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本发明提供了一种锂离子电池硅基合金薄膜的制备方法，属于锂离子电池技术领域。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：在真空和惰性气体条件下，开启硅靶材和金属靶材，对挡板进行预溅射；预溅射结束后，对基片进行溅射，得到锂离子电池硅基合金薄膜。本发明采...
该专利属于上海科比斯实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海科比斯实业有限公司授权不得商用。

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