一种晶舟盒微污染检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶舟盒微污染检测设备，用以检测晶圆搬运盒，包括承载座、第一气体供应模块、第一检测器、第一通道、以及第二气体供应模块。承载座设有第一通孔和第二通孔。第一气体供应模块连接第一通孔。第一通道连接第二通孔与第一检测器。当晶圆搬运盒设置在承载座上时，第一气体供应模块提供第一气体通过晶圆搬运盒进入第一检测器，第二气体供应模块提供第二气体进入第一检测器。当晶圆搬运盒由承载座上去除时，第一气体供应模块停止供应第一气体，第二气体通过第一通道并由第二通孔排出晶舟盒微污染检测设备。该实用新型专利技术具有实时监控、检测时间短、检测效率高的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种晶舟盒微污染检测设备
本技术涉及检测
，具体是一种晶舟盒微污染检测设备。
技术介绍
一般检测晶圆搬运盒内气体元素是否符合标准时，需利用多个晶舟盒微污染检测设备以检测不同的元素，如此一来除了耗费大量的检测时间，晶圆搬运盒在晶舟盒微污染检测设备之间的移动也导致时间的消耗，使检测效率难以提升。再者，检测时晶圆搬运盒内的元素可能会污染晶舟盒微污染检测设备，使晶舟盒微污染检测设备在检测另一晶圆搬运盒产生不准确的结果。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种检测精度高、检测时间短的晶舟盒微污染检测设备。为了实现上述目的，本技术晶舟盒微污染检测设备，包括：承载座，具有第一通孔和第二通孔；第一气体供应模块，连接所述第一通孔；第一检测器；第一通道，连接所述第二通孔与所述第一检测器；第二气体供应模块，连接所述第一通道；感测组件，电性连接所述承载座及所述第一气体供应模块，当晶圆搬运盒设置于所述承载座上时，第一气体供应模块提供第一气体由所述第一通孔进入晶圆搬运盒，并由所述第二通孔离开晶圆搬运盒，接着通过所述第一通道进入所述第一检测器，且所述第二气体供应模块提供第二气体通过所述第一通道进入所述第一检测器，当晶圆搬运盒从所述承载座上去除时，感测组件传送信号至所述第一气体供应模块使所述第一气体供应模块停止供应所述第一气体，所述第二气体供应模块提供的所述第二气体通过所述第一通道并由所述第二通孔排出晶舟盒微污染检测设备。上述的晶舟盒微污染检测设备，其中，还包括：主通道，连接所述第二通孔和所述第一通道；第二检测器；第二通道，连接所述主通道和所述第二检测器，所述第二气体供应模块连接所述第二通道。上述的晶舟盒微污染检测设备，其中，还包括第一电磁阀和第二电磁阀，所述第一电磁阀设置于所述第二气体供应模块和所述第一通道之间，且所述第二电磁阀设置于所述第二气体供应模块和所述第二通道之间。上述的晶舟盒微污染检测设备，其中，还包括：主电磁阀；连接所述主通道与所述第一通道；第一连接管，连接所述第二通孔与所述主电磁阀；第二连接管，其中所述承载座还包括第三通孔和第四通孔，所述第三通孔连接所述第一气体供应模块，且所述第二连接管连接所述第四通孔与所述主电磁阀。上述的晶舟盒微污染检测设备，其中，还包括排气通道，连接所述第一检测器与外部环境。上述的晶舟盒微污染检测设备，其中，还包括泵，设置于所述排气通道或所述第一通道内。上述的晶舟盒微污染检测设备，其中，还包括壳体和气体分析组件，所述第一气体供应模块、所述第一检测器、所述第一通道、所述第二气体供应模块、所述感测组件以及所述气体分析组件设置于所述壳体内，且所述承载座凸出于所述壳体表面，其中所述气体分析组件用以测量所述壳体内的气体浓度或成分。上述的晶舟盒微污染检测设备，其中，所述第一气体供应模块包括质流控制器。上述的晶舟盒微污染检测设备，其中，所述第一气体包括氮气，第二气体包括干燥干净气体。上述的晶舟盒微污染检测设备，其中，所述第一检测器包括离子电泳光谱分析仪、光游离侦测器、氟化氢气体分析仪或飞行时间质谱仪。技术的有益效果是：实时监控、检测时间短、检测效率高。以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。附图说明图1是晶舟盒微污染检测设备结构示意图；图2是晶圆搬运盒设置于晶舟盒微污染检测设备承载座的结构示意图；图3是设置于承载座上的晶圆搬运盒被去除结构示意图；图4是晶圆搬运盒设置于晶舟盒微污染检测设备承载座的结构示意图；图5是设置于承载座上的晶圆搬运盒被去除结构示意图。其中，附图标记100壳体110表面200承载座210第一通孔220第二通孔310第三通孔320第四通孔400第一气体供应模块500第二气体供应模块600感测组件700气体分析组件A1第一气体A2第二气体C主通道C1第一通道C2第二通道C3第三通道C4第四通道D排气通道F1、F2晶圆搬运盒I1第一检测器I2第二检测器I3第三检测器I4第四检测器M主电磁阀M1第一电磁阀M2第二电磁阀M3第三电磁阀M4第四电磁阀P泵T1第一连接管T2第二连接管具体实施方式下面结合附图对本技术的结构原理和工作原理作具体的描述：晶舟盒微污染检测设备如图1所示，包括壳体100、承载座200、第一气体供应模块400、第二气体供应模块500、感测组件600、气体分析组件700、第一检测器I1、第二检测器I2、第三检测器I3、以及第四检测器I4，其中所述承载座200凸出壳体100的表面110，第一气体供应模块400、第二气体供应模块500、感测组件600、气体分析组件700、以及第一四检测器I1、第二四检测器I2、第三四检测器I3、第四检测器I4则设置于所述壳体100内。承载座200上设有第一通孔210、第二通孔220、第三通孔310和第四通孔320，其中第一通孔210和第三通孔310与第一气体供应模块400连接，第二通孔220与第四通孔320则分别通过第一连接管T1和第二连接管T2与一主电磁阀M连接。应注意的是，第一气体供应模块400位于第一通孔210和第三通孔310之间，且主电磁阀M位于第一连接管T1和第二连接管T2之间，因此，第一气体供应模块400可独立地将气体供应至第一通孔210或第三通孔310，而主电磁阀M则可控制气体流经第一连接管T1或第二连接管T2。参阅图1，主通道C与主电磁阀M连接，且第一通道C1、第二通道C2、第三通道C3和第四通道C4分别连接主通道C与第一检测器I1、第二检测器I2、第三检测器I3、第四检测器I4，第二气体供应模块500与第一通道C1、第二通道C2、第三通道C3、第四通道C4相连。此外，第一检测器I1、第二检测器I2、第三检测器I3、第四检测器I4通过排气通道D与外部环境连通。感测组件600与承载座200、第一气体供应模块400以及主电磁阀M电性连接。本实施例中，晶舟盒微污染检测设备还包括第一电磁阀M1、第二电磁阀M2、第三电磁阀M3、第四电磁阀M4以及复数个泵P。第一电磁阀M1、第二电磁阀M2、第三电磁阀M3、第四电磁阀M4分别设置在第二气体供应模块500与第一通道C1、第二通道C2、第三通道C3、第四通道C4之间，并与感测组件600电性连接。泵P则分别设置在第一检测器I1、第二检测器I2、第三检测器I3、第四检测器I4后方的排气通道D内，泵P提供负压使气体可由第一通道C1、第二通道C2、第三通道C3、第四通道C4穿过第一检测器I1、第二检测器I2、第三检测器I3、第四检测器I4而进入排气通道D。由于泵P设置在第一通道C1、第二通道C2、第三通道C3、第四通道C4、第一检测器I1、第二检测器I2、第三检测器I3、第四检测器I4的后方，因此可避免气体受到泵P污染后再进入第一检测器I1、第二检测器I2、第三检测器I3、第四检测器I4。实施例中，泵P也可配合检测器的特性而选择性地设置在第一通道C1、第二通道C2、第三通道C3或第四通道C4中。实施例中，第一气体供应模块400和第二气体供应模块500已提供足够的气体流速，因此泵P可省略。实施例中，第一气体供应模块400提供惰性气体(例如氮气)，而第二气体供应模块500提供干燥干净气体(cleandryair)，且第一气体供应模本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，包括：承载座，具有第一通孔和第二通孔；第一气体供应模块，连接所述第一通孔；第一检测器；第一通道，连接所述第二通孔与所述第一检测器；第二气体供应模块，连接所述第一通道；感测组件，电性连接所述承载座及所述第一气体供应模块，当晶圆搬运盒设置于所述承载座上时，第一气体供应模块提供第一气体由所述第一通孔进入晶圆搬运盒，并由所述第二通孔离开晶圆搬运盒，接着通过所述第一通道进入所述第一检测器，且所述第二气体供应模块提供第二气体通过所述第一通道进入所述第一检测器，当晶圆搬运盒从所述承载座上去除时，感测组件传送信号至所述第一气体供应模块使所述第一气体供应模块停止供应所述第一气体，所述第二气体供应模块提供的所述第二气体通过所述第一通道并由所述第二通孔排出晶舟盒微污染检测设备。

【技术特征摘要】
1.一种晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，包括：承载座，具有第一通孔和第二通孔；第一气体供应模块，连接所述第一通孔；第一检测器；第一通道，连接所述第二通孔与所述第一检测器；第二气体供应模块，连接所述第一通道；感测组件，电性连接所述承载座及所述第一气体供应模块，当晶圆搬运盒设置于所述承载座上时，第一气体供应模块提供第一气体由所述第一通孔进入晶圆搬运盒，并由所述第二通孔离开晶圆搬运盒，接着通过所述第一通道进入所述第一检测器，且所述第二气体供应模块提供第二气体通过所述第一通道进入所述第一检测器，当晶圆搬运盒从所述承载座上去除时，感测组件传送信号至所述第一气体供应模块使所述第一气体供应模块停止供应所述第一气体，所述第二气体供应模块提供的所述第二气体通过所述第一通道并由所述第二通孔排出晶舟盒微污染检测设备。2.如权利要求1所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，还包括：主通道，连接所述第二通孔和所述第一通道；第二检测器；第二通道，连接所述主通道和所述第二检测器，所述第二气体供应模块连接所述第二通道。3.如权利要求2所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于：还包括第一电磁阀和第二电磁阀，所述第一电磁阀设置于所述第二气体供应模块和所述第一通道之间，且所述第二电磁阀设置于所述第二气体供应模块和所述第二通道之间。4.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：张家如，
申请(专利权)人：上海密亚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31