一种基于湿法清洗机的加热控制系统技术方案

本发明专利技术涉及一种基于湿法清洗机的加热控制系统。所述加热控制系统包括：加热器、液位传感器、液位断路器、第一数字温控器、第二数字温控器、功率控制器和一体机；所述第一数字温控器与所述加热器底部的加热丝相连，所述第二数字温控器与所述功率控制器、所述加热器形成闭环；所述液位传感器通过支架固定在所述加热器本体的侧壁上，所述液位传感器通过所述液位断路器分别与所述第二数字温控器、所述功率控制器相连；所述一体机分别与所述第一数字温控器、所述第二数字温控器、所述功率控制器相连。本发明专利技术通过数字温控器、功率控制器构建的系统，实现加热系统的额定电流保护、加热软启动、高低温保护以及对试剂温度的精确控制。

A Heating Control System Based on Wet Cleaner

The invention relates to a heating control system based on a wet cleaning machine. The heating control system comprises a heater, a liquid level sensor, a liquid level circuit breaker, a first digital temperature controller, a second digital temperature controller, a power controller and an integrated machine; the first digital temperature controller is connected with a heating wire at the bottom of the heater, and the second digital temperature controller, the power controller and the heater form a closed loop; and the liquid level sensor is connected with the heater through a bracket. Fixed on the side wall of the heater body, the liquid level sensor is respectively connected with the second digital temperature controller and the power controller through the liquid level circuit breaker, and the integrated machine is respectively connected with the first digital temperature controller, the second digital temperature controller and the power controller. The invention realizes rated current protection of heating system, soft start of heating, high and low temperature protection and accurate control of reagent temperature through a system constructed by a digital temperature controller and a power controller.

【技术实现步骤摘要】
一种基于湿法清洗机的加热控制系统
本专利技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种基于湿法清洗机的加热控制系统。
技术介绍
湿法清洗机对硅片进行清洗，加热去离子水清洗的优点在于它有助于去除残余化学物(尤其是使用了某种HF酸溶液)，能改进干燥后的硅片的性能。因此需要一套稳定、安全的加热系统对清洗机所用的试剂进行加热处理。现有清洗机的加热系统一般由加热控制器连接加热器构成，但是这种加热方式的控制精度低、可靠性低并且缺少安全保护。同时，现有加热器的液位传感器的探头是安装在加热器出口管路的下方，在实际的应用中，液泵停止对加热器内的液体提供压力后，被浸没在液体中的加热丝会逐渐暴露出液面，(加热器会因温度过高而损坏)此时需要断路器根据液位传感器采集的管路中水有或无的信号，来接通或切断加热器的电流；但是在液泵停止工作后，加热器出口管道下方会残留液体，造成液位传感器失效，导致断路器无法正常断开电路中的电流，而造成事故隐患。
技术实现思路
本专利技术需要解决的技术问题是提供一种基于湿法清洗机的加热控制系统，实现加热控制系统的额定电流保护、加热软启动、短路电流保护、高低温保护以及对试剂温度的精确控制。为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种基于湿法清洗机的加热控制系统，所述加热控制系统包括：加热器、液位传感器、液位断路器、第一数字温控器、第二数字温控器、功率控制器和一体机；所述第一数字温控器与所述加热器底部的加热丝相连，用于读取所述加热器的加热丝温度；所述第二数字温控器与所述功率控制器、所述加热器形成闭环；所述液位传感器通过支架固定在所述加热器本体的侧壁上，所述液位传感器通过所述液位断路器分别与所述第二数字温控器、所述功率控制器相连；所述一体机分别与所述第一数字温控器、所述第二数字温控器、所述功率控制器相连；当所述液位传感器对准的位置没有液体经过时，所述液位断路器断开，同时所述功率控制器和所述加热器停止工作，所述液位断路器反馈报警信号；所述一体机通过控制所述功率控制器供电的通断进而控制所述加热器电流的开闭。进一步地，所述加热控制系统还包括：固态继电器和熔断器；所述固态继电器与所述熔断器依次设置在所述一体机与所述功率控制器之间的线路上；所述固态继电器用于控制所述加热器供电的开闭，所述熔断器用于实现线路的大电流保护。进一步地，所述加热控制系统还包括：灯塔；所述灯塔与所述一体机相连，所述灯塔用于提供所述加热控制系统运行状态的视觉信号与蜂鸣信号。进一步地，所述加热控制系统还包括：DeviceNet单元和设置在所述一体机内的采集板卡，所述DeviceNet单元的总线与所述一体机内的采集板卡连接；所述DeviceNet单元分别与所述第一数字温控器、所述第二数字温控器、所述固态继电器、所述灯塔相连；所述一体机通过所述DeviceNet单元发送命令给所述固态继电器，电源经过所述固态继电器和所述熔断器向所述功率控制器供电，所述DeviceNet单元控制所述供电的通断；所述第一数字温控器的高低温报警通过Devicenet单元上传给一体机；所述DeviceNet单元根据所述一体机采集到的所述第一数字温控器和所述第二数字温控器的报警信号，向所述灯塔发出蜂鸣或相应指示灯亮灭的信号。进一步地，所述支架包括中空螺栓、第一螺母、第二螺母、固定板和支撑板，所述中空螺栓穿过所述支撑板的一端，所述第一螺母和所述第二螺母分别设置在所述支撑板两侧的所述中空螺栓上，将所述支撑板固定在所述加热器上的预留孔位，所述液位传感器通过所述固定板固定在所述支撑板的另一端。本专利技术提供的技术方案，具有如下技术效果或优点：1、本专利技术通过数字温控器、功率控制器、熔断器构建的系统，实现加热系统的额定电流保护、加热软启动、短路电流保护、高低温保护以及对试剂温度的精确控制；2、本专利技术中液位传感器通过支架固定在加热器本体的侧壁上，解决了原有结构带来的传感器对流体感应的不灵敏性，不仅解决了断路器无法正常断开的问题，而且实现了加热系统液位保护断电位置的微调，使加热系统更加的可靠；3、本专利技术采用了采一体机、集板卡配合DeviceNet单元的采集系统，使系统的抗干扰能力得到提升，线路更加容易拓展，接线更加方便，故障检测更加便捷。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种基于湿法清洗机的加热控制系统的结构示意图；图2为本专利技术实施例中支架的结构示意图；图3为本专利技术实施例中支架的另一结构示意图。附图标记：1-加热器，2-液位传感器，3-液位断路器，4-第一数字温控器，5-第二数字温控器，6-固态继电器，7-熔断器，8-功率控制器，9-DeviceNet单元，10-灯塔，11-一体机，12-中空螺栓，13-第一螺母，14-第二螺母，15-固定板，16-支撑板，17-加热器的出口管道，18-加热器的入口管道。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1所示，本专利技术实施例提供一种基于湿法清洗机的加热控制系统，所述系统包括：所述加热控制系统包括：加热器1、液位传感器2、液位断路器3、第一数字温控器4、第二数字温控器5、功率控制器8和一体机11；所述加热器1用于为其腔体内的试剂加热；所述第一数字温控器4与所述加热器1底部的加热丝相连，所述第二数字温控器5与所述功率控制器8、所述加热器1形成闭环；所述液位传感器2通过支架固定在所述加热器1本体的侧壁上，所述液位传感器2通过所述液位断路器3分别与所述第二数字温控器5、所述功率控制器8相连；所述一体机11分别与所述第一数字温控器4、所述第二数字温控器5、所述功率控制器8相连；当所述液位传感器2对准的位置没有液体经过时，所述液位断路器3断开，同时所述功率控制器8和所述加热器1停止工作，所述液位断路器3反馈报警信号；所述液位断路器3闭合时，所述液位断路器3上有指示灯亮起；所述液位断路器3断开时，指示灯熄灭；所述一体机11控制所述加热器1电流的开闭以及所述功率控制器8供电的通断。所述第一数字温控器4用于读取加热器1内的加热丝的温度并设置加热丝的高低温报警，所述第二数字温控器5用于读取加热器1出口处试剂的温度并设置加热器1出口处的高低温报警，同时控制加热器1内温度的变化。所述功率控制器8实现加热器1的最大电流的调节，并提供加热器1软启动功能，加热器1供电电流逐步增大到设定值。具体地，通过功率控制器8的“输出调整”实现对加热电路中最大额定电流的控制，以此保证电路不会因为过流而造成损坏；同时通过“软启动”的量值实现加热电路中最大电流值由0变化到最大值所需要的时间，以此来减少电流的突变为供电系统带来的冲击与损耗；通过第一数字温控器4和第二数字温控器5的PID控制使温度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于湿法清洗机的加热控制系统，其特征在于，所述加热控制系统包括：加热器、液位传感器、液位断路器、第一数字温控器、第二数字温控器、功率控制器和一体机；所述第一数字温控器与所述加热器底部的加热丝相连，用于读取所述加热器的加热丝温度；所述第二数字温控器与所述功率控制器、所述加热器形成闭环；所述液位传感器通过支架固定在所述加热器本体的侧壁上，所述液位传感器通过所述液位断路器分别与所述第二数字温控器、所述功率控制器相连；所述一体机分别与所述第一数字温控器、所述第二数字温控器、所述功率控制器相连；当所述液位传感器对准的位置没有液体经过时，所述液位断路器断开，同时所述功率控制器和所述加热器停止工作，所述液位断路器反馈报警信号；所述一体机通过控制所述功率控制器供电的通断进而控制所述加热器电流的开闭。

【技术特征摘要】
1.一种基于湿法清洗机的加热控制系统，其特征在于，所述加热控制系统包括：加热器、液位传感器、液位断路器、第一数字温控器、第二数字温控器、功率控制器和一体机；所述第一数字温控器与所述加热器底部的加热丝相连，用于读取所述加热器的加热丝温度；所述第二数字温控器与所述功率控制器、所述加热器形成闭环；所述液位传感器通过支架固定在所述加热器本体的侧壁上，所述液位传感器通过所述液位断路器分别与所述第二数字温控器、所述功率控制器相连；所述一体机分别与所述第一数字温控器、所述第二数字温控器、所述功率控制器相连；当所述液位传感器对准的位置没有液体经过时，所述液位断路器断开，同时所述功率控制器和所述加热器停止工作，所述液位断路器反馈报警信号；所述一体机通过控制所述功率控制器供电的通断进而控制所述加热器电流的开闭。2.如权利要求1所述的加热控制系统，其特征在于，所述加热控制系统还包括：固态继电器和熔断器；所述固态继电器与所述熔断器依次设置在所述一体机与所述功率控制器之间的线路上；所述固态继电器用于控制所述加热器供电的开闭，所述熔断器用于实现线路的大电流保护。3.如权利要求2所述的加热控制系统，其特征在于，所述加热控制系统还包括：灯塔；所述灯塔与所述一...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵丽莉，李培源，李楠，陈波，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11