一种锂离子电池硅基合金薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种锂离子电池硅基合金薄膜的制备方法，属于锂离子电池技术领域。本发明专利技术提供的制备方法，包括以下步骤：在真空和惰性气体条件下，开启硅靶材和金属靶材，对挡板进行预溅射；预溅射结束后，对基片进行溅射，得到锂离子电池硅基合金薄膜。本发明专利技术采用预溅射，能够避免将靶材表面可能存在的部分氧化物或污染物溅射到基片上，保证了硅基合金对基片的结合力及电化学性能；金属靶材和硅靶材同时溅射沉积到基片上，保证了硅基合金薄膜的均匀性，能够缓解硅的体积效应。

【技术实现步骤摘要】
一种锂离子电池硅基合金薄膜及其制备方法
本专利技术涉及锂离子电池
，尤其涉及一种锂离子电池硅基合金薄膜及其制备方法。
技术介绍
锂离子电池因其重量轻、体积小、比能量和安全性高等优点，被广泛应用于储能、航天、交通动力、3C等领域，其中能量密度是锂离子电池应用的重要考量因素，高能量密度是提高锂离子电池续航能力的重要方式之一。硅基材料是广泛用于锂离子二次电池的负极材料，包括硅碳复合材料、氧化亚硅复合材料以及硅基合金材料，硅基材料因在脱嵌锂过程中巨大的体积效应限制了其在锂离子电池中的应用，给硅基材料在实际生产中的应用带来了不便，因此如何解决硅基材料的体积效应是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种锂离子电池硅基合金薄膜及其制备方法，采用本专利技术的方法得到的硅基合金薄膜体积效应小，扩大了硅基合金薄膜材料的应用范围。为了实现上述专利技术目的，本专利技术提供以下技术方案：本专利技术提供了一种锂离子电池硅基合金薄膜的制备方法，包括以下步骤：在真空和惰性气体条件下，开启硅靶材和金属靶材，对挡板进行预溅射；预溅射结束后，对基片进行溅射，得到锂离子电池硅基合金薄膜。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种锂离子电池硅基合金薄膜的制备方法，包括以下步骤：在真空和惰性气体条件下，开启硅靶材和金属靶材，对挡板进行预溅射；预溅射结束后，对基片进行溅射，得到锂离子电池硅基合金薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种锂离子电池硅基合金薄膜的制备方法，包括以下步骤：在真空和惰性气体条件下，开启硅靶材和金属靶材，对挡板进行预溅射；预溅射结束后，对基片进行溅射，得到锂离子电池硅基合金薄膜。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金属靶材的材质包括铝、铜、镍或锌。3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述基片包括铜箔、铝箔、泡沫铜或泡沫镍。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，预溅射时，所述硅靶材的溅射功率为50～1000W，所述金属靶材的溅射功率为20～150W。5.根据权利要求1或4所述的制备方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗西亮，李涛，
申请(专利权)人：上海科比斯实业有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31