The invention provides a plasma generator and a plasma cleaning device applied to the plasma generator for treating a surface to be treated. The plasma generator comprises at least one plasma nozzle assembly, which comprises a plurality of plasma nozzles and a common channel. Each plasma nozzle has an inlet end and an outlet end, wherein each plasma nozzle is connected with the common channel fluid through the inlet end, and each plasma nozzle is evenly arranged in the common channel; moreover, the outlet end of each plasma nozzle faces the surface to be treated, and each plasma emits. The distance between the outlet end of the generator and the surface to be treated is equal.
【技术实现步骤摘要】
等离子体发生器及等离子体清洗装置
本专利技术涉及显示面板
，尤其涉及用于显示面板的基板或盖板清洗的等离子体发生器及等离子体清洗装置。
技术介绍
等离子体具有宏观温度低，电子温度高的特点，其富含高活性激发态离子和高能带电粒子，因而适用于对材料表面的改性和玻璃等物体表面的清洗。图1所示的是现有技术中一常见的等离子体发生装置1。如图1所示，所述等立体自发生装置1包括：气体源11，高压射频发生器12和喷头13。所述喷头13具有一内腔131，所述内腔131为绝缘体。所述气体源11内的气体通过一气路111在所述喷头13的所述内腔131内形成气流112。所述高压射频发生器12则通过在所述喷头13内的一阴极及一中枢电极121施加射频电压，以形成高频交变电场。进而，使得所述内腔131内的气流112在电弧122激荡下形成等离子体束2。在半导体行业和显示面板行业中，需要经常使用到上述等离子体束2对产品进行清洗以增加其表面附着力，例如，对玻璃基板的清洁，绑定前对端子部的清洁，以及贴合前对玻璃盖板的清洁等。通过等离子体束2对被清洗物进行物理轰击，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，...
【技术保护点】
1.一种等离子体发生器，用于处理一待处理表面，其特征在于，所述等离子体发生器包括至少一等离子体喷管组件，所述等离子体喷管组件包括复数个等离子体喷管和一公共流道；其中，每一等离子体喷管具有一进气端和一出口端；每一所述等离子体喷管通过所述进气端与所述公共流道流体连接，且每一所述等离子体喷管在所述公共流道上均匀排列；并且，每一所述等离子体喷管的所述出口端面朝所述待处理表面，并且，每一述等离子体发生器的所述出口端与所述待处理表面之间的距离相等。
【技术特征摘要】
1.一种等离子体发生器，用于处理一待处理表面，其特征在于，所述等离子体发生器包括至少一等离子体喷管组件，所述等离子体喷管组件包括复数个等离子体喷管和一公共流道；其中，每一等离子体喷管具有一进气端和一出口端；每一所述等离子体喷管通过所述进气端与所述公共流道流体连接，且每一所述等离子体喷管在所述公共流道上均匀排列；并且，每一所述等离子体喷管的所述出口端面朝所述待处理表面，并且，每一述等离子体发生器的所述出口端与所述待处理表面之间的距离相等。2.如权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于，所述离子体发生器还包括一气体源，所述气体源与所述公共流道流体连接，用于向每一所述等离子体喷管组件提供气体。3.如权利要求2所述的等离子体发生器，其特征在于，所述离子体发生器还包括一激励电源，所述激励电源与每一所述等离子体喷管导电连接，用以将由所述进气端进入所述等离子体喷管内的气体激发为等离子体。4.如权利要求3所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王永青，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42
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