The spring constants of the first detection beam (41a) and the second detection beam (41b) supporting the detection balancing blocks (35, 36) are different. Moreover, the size of the x-axis direction of the first detection beam (41a) and the second detection beam (41b) is increased, and the forming area of the detection piezoelectric film (61a-61d) is increased, so that the sensitivity is improved, and the size of the x-axis direction of the other side is suppressed, thus the detection resonance frequency is suppressed. Thus, the sensitivity can be improved.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】物理量传感器相关申请的相互参照本申请基于2016年7月1日提交的日本申请号2016－131788，此处通过参照引用其记载内容。
本公开涉及一种物理量传感器，被弹簧支承而能够位移的检测平衡块根据物理量的施加而位移，从而检测所施加的物理量，例如优选适用于角速度传感器及加速度传感器。
技术介绍
以往，作为物理量传感器，提出了如下陀螺仪传感器：基于支承于弹簧的检测平衡块伴随着角速度的施加而位移，根据该位移量检测被施加的角速度(例如参照专利文献1)。该陀螺仪传感器具有沿基板平面方向振动的驱动平衡块、以及经由检测弹簧连接于驱动平衡块的检测平衡块，通过使驱动平衡块向规定方向驱动振动，在角速度施加时使检测平衡块向与驱动振动交叉的方向振动，从而进行角速度检测。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014－006238号公报
技术实现思路
在上述构造的物理量传感器中，考虑到灵敏度、耐冲击性而有梁变细的趋势。在物理量传感器中，存在将检测平衡块的位移作为静电电容而取出的静电电容式的物理量传感器、以及将检测平衡块的位移作为压电变化而取出的压电式的物理量传感器，但在压电式的情况下，在较细的梁...
【技术保护点】
1.一种物理量传感器，对物理量进行检测，其特征在于，具备：基板(10)；检测平衡块(35、36)，经由包含检测梁(41)的梁部(40)而支承于所述基板；以及检测压电膜(61a～61d)，被设置于所述检测梁，若所述检测平衡块基于所述物理量的施加而向一个方向移动，则该检测压电膜(61a～61d)产生与伴随着该检测平衡块的移动而进行的所述检测梁的位移相应的电输出，所述检测梁具有在所述一个方向上错开位置而双臂支承所述检测平衡块的第一检测梁(41a)以及第二检测梁(41b)，所述第一检测梁的弹簧常数与所述第二检测梁的弹簧常数不同，在所述第一检测梁配备有所述检测压电膜。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.01 JP 2016-1317881.一种物理量传感器，对物理量进行检测，其特征在于，具备：基板(10)；检测平衡块(35、36)，经由包含检测梁(41)的梁部(40)而支承于所述基板；以及检测压电膜(61a～61d)，被设置于所述检测梁，若所述检测平衡块基于所述物理量的施加而向一个方向移动，则该检测压电膜(61a～61d)产生与伴随着该检测平衡块的移动而进行的所述检测梁的位移相应的电输出，所述检测梁具有在所述一个方向上错开位置而双臂支承所述检测平衡块的第一检测梁(41a)以及第二检测梁(41b)，所述第一检测梁的弹簧常数与所述第二检测梁的弹簧常数不同，在所述第一检测梁配备有所述检测压电膜。2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，在所述一个方向上，所述第一检测梁的尺寸比所述第二检测梁的尺寸大，从而所述第一检测梁的弹簧常数比所述第二检测梁的弹簧常数大。3.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述第一检测梁和所述第二检测梁由不同种类的材料构成，从而所述第一检测梁的弹簧常数与所述第二检测梁的弹簧常数不同。4.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，在相对于包含所述检测平衡块的移动轨迹的平面的法线方向上，使所述第一检测梁的尺寸与所述第二检测梁的尺寸不同，从而所述第一检测梁的弹簧常数与所述第二检测梁的弹簧常数不同。5.一种振动型角速度传感器，在角速度检测中应用权利要求1～4中任一项所述的物理量传感器，其特征在于...
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