The invention discloses a method for measuring the product surface of contour Fresnel structure, which comprises the following steps: 1. Constructing contour Fresnel equation by using residual function, and the formula is as follows:
【技术实现步骤摘要】
一种测量等高菲涅尔结构产品面型的方法
本专利技术涉及产品面型测量方法
，尤其涉及一种测量等高菲涅尔结构产品面型的方法。
技术介绍
菲涅尔透镜又称螺纹透镜，是由法国物理学家奥古斯汀·菲涅尔专利技术的，它一般是由聚烯烃材料注压而成的薄片，其镜片表面一面为光面，另一面刻录了由小到大的同心圆螺纹，这些螺纹是利用光的干涉及扰射和根据相对灵敏度和接收角度要求来设计的。菲涅尔透镜的制作要求很高，一个优质的透镜必须是表面光洁，纹理清晰，其厚度随用途而变，大多在1mm左右，面积较大，在很多时候相当于红外线及可见光的凸透镜，效果较好，虽然比整个都是由玻璃材料构成的普通凸透镜略差点，但成本却比普通的凸透镜低很多，常用于对精度要求不是很高的场合，如幻灯机、薄膜放大镜、红外探测器等。在现有的菲涅尔测量方法已经遇到了瓶颈问题：1、如何使用方程式表达等高Fresnel结构、编译程序使得UA3P能够读取等高Fresnel方程式；2、当探针运行在高坡度（>60°）时，探针爬升方向断针风险高，如何降低探针断的风险；3、当探针最小角度单边15°，在每个齿形测量时会出现0.0425~0.05...
【技术保护点】
1.一种测量等高菲涅尔结构产品面型的方法，其特征在于，包括有以下步骤：步骤一，使用求余函数构建等高菲涅尔方程式，公式如下：
【技术特征摘要】
1.一种测量等高菲涅尔结构产品面型的方法，其特征在于，包括有以下步骤：步骤一，使用求余函数构建等高菲涅尔方程式，公式如下：步骤二，将等高菲涅尔方程式的结果采用C++编译程序导入UA3P建立等高菲涅尔模型；步骤三，采用UA3P原子力探头接触式测量，编写NC走针路程程序，使得90°方向走针为下针模式，最大限度保证探针运行安全，测量两个半径后拼接为整个2D面型；步骤四，使用DataTool工具将拼接后的点位资料转换成UA3P可以读取的二进制编码，进行数据拼接及转换；步骤五，过滤拔模角、高角度干涉数据区域，截取面型真实数据进行分析，输出测量结果。2.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李飞鹏，
申请(专利权)人：东莞市凯融光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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