The invention relates to a high-precision anti-seismic Pirani vacuum sensor, which mainly solves the technical problems of low measurement accuracy, stability and anti-vibration in the prior art. The invention adopts the temperature sensing device including a sensitive element unit, which is a spiral filament structure, and the spiral filament structure comprises a four-layer spiral body and a first-layer spiral body. The second helix is the helix formed by the first helix surrounded by the second helix, the third helix is the helix formed by the second helix surrounded by the helix, and the fourth helix is the helix formed by the third helix surrounded by the helix. The technical scheme of tungsten wire combination solves this problem well and can be used in industrial production of vacuum sensor.
【技术实现步骤摘要】
一种高精度抗震皮拉尼真空传感器
本专利技术涉及真空传感器,特别涉及到一种高精度抗震皮拉尼真空传感器。
技术介绍
真空技术发展已经超过百年历史,并且在工业和科研应用领域逐步发挥着越来越重要的角色。真空是指在一个封闭的腔体中取出里面的气体分子从未产生一个非常干净的负压环境。由于大气中存在这大量的气体分子和各种颗粒物等物质,从而使得非常多的研究和工艺无法进行。真空环境因为去除了大气中的气体分子和各种颗粒物,其负压特性也改变了物体表面吸附的各种污染物,从而产生非常干净的表面,从而各种高精产品的生产获得了必须的生产环境。同时由于气体分子稀薄,热能失去一个重要的传递导体,从而为生产领域带来良好的真空绝热的功效。然而真空技术并不是单纯地追求“低于一个大气压状态下的特定空间”,而是利用真空这个物理条件来完成在大气压下无法实现的各种崭新工艺。真空技术作为发展现代工业所必须的特殊手段,在国际上六十年代已形成完整的工业体系。几个工业发达的国家拥有比较强大的真空制造工业。例如美国、德国、日本等工业强国无一不是真空技术强国,真空对于现代科学技术的发展,不管是工业,还是航空航天技术及军工生产对于材料要求的不断提高,更是离不开真空技术。近几年来,国内真空工业发展十分迅速,究其原因,主要是由于其他工业
对真空技术的需求增加。但目前国内的真空技术水平仍旧落后于西方发达国家,对于真空获得,真空测量,真空检漏等技术在很多行业仍然是我们国家的一个短板技术。各种应用都需要真空,但是真空的测量也是真空工艺和应用的一个必须的核心技术手段。真空传感器是专门针对真空应用进行真空度测量的技术手段,其产 ...
【技术保护点】
1.一种高精度抗震皮拉尼真空传感器,所述高精度抗震皮拉尼真空传感器包括感温模块及控制模块,所述感温模块包括金属外壳,所述金属外壳内设有真空腔,真空腔内设有感温装置,与感应装置连接的控制转换电路,所述控制转换电路包括信号放大电路及AD转换电路;所述控制模块包括与控制转换电路的微处理单元,与微处理单元连接的显示模块,其特征在于:所述感温装置包括敏感元件单元,所述敏感元件单元结构为螺旋灯丝结构,所述螺旋灯丝结构包括四层螺旋体,第一层螺旋体是副钨丝围绕第一主钨丝螺旋状环绕而成的螺旋体,第二层螺旋体是第一层螺旋体围绕第二主钨丝螺旋状环绕而成的螺旋体,第三层螺旋体是第二层螺旋体作螺旋状环绕而成的螺旋体,第四层螺旋体是第三层螺旋体作螺旋状环绕而成的螺旋体;所述钨丝为螺旋双绞的钨丝线组合。
【技术特征摘要】
1.一种高精度抗震皮拉尼真空传感器,所述高精度抗震皮拉尼真空传感器包括感温模块及控制模块,所述感温模块包括金属外壳,所述金属外壳内设有真空腔,真空腔内设有感温装置,与感应装置连接的控制转换电路,所述控制转换电路包括信号放大电路及AD转换电路;所述控制模块包括与控制转换电路的微处理单元,与微处理单元连接的显示模块,其特征在于:所述感温装置包括敏感元件单元,所述敏感元件单元结构为螺旋灯丝结构,所述螺旋灯丝结构包括四层螺旋体,第一层螺旋体是副钨丝围绕第一主钨丝螺旋状环绕而成的螺旋体,第二层螺旋体是第一层螺旋体围绕第二主钨丝螺旋状环绕而成的螺旋体,第三层螺旋体是第二层螺旋体作螺旋状环绕而成的螺旋体,第四层螺旋体是第三层螺旋体作螺旋状环绕而成的螺旋体;所述钨丝为螺旋双绞的钨丝线组合。2.根据权利要求1所述的高精度抗震皮拉尼真空传感器,其特征在于:所述感温装置包括3个感温单元,所述3个感温单元为并联的第一感温单元及第二感温单元,与第一感温单元及第二感温单元共串联的第三感温单元。3.根据权利要求2所述的高精度温度传感器,其特征在于:所述感温单元包括1个敏感元件单元及3个电阻,所述1个敏感元件单元及3个电阻按惠斯通电桥结构排列。4.根据权利要求1-3任一所述的高精度抗震皮拉尼真空传感器,其特征在于:所述高精度抗震皮拉尼真空传感器...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘明山,
申请(专利权)人:苏州润桐专利运营有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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