用于测试电子元件的处理器制造技术

本发明专利技术涉及用于测试电子元件的处理器。根据本发明专利技术的用于测试电子元件的处理器中，将从测试室传送到除热室的测试托盘的输送通道分为第一区域和长度短于第一区域的第二区域，在打开第一区域之前，能够使设置于第二输送装置的把持构件的把持部位预先通过第二区域移动到测试室以等待测试。根据本发明专利技术，由于能够在结束测试时将测试托盘从测试传送到除热室，因此能够缩短测试托盘的循环时间而最终提高处理器的运转率。

【技术实现步骤摘要】
用于测试电子元件的处理器
本专利技术涉及一种用于测试电子元件的处理器。
技术介绍
如所生产的半导体器件的电子元件由测试器测试，然后分为合格品和不合格品，并只出货合格品。为了测试电子元件，需要将电子元件与测试器电连接，测试器与电子元件之间的电连接由用于测试电子元件的处理器(下面称为“处理器”)执行。处理器可以根据对电子元件的测试条件或电子元件的类型等以各种形式制造。在这种各种类型中，本专利技术涉及一种具有测试室的处理器，其可以建立对电子元件的测试环境。具有测试室的处理器主要结构包括：加载装置、恒温室、测试室、第一输送装置、加压装置、除热室、第二输送装置、卸载装置以及开闭装置。加载装置将装于在客户托盘中的待测电子元件加载到位于加载位置上的测试托盘中。提供恒温室以对来自加载位置的装载于测试托盘上的电子元件施加热刺激。虽然也有将电子元件在室温下进行测试的情况，但由于需要考虑极端恶劣环境，主要在高温或低温状态下进行测试，为此，提供恒温室，用于预先对待测电子元件施加热刺激。测试室提供空间和温度环境，用于测试经过恒温室而到测试位置的温度测试托盘上的电子元件。这种测试室中结合有测试器的测试板。作为参考，在测试板上具备与电子元件电连接的测试插座。提供第一输送装置，用于将恒温室中的测试托盘传送至测试室。这种第一输送装置可以构成为韩国专利公开第10-2008-0082591号中公开的“托盘传送装置”。加压装置将测试室内的位于测试位置中的测试托盘上的电子元件向测试器的测试插座侧施压，使得电子元件能够电连接到测试插座。提供除热室，用于通过去除来自测试室的测试托盘的电子部件在恒温室和测试室中被施加的热刺激，使电子元件尽可能恢复至接近室温。提供第二输送装置，用于将测试室中的测试托盘传送到除热室。同样地，第二输送装置可以具有与韩国专利公开第10-2008-0082591号公开的“托盘传送装置”相同的结构。卸载装置将从除热室传送到卸载位置的已结束测试的温度测试托盘中的电子元件进行卸载，并根据测试结果进行分类，以将它们移动到空的客户托盘上。开闭装置用于开闭从测试室传送到除热室的测试托盘所经过的第二输送通道，并且本专利技术涉及这种情况。众所周知，具有上述结构的处理器中的测试托盘通过包括第一输送装置和第二输送装置的多个传送装置，沿着经过加载位置、恒温室的内部、测试室内部中的测试位置、除热室的内部以及卸载位置并连接到加载位置的封闭的循环路径而进行传送。通常，恒温室具有根据测试温度条件而预热/预冷电子元件的温度环境，而这种温度环境类似于测试室内的温度环境。因此，恒温室内的温度环境对测试室内的温度环境几乎没有影响。由此，可以打开从恒温室传送到测试室的测试托盘所经过的第一输送通道。然而，测试室和除热室的温度环境具有很大差异。由此，从测试室传送到除热室的测试托盘所经过的第二输送通道必须是可开闭的。即，当传送测试托盘时应当打开第二输送通道，当执行测试室中的电子元件的测试时应当关闭第二输送通道。将测试托盘从测试室传送到除热室有两种方法。第一种方法是第一输送装置将后端的测试托盘移动到测试室内部，后端的测试托盘将前端的测试托盘推向除热室侧，使前端的测试托盘一定程度上传送到除热室侧，然后第二输送装置将第二测试托盘进一步传送至其余部分。另外，第二种方法是第二输送装置在第一输送装置将后端的测试托盘传送至测试室的内部之前将测试室内部中的测试托盘传送到除热室的内部。在上述第一种方法或第二种方法中，为了将测试托盘从测试室传送到除热室而必须打开第二输送通道。然而，当结束电子元件的测试之后，由于仅在第二输送通道打开之后第二输送装置才会操作，因此，第二输送装置对测试托盘的传送操作花费更多时间，这增加了测试托盘的循环时间，并最终导致处理器的运转率降低。另外，由于打开第二输送通道的时间变得更长，因此，测试室内的温度环境恢复到测试环境的时间也成比例的延长，这也导致处理器的运转率降低。但是如果始终打开第二输送通道，则除热室的温度环境会扰乱测试室的温度环境使得测试的可靠性降低。
技术实现思路
需要解决的课题本专利技术的目的在于提供一种技术，用于在确保测试的可靠性的同时，第二输送装置预先执行用于传送测试托盘的准备工作。解决课题的手段根据本专利技术的用于测试电子元件的处理器包括：加载装置，将装载于客户托盘上的待测电子元件加载到加载位置中的测试托盘上；恒温室，用于对装载于来自加载位置的测试托盘上的电子元件施加热刺激；测试室，提供空间和温度环境以对经过所述恒温室而到测试位置的温度测试托盘上的电子元件进行测试；第一输送装置，将所述恒温室中的测试托盘传送到所述测试室；加压装置，将位于所述测试室内的测试位置的测试托盘上的电子元件向测试器的测试插座侧施压以使电子元件电连接到测试插座上；除热室，用于除去来自所述测试室的测试托盘的电子元件在所述恒温室和所述测试室中被施加的热刺激；第二输送装置，用于将所述测试室中的测试托盘传送到除热室；卸载装置，从所述除热室到卸载位置的测试托盘中卸载电子元件并根据测试结果进行分类以移动到客户托盘；第一开闭装置，用于开闭作为从所述测试室传送到所述除热室的测试托盘的输送通道中的一部分的第一区域。所述第二输送装置包括：把持构件，用于把持或解除把持测试托盘；执行器，用于执行所述把持构件把持或解除把持测试托盘；驱动器，用于使所述把持构件沿测试托盘的传送方向移动，所述把持构件的把持部位构成能够通过作为所述输送通道中的另一部分的第二区域，所述第二区域的长度短于所述第一区域的长度，所述第一开闭装置具备第一门和提供用于打开或关闭所述第一门的动力的第一驱动器，当测试托盘从所述测试室移动到所述除热室时，则所述第一门打开，当关闭时，至少封闭所述第一区域并阻止测试托盘从所述测试室移动到所述除热室，以有助于防止所述测试室和所述除热室之间的热交换，当所述第一区域打开时，所述输送通道允许测试托盘从所述测试室的内部移动到所述除热室的内部。根据专利技术的用于测试电子元件的处理器还可以包括用于开闭所述第二区域的第二开闭装置，所述第二开闭装置具备第二门和提供用于打开或关闭所述第二门的动力的第二驱动器，所述第二门打开所述第二区域，以使所述把持构件的把持部位即使在所述第一门关闭的状态下也能通过所述第二区域从所述除热室向所述测试室移动，当关闭时，封闭所述第二区域以有助于进一步防止所述测试室和所述除热室之间的热交换，并当所述第一区域和所述第二区域全部打开时，所述输送通道允许测试托盘从所述测试室的内部移动到所述除热室的内部。由所述第一开闭装置的所述第一区域的开闭动作和由所述第二开闭装置的所述第二区域的开闭动作能够彼此独立地执行，所述第二驱动器和所述第一驱动器独立分开设置。所述第二门具有驱动凸起，所述第二驱动器包括驱动部件和用于正逆旋转所述驱动部件的驱动源，所述驱动部件通过正向旋转推动所述驱动凸起以由所述第二门关闭所述第二区域，或者通过反向旋转拉动所述驱动凸起以打开所述第二区域，并具有用于将所述驱动部件的正逆旋转运动转换成所述驱动凸起的进退运动的转换槽，所述驱动凸起插入到所述转换槽。所述第二门具有驱动凸起，所述第二驱动器包括驱动部件和用于将所述驱动部件沿第一方向进退的驱动源，所述驱动部件通过所述第一方向上的进退使所述驱动凸起沿不同于所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于测试电子元件的处理器，其中，包括：测试室，提供空间和温度环境，以供测试托盘的电子元件进行测试；加压装置，将所述测试室内的位于测试位置的测试托盘上的电子元件向测试器的测试插座侧施压，以使电子元件电连接到测试插座上；除热室，用于除去来自所述测试室的测试托盘的电子元件的在所述测试室中被施加的热刺激；传送装置，用于将所述测试室中的测试托盘传送到所述除热室；以及第一开闭装置，用于开闭作为从所述测试室传送到所述除热室的测试托盘的输送通道中的一部分的第一区域，所述传送装置包括：把持构件，用于把持或解除把持测试托盘；执行器，使所述把持构件把持或解除把持测试托盘；驱动器，用于使所述把持构件沿测试托盘的传送方向移动，所述把持构件的把持部位构成为能够通过作为所述输送通道中的另一部分的第二区域，所述第二区域的长度短于所述第一区域的长度，所述第一开闭装置具备第一门和提供用于打开和关闭所述第一门的动力的第一驱动器，当使测试托盘从所述测试室向所述除热室移动时，所述第一门打开，当所述第一门关闭时，至少封闭所述第一区域并阻止测试托盘从所述测试室向所述除热室移动，并且防止所述测试室和所述除热室之间的热交换，当所述第一区域打开时，所述输送通道允许测试托盘从所述测试室的内部向所述除热室的内部移动。...

【技术特征摘要】
2017.08.18 KR 10-2017-01048681.一种用于测试电子元件的处理器，其中，包括：测试室，提供空间和温度环境，以供测试托盘的电子元件进行测试；加压装置，将所述测试室内的位于测试位置的测试托盘上的电子元件向测试器的测试插座侧施压，以使电子元件电连接到测试插座上；除热室，用于除去来自所述测试室的测试托盘的电子元件的在所述测试室中被施加的热刺激；传送装置，用于将所述测试室中的测试托盘传送到所述除热室；以及第一开闭装置，用于开闭作为从所述测试室传送到所述除热室的测试托盘的输送通道中的一部分的第一区域，所述传送装置包括：把持构件，用于把持或解除把持测试托盘；执行器，使所述把持构件把持或解除把持测试托盘；驱动器，用于使所述把持构件沿测试托盘的传送方向移动，所述把持构件的把持部位构成为能够通过作为所述输送通道中的另一部分的第二区域，所述第二区域的长度短于所述第一区域的长度，所述第一开闭装置具备第一门和提供用于打开和关闭所述第一门的动力的第一驱动器，当使测试托盘从所述测试室向所述除热室移动时，所述第一门打开，当所述第一门关闭时，至少封闭所述第一区域并阻止测试托盘从所述测试室向所述除热室移动，并且防止所述测试室和所述除热室之间的热交换，当所述第一区域打开时，所述输送通道允许测试托盘从所述测试室的内部向所述除热室的内部移动。2.根据权利要求1所述的用于测试电子元件的处理器，其中，还包括用于开闭所述第二区域的第二开闭装置，所述第二开闭装置具有第二门和提供用于打开和关闭所述第二门的动力的第二驱动器，所述第二门以使所述把持构件的把持部位即便在所述第一门关闭的状态下也能从所述除热室通过所述第二区域向所述测试室移动的方式打开所述第二区域，当所述第二门关闭时，封闭所述第二区域以防止所述测试室和所述除热室之间的热交换，当所述第一区域和所述第二区域全部打开时，所述输送通道允许测试托盘从所述测试室的内部向所述除热室的内部移动。3.根据权利要求2所述的用于测试电子元件的处理器，其中，基于所述第一开闭装置的所述第一区域的开闭动作和基于所述第二开闭装置的所述第二区域的开闭动作能够彼此独立实现，所述第二驱动器和所述第一驱动器独立分开设置。4.根据权利要求2所述的用于测试电子元件的处理器，其中，所述第二门具有驱动凸起，所述第二驱动器包括驱动部件和用于使所述驱动部件正逆旋转的驱动源，所述驱动部件通过正向旋转推动所述驱动凸起以使所述第二区域被所述第二门封闭，或者通过反向旋转拉动所述驱动凸起以打开所述第二区域，所述驱动部件包括用于将所述驱动部件的正逆旋转运动转换成所述驱动凸起的进退运动的转换槽，所述驱动凸起插入于所述转换槽。5.根据权利要求2所述的用于测试电子元件的处理器，其中，所述第二门具有驱动凸起，所述第二驱动器包括驱动部件和用于使所述驱动部件在第一方向上进退的驱动源，通过所述驱动部件在所述第一方向上的进退，使得所述驱动凸起在不同于所述第一方向的第二方向上进退，...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗闰成，朴洙昌，林采光，金在虎，
申请(专利权)人：泰克元有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR