The invention discloses a titanium-copper composite round target, which comprises a titanium round target body. The outer ring of the titanium round target body is covered with a copper ring body. The main body of the titanium round target is a circular platform structure. The outer side of the second ring body section is provided with internal threads, and the inner side is provided with external threads. The outer threads of the second cylinder section are matched and connected without brazing. The assembly is convenient and simple. The process procedure is simplified and the efficiency is improved. The main body of the titanium round target is made of high purity titanium material, which ensures the performance of the metal film material.
【技术实现步骤摘要】
一种钛铜复合圆靶
本专利技术属于靶材
，具体涉及一种钛铜复合圆靶。
技术介绍
靶材是在溅射沉积技术中用作阴极的材料，该材料能够在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积。靶材作为一种具有高附加值的特种电子材料，其被广泛用于溅射尖端技术的薄膜材料。根据应用，靶材主要包括半导休领域用靶材、记录介质用靶材、显示薄膜用靶材、先进触控屏及显示器、光学靶材和超导靶材等。钛靶材是一种比较典型的金属靶材，由于钛靶材的抗腐蚀性能好，电磁屏蔽性能好，并可以作为能源材料使用等重要的特性，故被广泛地应用在PVD中。例如：钛可以用在其他金属表面作为装饰和保护镀层使用，可以通过对钛靶材进行真空溅射的方式产生。因此，钛靶材的内部结构、晶粒的尺寸是决定最终获得的钛靶材组件是否能够满足半导体溅射需求的关键因素。
技术实现思路
本专利技术解决了现有技术的不足，提供一种包括钛圆靶主体与铜环体，不用通过钎焊的方式做绑定，结构简单、装配方便。本专利技术所采用的技术方案是：一种钛铜复合圆靶，包括钛圆靶主体，所述钛圆靶主体外环套有铜环体，所述钛圆靶主体为圆台型结构，所述钛圆靶主体包括第一圆柱段、第二圆柱段，所述第二圆柱段外侧设有外螺纹，所述铜环体包括第一环体段、第二环体段，所述第二环体段外侧设有内螺纹，其内侧设有外螺纹，与所述第二圆柱段外侧的外螺纹配合连接。优选的，所述钛圆靶主体由高纯钛材料制成。更优选的，所述第二圆柱段直径为60mm，高度为50mm。进一步更优选的，所述第二环体段上端部设置有倒角。相较于现有技术，本专利技术具有的有益效果：一种钛铜复合圆靶，包括钛圆...
【技术保护点】
1.一种钛铜复合圆靶，其特征在于，包括钛圆靶主体(1)，所述钛圆靶主体(1)外环套有铜环体(2)，所述钛圆靶主体(1)为圆台型结构，所述钛圆靶主体(1)包括第一圆柱段(11)、第二圆柱段(12)，所述第二圆柱段(12)外侧设有外螺纹，所述铜环体(2)包括第一环体段(21)、第二环体段(22)，所述第二环体段(22)外侧设有内螺纹，其内侧设有外螺纹，与所述第二圆柱段(12)外侧的外螺纹配合连接。
【技术特征摘要】
1.一种钛铜复合圆靶，其特征在于，包括钛圆靶主体(1)，所述钛圆靶主体(1)外环套有铜环体(2)，所述钛圆靶主体(1)为圆台型结构，所述钛圆靶主体(1)包括第一圆柱段(11)、第二圆柱段(12)，所述第二圆柱段(12)外侧设有外螺纹，所述铜环体(2)包括第一环体段(21)、第二环体段(22)，所述第二环体段(22)外侧设有内螺纹，其内侧设有...
【专利技术属性】
技术研发人员：石璋，
申请(专利权)人：宝鸡市华烨钛镍金属有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61
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