The invention relates to a device for observing and testing contaminated particles and an analysis method. The device comprises an optical imaging device, a lighting device, a polarization device, a positioning device, a detection device, a processing display device, a fixing device and a power output device. The polarization device includes an electronic adjustment device. Lighting equipment, illuminating at least part of the particle aggregate to form the illumination measurement area. The illumination measurement area is equipped with filters. The polarization equipment includes optical polarizer and optical analyzer. The optical analyzer is located at the front of the mirror barrel of the reflecting light stereo microscope. The positioning equipment moves in the illumination measurement area of the particle aggregate according to the grid. The invention can reduce the probability of secondary pollution in the testing process, realize the whole observation and testing process by automation, reduce the testing time, improve the reproducibility of the measurement results and reduce the probability of artificial pollution.
【技术实现步骤摘要】
一种污染颗粒观察及测试装置及分析方法
本专利技术涉及实物表面污染程度测试
,尤其涉及一种污染颗粒观察及测试装置及分析方法。
技术介绍
在汽车制造、航空、精密机械、半导体制造、食品加工、健康保健或者医药等领域,对于了解表面易感灰尘的部件、装置、产品、工件或接触表面的技术性清洁度的需求正在日益增长,例如在汽车驾驶领域,愈来愈需要清晰地了解燃料喷射系统、刹车系统、液体系统或缩微化和性能加强的独立部件以及在此基础上制造出的复杂组件的颗粒污染程度。一般由于被测试样本的表面太过庞大、或者由于形状复杂、表面崎岖不平而导致无法用直接法来观察及测试,此时通常采用的方法是通过粘性薄膜或清洁液移除表面的灰尘,在清洁液或滤渣或在粘性薄膜上依据颗粒尺寸、分布和化学属性进行测试分析,上述方法可减少测试过程的二次污染几率。为了减少测试时间、提高测量结果的可重现性以及降低人工污染几率,整个观察及测试过程最好通过自动化实现。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术的目的是提供一种污染颗粒观察及测试装置及分析方法,以解决现有技术中的不足。为了达到上述目的,本专利技术的目的是通过下述技术方案实现的:一方面,提供一种污染颗粒观察及测试装置,包括:光学成像设备,对分布于平面结构上的颗粒积聚物进行成像,包括反射光立体显微镜和LED环形光源,所述反射光立体显微镜配置有数码CCD摄像机,所述LED环形光源分别位于所述反射光立体显微镜的镜筒两侧;照明设备,对所述颗粒积聚物的至少一部分进行照明,形成照明测量区域,所述照明测量区域内设有过滤器;偏振设备,包括光学偏振光片和光学分析器,所述光学分析器位于所述反射光 ...
【技术保护点】
1.一种污染颗粒观察及测试装置,其特征在于,包括:光学成像设备,对分布于平面结构上的颗粒积聚物进行成像,包括反射光立体显微镜和LED环形光源,所述反射光立体显微镜配置有数码CCD摄像机,所述LED环形光源分别位于所述反射光立体显微镜的镜筒两侧;照明设备,对所述颗粒积聚物的至少一部分进行照明,形成照明测量区域,所述照明测量区域内设有过滤器;偏振设备,包括光学偏振光片和光学分析器,所述光学分析器位于所述反射光立体显微镜的镜筒的前端;定位设备,按照网格在所述颗粒积聚物的所述照明测量区域内移动;检测设备,接收并评估由每一个所述照明测量区域内的所述光学成像设备的成像数据;处理显示设备,包括PC机和显示器,所述PC机分别连接所述数码CCD摄像机和所述定位设备;固定设备,包括框架,所述框架为一侧开口的矩形框,所述LED环形光源位于所述矩形框内,所述LED环形光源发出的照明光束从所述矩形框的开口处射出;动力输出设备,包括伺服电机,所述显示器、所述PC机、所述伺服电机和所述框架依次连接;其中,所述偏振设备包括电子调整设备,所述光学偏振光片和所述光学分析器分别通过所述电子调整设备实现在一第一偏振位和一第二 ...
【技术特征摘要】
1.一种污染颗粒观察及测试装置,其特征在于,包括:光学成像设备,对分布于平面结构上的颗粒积聚物进行成像,包括反射光立体显微镜和LED环形光源,所述反射光立体显微镜配置有数码CCD摄像机,所述LED环形光源分别位于所述反射光立体显微镜的镜筒两侧;照明设备,对所述颗粒积聚物的至少一部分进行照明,形成照明测量区域,所述照明测量区域内设有过滤器;偏振设备,包括光学偏振光片和光学分析器,所述光学分析器位于所述反射光立体显微镜的镜筒的前端;定位设备,按照网格在所述颗粒积聚物的所述照明测量区域内移动;检测设备,接收并评估由每一个所述照明测量区域内的所述光学成像设备的成像数据;处理显示设备,包括PC机和显示器,所述PC机分别连接所述数码CCD摄像机和所述定位设备;固定设备,包括框架,所述框架为一侧开口的矩形框,所述LED环形光源位于所述矩形框内,所述LED环形光源发出的照明光束从所述矩形框的开口处射出;动力输出设备,包括伺服电机,所述显示器、所述PC机、所述伺服电机和所述框架依次连接;其中,所述偏振设备包括电子调整设备,所述光学偏振光片和所述光学分析器分别通过所述电子调整设备实现在一第一偏振位和一第二偏...
【专利技术属性】
技术研发人员:马俊安,
申请(专利权)人:阅美测量系统上海有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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