一种超细熔融石英硅微粉的生产方法技术

本发明专利技术公开了一种超细熔融石英硅微粉的生产方法，该产品属于石英精加工领域；本发明专利技术以优质高纯石英块为原料，通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产超细熔融石英硅微粉，该生产方法具有：生产工艺简单、生产成本低、无污水废气排放、可批量生产出超细熔融石英硅微粉，产品主要用大规模集成电路。

A Production Method of Ultrafine Fused Quartz Silicon Powder

The invention discloses a production method of ultra-fine fused silica micro-powder, which belongs to the field of quartz fine processing; the invention takes high-quality and high-purity quartz blocks as raw materials to produce ultra-fine fused silica micro-powder by crushing, magnetic separation, first-level ordinary grinding, first-level ultra-fine grinding, classification, etc. The production method has the advantages of simple production process, low production cost and no waste water. Ultrafine fused silica powder can be produced in batches by gas emission. The products are mainly used in large scale integrated circuits.

【技术实现步骤摘要】
一种超细熔融石英硅微粉的生产方法
本专利技术属于石英石精加工领域，尤其涉及一种超细熔融石英硅微粉的生产方法。
技术介绍
熔融石英是二氧化硅的非晶态，其二氧化硅的含量不得少于99.8%，生产时将精选的天然石英石在炉内高温熔融，熔融温度为1800℃-1900℃，熔融时间约12小时后成为熔融状态，冷却后成为固态熔融石英，熔融石英具有使用温度高、热膨胀系数低、耐磨性能好、硬度高、透光折射性好、压电性能优异等一系列优点。熔融石英的产品有：各种规格和不同用途的熔融石英砂、熔融石英块和熔融石英硅微粉。熔融石英硅微粉是由熔融石英石经破碎、磁选、研磨、分级等多道工艺加工而成的硅微粉，是一种无毒、无味、无污染的无机非金属材料，超细熔融硅微粉是一种粒度小于1.5微米的熔融硅微粉，在生产中因其较粒度更细，生产难度加大在2015年前国内尚无法生产，直至到进口了德国生产的纳米级超细磨后才能是硅微粉粒度达到1.5微米之下。本专利技术是一种超细熔融石英硅微粉，其二氧化硅的含量在99.99%以上，粒度在1.5微米以下，该产品系选用高纯天然石英，经高温熔炼，冷却后形成的熔融石英块进行一次普通研磨、一次经纳米级超细磨研磨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超细熔融石英硅微粉的生产方法，该方法以优质高纯石英块为原料，通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产纳米级超细熔融石英硅微粉，其特征是：（1）将优质高纯石英块送入破碎机破碎，得到直径小于3毫米的熔融石英砂；（2）将熔融石英砂送入磁选机，将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除，磁选时间为0.3‑0.4小时；（3）将磁选后的熔融石英砂送到研磨机进行研磨，控制研磨机的进料和出料速度均衡，保持研磨时间为2.5‑3.0小时；（4）经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨，研磨时间为4.5‑5.0小时，研磨后送振动筛进行筛分，粒度超过1.5微米的返回纳米级...

【技术特征摘要】
1.一种超细熔融石英硅微粉的生产方法，该方法以优质高纯石英块为原料，通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产纳米级超细熔融石英硅微粉，其特征是：（1）将优质高纯石英块送入破碎机破碎，得到直径小于3毫米的熔融石英砂；（2）将熔融石英砂送入磁选机，将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除，磁选时间为0.3-0.4小时；（3）将磁选后的熔融石英砂送到研磨机...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭涛，
申请(专利权)人：江苏锡沂高新区科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32