集成光电探测器及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种集成光电探测器及其制作方法，其中，该集成光电探测器包括：光电探测器；以及光波耦合器，集成于该光电探测器上，该光波耦合器包含：一光接收面，一出光面，以及一耦合体，连接光接收面和出光面，用于形成光通路；其中，光波耦合器的光接收面接收被探测的光信号，该被探测的光信号经过耦合体进行耦合传输，到达出光面形成出射光，该出射光进入该光电探测器。该集成光电探测器很容易实现光波耦合器与小尺寸外来光源的对准，从而实现较多的被探测的光信号进入光电探测器中，光接收灵敏度得以提高。

Integrated Photoelectric Detector and Its Fabrication Method

The invention discloses an integrated photoelectric detector and its fabrication method, in which the integrated photoelectric detector includes a photoelectric detector and a light wave coupler integrated on the photoelectric detector. The optical wave coupler includes a light receiving surface, a light surface and a coupler, which connects the light receiving surface and the light surface to form an optical path. The optical receiving surface receives the detected optical signal. The detected optical signal is coupled through the coupling body and transmits to the exit surface to form the emitted light. The emitted light enters the photodetector. The integrated photodetector can easily realize the alignment of light wave coupler with small size external light source, so that more detected light signals can enter the photodetector, and the light receiving sensitivity can be improved.

【技术实现步骤摘要】
集成光电探测器及其制作方法
本公开属于光通信
，涉及一种集成光电探测器及其制作方法。
技术介绍
光电探测器是指一种用来检测被探测的光信号，并把光信号转换成电信号的一种器件。一般来说，光电探测器具有一个通光口，也称光窗口，并含有一种光电转换机制能把从通光口进入的光信号转换成电信号。半导体光电二极管是一种比较典型的光电探测器，它内含一种半导体吸收层，该吸收层吸收光信号后，产生光生载流子-电子和空穴，使光信号变成电信号，实现光电转换，进而实现光探测。图1为现有技术中光电探测器与光纤的对准情况示意图，其中，(a)为光纤的结构示意图，(b)为光电探测器的结构示意图。参照图1中(a)和(b)所示，现有技术中，被探测的光信号从光纤300的光纤纤芯303中出射，通过将光电探测器100的通光口120与光纤纤芯303对准实现光信号的接收，然后在光电探测器100中实现光电转换从而实现光探测。这种采用光电探测器进行直接光探测的方案在一些具体的应用中，特别是在现代高速光通信系统的应用中存在如下技术问题：第一，很难实现光电探测器通光口径120与纤芯303的对准，由于现代大容量高速光通信系统对光电探测器的检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成光电探测器，其特征在于，包括：光电探测器；以及光波耦合器，集成于该光电探测器上，该光波耦合器包含：一光接收面，一出光面，以及一耦合体，连接光接收面和出光面，用于形成光通路；其中，所述光波耦合器的光接收面接收被探测的光信号，该被探测的光信号经过耦合体进行耦合传输，到达出光面形成出射光，该出射光进入所述光电探测器。

【技术特征摘要】
1.一种集成光电探测器，其特征在于，包括：光电探测器；以及光波耦合器，集成于该光电探测器上，该光波耦合器包含：一光接收面，一出光面，以及一耦合体，连接光接收面和出光面，用于形成光通路；其中，所述光波耦合器的光接收面接收被探测的光信号，该被探测的光信号经过耦合体进行耦合传输，到达出光面形成出射光，该出射光进入所述光电探测器。2.根据权利要求1所述的集成光电探测器，其中，所述光波耦合器为单一的光波耦合器或者多个光波耦合器的组合，单一的光波耦合器包含至少一个光接收面和至少一个出光面。3.根据权利要求1所述的集成光电探测器，其中，所述光接收面上附有第一抗反射膜；和/或，所述出光面上附有第二抗反射膜。4.根据权利要求1所述的集成光电探测器，其中，所述光电探测器包含一通光口，所述光接收面与通光口的尺寸满足：使得光接收面的接收光通量大于被探测的光信号不经过所述光波耦合器直接进入所述光电探测器的通光口的光通量。5.根据权利要求1所述的集成光电探测器，其中，所述光波耦合器的光接收面的通光口径大于所述出光面的通光口径。6.根据权利要求1所述的集成光电探测器，其中，所述光波耦合器的耦合体为轴对称图形、中心对称图形或非对称图形；和/或，所述光接收面和出光面的形状为圆形、多边形、周期性图形或不规则图形；和/或，所述光接收面和出光面为平面、曲面、台面、锥面或其组合。7.根据权利要求6所述的集成光电探测器，其中，所述耦合体的结构、形状设置或材料分布使得该耦合体产生一个由中心往边缘渐变减小的等效折射率分布，产生光场由边缘区域向中心区域集中的聚光效应。8.根据权利要求7所述的集成光电探测器，其中，所述耦合体为轴对称图形，且该光波耦合器的截面为齿轮状，该齿轮状结构的设置使得齿轮的内径和齿轮的外径之间的带状区间及其边缘区域内的光学等效折射率与中心的折射率不同，产生一个由中心...

【专利技术属性】
技术研发人员：张济志，
申请(专利权)人：张济志，
类型：发明
国别省市：浙江,33