一种沉积装置及制备热解炭的方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种沉积装置，包括转动轴、进气通道、筒体、位于所述筒体内的沉积基板，所述筒体上设有盖板，所述盖板上开设有通孔，所述沉积基板与所述盖板相对设置，所述沉积基板与所述转动轴固定连接，所述筒体与所述进气通道连通。本发明专利技术所提供的沉积装置，通过转动轴带动沉积基板旋转，能够保证沉积气体及沉积膜厚度分布均匀，实现沉积气体在沉积基板上方均匀分布并沉积，延长沉积时间，可以得到大厚度且密度均匀的热解炭，同时本发明专利技术的结构简单，降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种沉积装置及制备热解炭的方法
本专利技术涉及化学气相沉积
，更具体地说，特别涉及一种沉积装置及制备热解炭的方法。
技术介绍
热解炭是指碳氢化合物气体在热固体表面上发生热分解并在该固体表面上沉积的炭素材料，根据热解炭材料的微观结构可以将其分为各向异性和各向同性热解炭。各向同性热解炭的结构致密、晶粒尺寸小、各向性能一致性好，除了具备普通炭质材料的耐高温(无氧环境下)、自润滑、耐磨损等共同优点外，还具有强度高、密封性好、可加工性优良的特点，因而在机械、航空、航天、船舶、医学等领域有广阔的应用前景。文献“大尺寸各向同性热解炭的制备与表征《新型炭材料》第21卷2006年第2期”公开了一种采用旋转基体稳态流化床装置制备各向同性热解炭的方法。采用此方法在沉积温度为1400-1500℃下，制备出了直径130mm，厚度为5mm的各向同性热解炭材料。但这种方法存在难以沉积厚度大、结构均匀、密度大的热解炭的问题。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种沉积装置，本专利技术提供的沉积装置结构简单，操作方便，且能够用于沉积厚度大、结构均匀的热解炭。本专利技术还提供一种制备热解炭的方法，能用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种沉积装置，其特征在于，包括转动轴(5)、进气通道(7)、筒体(1)和位于所述筒体(1)内的沉积基板(4)，所述筒体(1)上设有盖板(3)，所述盖板(3)上开设有通孔(9)；所述沉积基板(4)与所述转动轴(5)固定连接，所述沉积基板(4)与所述盖板(3)相对设置，所述筒体(1)与所述进气通道(7)连通。

【技术特征摘要】
1.一种沉积装置，其特征在于，包括转动轴(5)、进气通道(7)、筒体(1)和位于所述筒体(1)内的沉积基板(4)，所述筒体(1)上设有盖板(3)，所述盖板(3)上开设有通孔(9)；所述沉积基板(4)与所述转动轴(5)固定连接，所述沉积基板(4)与所述盖板(3)相对设置，所述筒体(1)与所述进气通道(7)连通。2.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，还包括导流杆(6)，所述导流杆(6)与所述沉积基板(4)固定连接，所述导流杆(6)从所述盖板3的开孔处伸出所述筒体(1)，所述导流杆(6)与所述转动轴(5)分别位于所述沉积基板(4)的两侧。3.根据权利要求2所述的沉积装置，其特征在于，所述导流杆(6)与所述转动轴(5)同轴设置，所述转动轴(5)与所述沉积基板(4)所在平面垂直。4.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，还包括炉体(2)，所述炉体(2)位于所述筒体(1)的外部。5.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，还包括电机，所述转动轴(5)与所述电机相连，所述电机用于驱动所述转动轴(5)转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴煜，吕攀，李志国，胡祥龙，
申请(专利权)人：湖南顶立科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43