The utility model discloses a non-contact substrate grabbing and transporting device, which relates to the technical field of transporting. It solves the problem that in the process of transporting the substrate by the transporting device, the rotating fan blade needs to have a larger rotating speed so as to make the transporting device sufficiently attractive to the substrate, resulting in high energy consumption and low suction of the transporting device. The lower surface of the grabbing plate is provided with a plurality of swirling parts, and the connecting lines between the adjacent swirling parts form a polygonal area; the swirling parts include the main body and the cavity placed in the main body; the upper surface of the main body is provided with an air supply port, one end of the air supply port is connected with the cavity, and the other end is connected with the air supply device; the lower surface of the main body is provided with a cyclone cavity, which is described in this paper. The inner wall of the cyclone chamber is provided with several swirl incisions connected with the cavity, which can reduce the energy consumption of the conveying device and improve the suction of the conveying device.
【技术实现步骤摘要】
一种无接触基板抓取搬运装置
本技术涉及搬运
,更具体地说,它涉及一种无接触基板抓取搬运装置。
技术介绍
在现代工业生产中,使用装卸装置对工件进行拾取和搬运的时候,会存在大量接触的情况。接触搬运装置通常会使工件表面划伤或者产生静电。由于接触搬运装置在搬运的过程中会对搬运产品产生不良影响,非接触搬运技术得以快速运用在高端硅片的搬运中。现检索到公告号为CN102101296B,公告日为2015年5月13的中国专利,该方案公开了一种搬运装置,包括带有圆筒状内孔的罩体、位于罩体内的旋回扇叶以及带动旋回扇叶旋转的动力输入轴;所述罩体的顶端中心位置设置有动力输入轴安装孔以及分布于动力输入轴安装孔四周的吸气口;旋回扇叶由轴套和均匀分布在轴套上的叶片构成,所述的叶片下部垂直,上部弯曲,并且叶片弯曲的方向与旋回扇叶旋转的方向一致;所述的动力输入轴一端穿过动力输入轴安装孔与位于罩体内的旋回扇叶的轴套连接,另一端与位于罩体外的旋转驱动装置连接。上述引用文件中的搬运装置,在搬运装置搬运基板的过程中,需要旋回扇叶具有较大的转速,才能使搬运装置具有足够吸引基板的吸力,导致搬运装置能耗高以及吸力较小。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种无接触基板抓取搬运装置,具有降低搬运装置的能耗,提高搬运装置吸力的效果。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种无接触基板抓取搬运装置,包括搬运架和与搬运架固定连接的抓取板;所述抓取板下表面设有多个旋流件,相邻旋流件之间连线围合形成多边形区域;所述旋流件包括主体和置于主体内的空腔;所述主体上表面设有供气口,供气口一端与空腔连通,另一端与供气装 ...
【技术保护点】
1.一种无接触基板抓取搬运装置,其特征是:包括搬运架(1)和与搬运架(1)固定连接的抓取板(11);所述抓取板(11)下表面设有多个旋流件(2),相邻旋流件(2)之间连线围合形成多边形区域;所述旋流件(2)包括主体(26)和置于主体(26)内的空腔(23);所述主体(26)上表面设有供气口(22),供气口(22)一端与空腔(23)连通,另一端与供气装置连接;所述主体(26)下表面设有旋风腔(27),所述旋风腔(27)内侧壁设有多个与空腔(23)连通的旋流切口(24)。
【技术特征摘要】
1.一种无接触基板抓取搬运装置,其特征是:包括搬运架(1)和与搬运架(1)固定连接的抓取板(11);所述抓取板(11)下表面设有多个旋流件(2),相邻旋流件(2)之间连线围合形成多边形区域;所述旋流件(2)包括主体(26)和置于主体(26)内的空腔(23);所述主体(26)上表面设有供气口(22),供气口(22)一端与空腔(23)连通,另一端与供气装置连接;所述主体(26)下表面设有旋风腔(27),所述旋风腔(27)内侧壁设有多个与空腔(23)连通的旋流切口(24)。2.根据权利要求1所述的一种无接触基板抓取搬运装置,其特征是:所述主体(26)设有四个旋流切口(24),相邻旋流切口(24)的旋出方向相互垂直。3.根据权利要求1所述的一种无接触基板抓取搬运装置,其特征是:所述旋风腔(27)顶壁设有凸台(25),多个旋流切口(24)沿凸台(25)四周均匀分布。4.根据权利要求1所述的一种无接触基板抓取搬运装置,其特征是:所述旋流件(2)为顺时针旋流器(21)或逆时针旋...
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