柔性基板及其制作方法、阵列基板、显示面板和显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种柔性基板及其制作方法、阵列基板、显示面板和显示装置，柔性基板包括设置在衬底上的至少一层图案层和至少一层阻挡层，且至少一层所述图案层包括设在所述衬底上的第一图案层以及至少部分图案位于所述第一图案层上的第二图案层，所述阻挡层覆盖所述衬底、所述第一图案层和所述第二图案层，其中，所述图案层和覆盖在所述图案层上的所述阻挡层中其中一个为无机膜层，另一个为有机膜层。本发明专利技术提供的柔性基板解决了现有柔性显示屏中有机膜层和无机膜层之间容易出现分离的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
柔性基板及其制作方法、阵列基板、显示面板和显示装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种柔性基板及其制作方法、阵列基板、显示面板和显示装置。
技术介绍
柔性显示屏因具有可弯曲或可折叠等特点已被广泛用于便携式电子器件(例如可以用于移动通讯终端、平板电脑、电子书以及导航设备)以及大屏化电子装置等诸多领域，其中，有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，简称：OLED)因具有低功耗、高色饱和度、广视角、薄厚度、能实现柔性化等优异性逐渐被应用到柔性显示屏中。目前，采用OLED的柔性显示屏通常包括：柔性基板以及设置在柔性基板上的薄膜晶体管层、若干个发光单元以及薄膜封装层，其中，柔性基板通常包括玻璃衬底和设在所述玻璃衬底上的膜层结构，其中膜层结构主要由有机膜层和无机膜层交替重叠组成。然而，柔性显示屏在弯折过程中，柔性基板中的有机膜层和无机膜层之间的粘附力较差，易出现有机膜层和无机膜层剥离或断裂的现象。
技术实现思路
针对现有技术中的上述缺陷，本专利技术提供了一种膜层结构及其制作方法、柔性基板以及柔性显示装置，以解决现有柔性显示屏中有机膜层和无机膜层粘附力较差的问题。为了实现上述目的，本专利技术提供一种柔性基板，包括：设置在衬底上的至少一层图案层和至少一层阻挡层，且至少一层所述图案层包括设在所述衬底上的第一图案层以及至少部分图案位于所述第一图案层上的第二图案层，所述阻挡层覆盖所述衬底、所述第一图案层和所述第二图案层；其中，所述图案层和覆盖在所述图案层上的所述阻挡层中其中一个为无机膜层，另一个为有机膜层。本专利技术提供的柔性基板中，图案层包括设在衬底上的第一图案层以及至少部分图案位于第一图案层上的第二图案层，阻挡层覆盖衬底、第一图案层和第二图案层，且图案层和覆盖在图案层上的阻挡层中其中一个为无机膜层，另一个为有机膜层，这样阻挡层与第一图案层和第二图案层的图案均进行接触，从而增大了阻挡层与图案层之间的接触面积，这样阻挡层与图案层之间的粘附力增大，此外，阻挡层与衬底中其中一个为有机膜层，另一个为无机膜层时，衬底与图案层为属性相同的膜层，这样阻挡层覆盖在衬底上时，阻挡层与衬底之间由于图案层的存在而使得阻挡层与衬底的接触面积增大，这样阻挡层与衬底之间的粘附力增强，阻挡层与衬底之间间不易发生剥离，因此，本专利技术实施例提供的柔性基板，解决了现有技术中柔性基板中有机膜层和无机膜层由于粘附力差而易发生剥离的问题。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，所述图案层包括顶图案层以及设在所述衬底上的底图案层，所述阻挡层包括底阻挡层和顶阻挡层，其中，所述底阻挡层覆盖所述底图案层和所述衬底，所述顶图案层设在所述底阻挡层上，所述顶阻挡层覆盖所述顶图案层和所述底阻挡层；且所述顶图案层和所述底图案层中至少一个包括所述第一图案层和至少部分图案位于所述第一图案层上的第二图案层。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，所述图案层还包括：至少一层中间图案层，所述阻挡层还包括至少一层中间阻挡层，其中，所述中间图案层设在所述底阻挡层上，所述中间阻挡层覆盖所述中间图案层和所述底阻挡层，所述顶图案层设在所述中间阻挡层上，所述顶阻挡层覆盖所述顶图案层和所述中间阻挡层；且所述顶图案层、所述中间图案层和所述底图案层中至少一个包括所述第一图案层和至少部分图案位于所述第一图案层上的第二图案层。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，所述顶图案层、所述中间图案层和所述底图案层均包括所述第一图案层和所述第二图案层；且所述第一图案层的各个图案的中心线与相邻图案层中的所述第一图案层的各个图案的中心线在垂向上相互错开；所述第二图案层的各个图案的中心线与相邻图案层中的所述第二图案层的各个图案中心线在垂向上相互错开。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，所述第一图案层中的图案形状与相邻图案层中的所述第一图案层的图案形状不同。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，位于同一图案层中的所述第一图案层和所述第二图案层的图案形状不同。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，所述第一图案层包括间隔设置的多个第一图案，且所述第一图案在纵向上的截面形状为T型、L型或梯形。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，所述第二图案层包括间隔设置的多个第二图案，且至少部分所述第二图案位于所述第一图案上，且所述第二图案在纵向上的截面形状为三角形、方形或梯形。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，所述柔性基板还包括衬底，且所述衬底包括离型基板和设在所述离型基板上且与所述离型基板可剥离的薄膜层，所述阻挡层覆盖在所述图案层和所述薄膜层上。本专利技术提供还提供一种阵列基板，至少包括上述权任一所述的柔性基板以及设在所述柔性基板上的薄膜晶体管。本专利技术提供还提供一种显示面板，至少包括上述所述的阵列基板以及设在所述阵列基板上的若干发光单元。本专利技术提供还提供一种显示装置，至少包括上述所述的显示面板。本专利技术提供还提供一种柔性基板的制作方法，所述方法包括：在衬底上形成膜层，且所述膜层经过至少两次图案化处理，形成图案层，且所述图案层包括位于所述衬底上的第一图案层以及至少部分图案位于所述第一图案层上的第二图案层；在形成了所述第一图案层和所述第二图案层的所述衬底上，沉积阻挡层，所述阻挡层覆盖所述第一图案层、所述第二图案层和所述衬底；其中，所述膜层和所述阻挡层中其中一个为无机膜层，另一个为有机膜层。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，当所述第一图案层中的图案在纵向上的截面形状为L型时，所述膜层经过至少两次图案化处理，形成图案层，包括：对所述膜层进行第一次图案化处理，形成初始图案层；对形成了所述初始图案层的所述膜层进行第二次图案化处理，形成所述图案层，所述图案层包括第一图案层以及第二图案层，且所述第一图案层中的图案在纵向的截面形状为L型，所述第二图案层中的其中一部分图案位于所述第一图案层的L型图案上，另一部分图案位于所述第一图案层的相邻两个图案的间隙中。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，当所述第一图案层中的图案在纵向上的截面形状为T型时，所述在衬底上形成膜层，且所述膜层经过至少两次图案化处理形成图案层，包括：在所述衬底上形成第一膜层，并对所述第一膜层进行第一次图案化处理，形成多个间隔设置的柱状结构；在形成了所述柱状结构的所述衬底上填充可移除的第一有机胶层，其中，所述第一有机胶层与所述柱状结构平齐；在所述第一有机胶层和所述柱状结构上沉积第二膜层，并对所述第二膜层进行图案化处理，形成多个间隔设置的块状结构，且所述块状结构与所述柱状结构形成纵向截面呈T型的第一图案层；在所述块状结构之间填充可移除的第二有机胶层，且所述第二有机胶层与所述块状结构平齐；在所述第二有机胶层和所述块状结构上沉积第三膜层，并对所述第三膜层进行图案化处理，形成多个图案相互间隔的第二图案层，且所述第二图案层中的图案均位于所述第一图案层上；移除所述第一有机胶层和所述第二有机胶层，形成所述图案层。本专利技术的具体实施例方式中，可选的，所述在衬底上形成膜层之前，还包括：在所述衬底上形成与所述衬底可剥离的薄膜层。在所述衬底上形成膜层，包括：在所述薄膜层上形成所述膜层。本专利技术的构造以及它的其他专利技术目的及有益效果将会通过结合附图而对优选实施例的描述而更加明显易懂。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性基板，其特征在于：包括：设置在衬底上的至少一层图案层和至少一层阻挡层，且至少一层所述图案层包括设在所述衬底上的第一图案层以及至少部分图案位于所述第一图案层上的第二图案层，所述阻挡层覆盖所述衬底、所述第一图案层和所述第二图案层；其中，所述图案层和覆盖在所述图案层上的所述阻挡层中其中一个为无机膜层，另一个为有机膜层。

【技术特征摘要】
1.一种柔性基板，其特征在于：包括：设置在衬底上的至少一层图案层和至少一层阻挡层，且至少一层所述图案层包括设在所述衬底上的第一图案层以及至少部分图案位于所述第一图案层上的第二图案层，所述阻挡层覆盖所述衬底、所述第一图案层和所述第二图案层；其中，所述图案层和覆盖在所述图案层上的所述阻挡层中其中一个为无机膜层，另一个为有机膜层。2.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，所述图案层包括顶图案层以及设在所述衬底上的底图案层，所述阻挡层包括底阻挡层和顶阻挡层，其中，所述底阻挡层覆盖所述底图案层和所述衬底，所述顶图案层设在所述底阻挡层上，所述顶阻挡层覆盖所述顶图案层和所述底阻挡层；且所述顶图案层和所述底图案层中至少一个包括所述第一图案层和至少部分图案位于所述第一图案层上的第二图案层。3.根据权利要求2所述的柔性基板，其特征在于，所述图案层还包括：至少一层中间图案层，所述阻挡层还包括至少一层中间阻挡层，其中，所述中间图案层设在所述底阻挡层上，所述中间阻挡层覆盖所述中间图案层和所述底阻挡层，所述顶图案层设在所述中间阻挡层上，所述顶阻挡层覆盖所述顶图案层和所述中间阻挡层；且所述顶图案层、所述中间图案层和所述底图案层中至少一个包括所述第一图案层和至少部分图案位于所述第一图案层上的第二图案层。4.根据权利要求3所述的柔性基板，其特征在于，所述顶图案层、所述中间图案层和所述底图案层均包括所述第一图案层和所述第二图案层；且所述第一图案层的各个图案的中心线与相邻图案层中的所述第一图案层的各个图案的中心线在垂向上相互错开；所述第二图案层的各个图案的中心线与相邻图案层中的所述第二图案层的各个图案中心线在垂向上相互错开。5.根据权利要求4所述的柔性基板，其特征在于，所述第一图案层中的图案形状与相邻图案层中的所述第一图案层的图案形状不同。6.根据权利要求1-4任一所述的柔性基板，其特征在于，位于同一图案层中的所述第一图案层和所述第二图案层的图案形状不同。7.根据权利要求1-4任一所述的膜层结构，其特征在于，所述第一图案层包括间隔设置的多个第一图案，且所述第一图案在纵向上的截面形状为T型、L型或梯形。8.根据权利要求7所述的膜层结构，其特征在于，所述第二图案层包括间隔设置的多个第二图案，且至少部分所述第二图案位于所述第一图案上，且所述第二图案在纵向上的截面形状为三角形、方形或梯形。9.根据权利要求1-4任一所述的柔性基板，其特征在于，所述柔性基板还包括衬底，且所述衬底包括离型基板和设在所述离型基板上且与所述离型基板可剥离的薄膜层，所述阻挡层覆盖在所述图案层和所述薄膜层上。10.一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄振，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13