The present disclosure discloses a virtual sensor array comprising a heating substrate, a sensor substrate, a nano gas sensing material and a test electrode, and also discloses a method for preparing a virtual sensor array. The sensor is made of nanometer gas sensitive material, and the experimental temperature is changed by pulse heating voltage to form a virtual sensor array, which can reduce the size of the sensor physical array, facilitate on-line monitoring of power equipment, and effectively reduce working energy consumption.
【技术实现步骤摘要】
一种虚拟传感器阵列及其制备方法
本公开属于气体分解产物检测领域，具体涉及一种虚拟传感器阵列及其制备方法。
技术介绍
六氟化硫(SF6)因优异的绝缘性能和灭弧性能被大规模应用于气体绝缘组合电器(GIS)、变压器、互感器等电力设备之中。当这些电力设备内部发生电弧、火花或电晕放电时，部分SF6气体分子在高温放电作用下发生分解等一系列反应，最终生成几种典型的稳定的分解产物：硫化氢(H2S)、二氧化硫(SO2)、氟化亚硫酰(SOF2)、氟化硫酰(SO2F2)等。这些有毒化合物不仅威胁到维护人员的健康，也会加速设备绝缘老化并且腐蚀设备的金属表面，最终可能引发GIS故障，给电力系统安全运行造成隐患。上述SF6放电分解产物的含量与放电类型和放电强度均有关，可通过检测分解产物的种类与含量进行电力设备故障诊断。基于纳米材料的气体传感器体积小，成本低，可靠性高，便于应用于电力设备在线监测等特点。但现有研究中对其工作温度的要求通常较高，且一种纳米材料对应的传感器常常对几种测试气体均有响应，即此类传感器的交叉敏感问题是限制传感器应用的重要因素。为达到合适的工作温度，需要给传感器施加一定的加...
【技术保护点】
1.一种虚拟传感器阵列，包括：加热基底、传感器衬底、测试电极和纳米气敏材料；其中，所述传感器衬底置于所述加热基底上；所述传感器衬底上刻有所述测试电极；所述测试电极引出电极引线；所述纳米气敏材料涂覆于所述测试电极表面的中央区域。
【技术特征摘要】
1.一种虚拟传感器阵列，包括：加热基底、传感器衬底、测试电极和纳米气敏材料；其中，所述传感器衬底置于所述加热基底上；所述传感器衬底上刻有所述测试电极；所述测试电极引出电极引线；所述纳米气敏材料涂覆于所述测试电极表面的中央区域。2.根据权利要求1所述的虚拟传感器阵列，其特征在于，优选的，所述传感器衬底的制备材料包括如下任一：二氧化硅、氮化硅、氧化铝和陶瓷片。3.根据权利要求1所述的虚拟传感器阵列，其特征在于，所述加热基底的制备材料为金-镍或铂。4.根据权利要求1所述的虚拟传感器阵列，其特征在于，所述测试电极和所述测试端子的制备材料包括如下任一：金、铂、银-钯。5.根据权利要求1所述的虚拟传感器阵列，其特征在于，所述测试电极为叉指电极。6.一种制备权利要求1所述的虚拟传感器阵列的方法，包括如下步骤：S100：传感器基底加工：在传感器衬底表面上加工出叉指状电...
【专利技术属性】
技术研发人员：王小华，李渭娟，褚继峰，王大伟，兰天松，杨旭，杨爱军，荣命哲，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61
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