工业等行业,是一种具有高附加值的特种电子材料,国内外对优质高纯度的靶材需求越来越大,具有良好的市场前景。目前，轧制更大尺寸的溅射靶材在设备及技术上均超出了绝大多数靶材生产厂商的能力。平面靶材在溅射过程中只沿磁场回路发生刻蚀，在靶材表面形成跑道，靶材利用率最多在30％，而且平面靶材需要频繁更换,难以进行连续生产；靶材与铜背板一般是通过钎焊的方式做绑定，绑定质量靶材与铜背板的绑定质量较差，影响后续镀膜工艺的稳定性、成膜的质量等。
技术实现思路
本技术解决了现有技术的不足，提供一种钛靶主体与铜辅助部通过螺纹配合连接的钛旋转靶，装配简单，使用方便。本技术所采用的技术方案是：一种钛旋转靶，包括第一铜辅助部、钛靶主体、第二铜辅助部，所述第一铜辅助部、钛靶主体、第二铜辅助部顺次连接形成管状结构，所述第一铜辅助部和第二铜辅助部为对称结构，所述第一铜辅助部为台阶状结构，包括第一直径段、第二直径段、第三直径段，所述第一直径段、第二直径段、第三直径段顺次连接为一体结构，所述第一直径段的外径小于第二直径段的外径，所述第一直径段的内径大于第二直径段的内径，所述第一直径段外侧设置有外螺纹，所述第三直径段外径小于第二直径段外径，所述第三直径段内径等于第二直径段外径，所述第三直径段外侧设置有外螺纹，所述钛靶主体采用高纯钛材料制成，所述钛靶主体为T字形结构，其两端延伸的凸起环套设于第三直径段外，所述钛靶主体两侧端部设置有内螺纹，且所述钛靶主体两侧端部设置的内螺纹和第三直径段外侧设置的外螺纹配合连接。优选的，所述第一铜辅助部外侧左端部设置有倒角，所述第二铜辅助部外侧右端部设置有倒角。更优选的，所述钛靶主体长度为600mm。相较于现有技术，本技术具有的有益效果：一种钛旋转靶，包括第一铜辅助部、钛靶主体、第二铜辅助部，所述第一铜辅助部包括第一直径段、第二直径段、第三直径段，所述第三直径段外侧设置有外螺纹，所述钛靶主体两侧端部设置有内螺纹，所述钛靶主体两侧端部设置的内螺纹和第三直径段外侧设置的外螺纹配合连接，钛靶主体与铜辅助部不用通过钎焊的方式绑定，装配方便，大大简化了工艺程序，提高了效率，而且钛靶使用后，拆除靶材废料铜辅助部，铜辅助部可以二次使用，降低了成本；通过第三直径段外侧设置的外螺纹和镀膜设备连接，简单方便，所述钛靶主体采用高纯钛材料制成，保证了金属薄膜材料的性能。附图说明图1是本技术结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术进行详细说明。一种钛旋转靶，参阅图1，包括第一铜辅助部1、钛靶主体2、第二铜辅助部3，所述第一铜辅助部1、钛靶主体2、第二铜辅助部3顺次连接形成管状结构，所述第一铜辅助部1和第二铜辅助部3为对称结构，所述第一铜辅助部1为台阶状结构，包括第一直径段11、第二直径段12、第三直径段13，所述第一直径段11、第二直径段12、第三直径段13顺次连接为一体结构，所述第一直径段11外径为87.4mm、内径为81.8mm、长度为15mmm，所述第二直径段12外径为89.4mm、内径为80.8mm、长度为10mmm，所述第三直径段13的外径为85.4mm、内径为80.8mm、长度为18mmm，所述第一直径段11外侧设置有外螺纹，所述第三直径段13外侧设置有外螺纹，通过第三直径段外侧设置的外螺纹和镀膜设备连接，简单方便，所述钛靶主体2采用高纯钛材料制成，保证了金属薄膜材料的性能，所述钛靶主体2为T字形结构，其两端延伸的凸起环21套设于第三直径段13外，所述钛靶主体2长度为600mm、外径为89.4mm、内径为80.8mm，所述钛靶主体2内侧端部设置有内螺纹，所述钛靶主体2两侧端部设置的内螺纹和第三直径段13外侧设置的外螺纹配合连接，钛靶主体2与铜辅助部不用通过钎焊的方式绑定，装配方便，大大简化了工艺程序，提高了效率，而且钛靶使用后，拆除靶材废料铜辅助部，铜辅助部可以二次使用，降低了成本。继续参阅图1，所述第一铜辅助部1外侧左端部设置有倒角，所述第二铜辅助部3外侧右端部设置有倒角，方便了和镀膜设备连接。使用时，将钛靶主体2两侧端部设置的内螺纹和第三直径段外侧设置的外螺纹配合连接，将钛靶主体2两侧端部设置的内螺纹和第三直径段13外侧设置的外螺纹配合连接，钛靶主体2与铜辅助部不用通过钎焊的方式绑定，装配方便，大大简化了工艺程序，提高了效率，而且钛靶使用后，拆除靶材废料铜辅助部，铜辅助部可以二次使用，降低了成本。上述实施例，只是本技术的较佳实施例，并非用来限制本技术的实施范围，故凡以本技术权利要求所述内容所做的等同变化，均应包括在本技术权利要求范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钛旋转靶，其特征在于，包括第一铜辅助部(1)、钛靶主体(2)、第二铜辅助部(3)，所述第一铜辅助部(1)、钛靶主体(2)、第二铜辅助部(3)顺次连接形成管状结构，所述第一铜辅助部(1)和第二铜辅助部(3)为对称结构，所述第一铜辅助部(1)为台阶状结构，包括第一直径段(11)、第二直径段(12)、第三直径段(13)，所述第一直径段(11)、第二直径段(12)、第三直径段(13)顺次连接为一体结构，所述第一直径段(11)的外径小于第二直径段的外径，所述第一直径段(11)的内径大于第二直径段(12)的内径，所述第一直径段(11)外侧设置有外螺纹，所述第三直径段(13)外径小于第二直径段(12)外径，所述第三直径段(13)内径等于第二直径段(12)外径，所述第三直径段(13)外侧设置有外螺纹，所述钛靶主体(2)采用高纯钛材料制成，所述钛靶主体(2)为T字形结构，其两端延伸的凸起环(21)套设于第三直径段(13)外，所述钛靶主体(2)两侧端部设置有内螺纹，且所述钛靶主体(2)两侧端部设置的内螺纹和第三直径段(13)外侧设置的外螺纹配合连接。

【技术特征摘要】
1.一种钛旋转靶，其特征在于，包括第一铜辅助部(1)、钛靶主体(2)、第二铜辅助部(3)，所述第一铜辅助部(1)、钛靶主体(2)、第二铜辅助部(3)顺次连接形成管状结构，所述第一铜辅助部(1)和第二铜辅助部(3)为对称结构，所述第一铜辅助部(1)为台阶状结构，包括第一直径段(11)、第二直径段(12)、第三直径段(13)，所述第一直径段(11)、第二直径段(12)、第三直径段(13)顺次连接为一体结构，所述第一直径段(11)的外径小于第二直径段的外径，所述第一直径段(11)的内径大于第二直径段(12)的内径，所述第一直径段(11)外侧设置有外螺纹，所述第三直径段(13)外径小于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓辉，丁拉会，
申请(专利权)人：宝鸡市杰特瑞金属材料有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61