一种推车式气体处理设备制造技术

本实用新型专利技术是推车式气体处理设备，用以处理环境气体，包括壳体以及气体净化装置。该壳体具有滚轮以及抽屉式摆放空间，其中滚轮设于壳体底部，抽屉式摆放空间设于壳体内，用以放置至少一仪器。气体净化装置包括第一缓冲槽、供气压缩泵、除水器、微粒过滤器以及储气槽。第一缓冲槽及供气压缩泵设于该壳体内，该供气压缩泵从壳体之外吸取环境气体，并导入至第一缓冲槽。除水器连通第一缓冲槽，并去除环境气体的水分。微粒过滤器连通第一缓冲槽，去除环境气体中的微粒。环境气体经过除水器以及微粒过滤器处理后成为洁净气体，该洁净气体被导入及存放于储气槽之中，以供至少一仪器使用。该实用新型专利技术具有移动方便、安全可靠、净化效率高的特点。

A Push-cart Gas Processing Equipment

The utility model relates to a truck-type gas treatment device, which is used to treat ambient gas, including a shell and a gas purification device. The shell has a roller and a drawer-type placing space, in which the roller is arranged at the bottom of the shell and the drawer-type placing space is arranged in the shell for placing at least one instrument. The gas purification device comprises a first buffer tank, a gas supply compressor pump, a water separator, a particle filter and a gas storage tank. The first buffer groove and the supply gas compressor pump are arranged in the shell. The supply gas compressor pump absorbs the ambient gas from the outside of the shell and imports it into the first buffer groove. The water remover connects the first buffer tank and removes moisture from the ambient gas. The particulate filter connects the first buffer tank to remove particulates in the ambient gas. The ambient gas is treated by a water remover and a particulate filter to become a clean gas, which is imported and stored in a gas storage tank for use by at least one instrument. The utility model has the advantages of convenient movement, safety and reliability, and high purification efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种推车式气体处理设备
本技术涉及气体净化
，具体是推车式气体处理设备。
技术介绍
通常的半导体厂房中，洁净气体统一储存于特定的储存槽之内，并通过厂房管路，给厂房的特定地点提供。由于气体分析仪、校正器等设备均需要使用洁净气体，而气体分析仪等设备仅能在厂房的特定地点使用，造成使用上的不便，也形成了检测上的死角。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种移动方便、安全可靠、净化效率高的推车式气体处理设备。为了实现上述目的，本技术推车式气体处理设备，包括：壳体，所述壳体底部设有滚轮，所述壳体内设有抽屉式摆放空间；气体净化装置，所述气体净化装置设于所述壳体内，包括：第一缓冲槽；供气压缩泵，所述供气压缩泵从所述壳体外吸取环境气体，并将环境气体导入至所述第一缓冲槽；除水器，所述除水器连通所述第一缓冲槽，并去除环境气体的水分；微粒过滤器，所述微粒过滤器连通所述第一缓冲槽，并去除环境气体中的微粒；储气槽，环境气体经过所述除水器及所述微粒过滤器处理后成为洁净气体，所述洁净气体被导入并存放于所述储气槽中。上述的推车式气体处理设备，其中，所述壳体内还设有斜式面板。上述的推车式气体处理设备，其中，所述壳体内设有抽屉式托盘。上述的推车式气体处理设备，其中，所述壳体还设有空气滤网。上述的推车式气体处理设备，其中，所述抽屉式摆放空间包括散热系统和带有散热孔的散热架，设于所述壳体内，以供至少一仪器散热。上述的推车式气体处理设备，其中，所述仪器为连通所述储气槽的气体分析仪，所述气体净化装置为所述气体分析仪提供洁净气体。上述的推车式气体处理设备，其中，还包括所述壳体内的环形管，所述环形管连通所述第一缓冲槽，所述环形管冷却环境气体。上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括定时排水装置和卸水储水瓶，所述卸水储水瓶连通所述定时排水装置，所述定时排水装置连接所述除水器，并且所述定时排水装置使所述卸水储水瓶定时收集所述除水器从环境气体去除的水分。上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括干燥器，环境气体依序经过所述环形管、除水器和微粒过滤器，所述环境气体干燥并达到-60oC以下之露点的条件而成为洁净气体，所述洁净气体从所述干燥器进入所述储气槽。上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括气体切换开关，，设于所述壳体内，并连通于所述干燥器以及所述储气槽之间，其中，所述气体切换开关选择性切换所述洁净气体或外部输入的洁净气体进入所述储气槽。上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括连接所述储气槽的安全泄压单元，所述安全泄压单元检测所述储气槽内的气体压力并且当所述储气槽内的气体压力超过预设的安全压力值时自动进行泄压。上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括第一压力控制单元以及第二压力控制单元，所述第一压力控制单元连接所述储气槽，第二压力控制单元连接所述第一压力控制单元，所述第一压力控制单元以及所述第二压力控制单元依次以第一压力控制参数以及第二压力控制参数对所述洁净气体进行压力控制，所述第一压力控制参数大于所述第二压力控制参数。上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括缓冲槽，设于所述壳体之中，并且所述第二压力控制单元连接所述缓冲槽，所述缓冲槽连通至少一仪器，所述缓冲槽用以暂存所述第二压力控制单元降压后的洁净气体后导入降压后的洁净气体至所述至少一仪器。上述的推车式气体处理设备，其中，还包括电源控制装置，设于所述壳体之中，并连接所述气体净化装置以及所述至少一仪器，所述电源控制装置对所述气体净化装置以及所述至少一仪器进行供电控制。上述的推车式气体处理设备，其中，所述电源控制装置还包括电路板，设于所述壳体之中，所述电路板包括温度安全单元，其具有温度保护功能、过载跳脱开关以及压力控制单元。上述的推车式气体处理设备，其中，所述电源控制装置还包括不断电单元，设于所述壳体内，并连接所述电路板。上述的推车式气体处理设备，其中，所述电源控制装置还包括紧急停止按钮，设于所述壳体内，并且连接于所述不断电单元以及外部电源之间，用以紧急停止供电。上述的推车式气体处理设备，其中，所述电源控制装置还包括第二过载跳脱单元以及滤波单元，设于所述壳体内，并且所述第二过载跳脱单元连接所述不断电单元以及所述滤波单元，所述滤波单元接收并滤除外部电源的噪声，所述第二过载跳脱单元当外部电源过载时进行断电。技术的有益效果是：移动方便、安全可靠、净化效率高。以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。附图说明图1是本技术结构示意图；图2是本技术操作示意图；图3是本技术结构框图；图4是本技术电源控制装置结构框图。其中，附图标记1~推车式气体处理设备10~气体净化装置11~壳体12~滚轮13~抽屉式摆放空间14~抽屉式托盘15~空气滤网21~第一缓冲槽22~第二缓冲槽31~供气压缩泵32~真空泵41~除水器42~微粒过滤器43~环形管44~干燥器50~卸水储水瓶51~定时排水装置52~气体切换开关60~储气槽61~安全泄压装置70~压力控制单元80~气体杂质吸附过滤器81~第一压力控制单元82~第二压力控制单元90~第三缓冲槽200~仪器300~电源控制装置301~温度安全单元302~第一过载跳脱单元303~压力控制单元304~电路板305~电源供应单元306~紧急停止按钮307~不断电单元308~第二过载跳脱单元309~滤波单元310~插头具体实施方式下面结合附图对本技术的结构原理和工作原理作具体的描述：如图1至4所示，本技术提供一种可移动的推车式气体处理设备1，其内部设有抽屉式摆放空间13以及气体净化装置10，抽屉式摆放空间13可供放置分析仪、校正器等仪器，气体净化装置10可以在厂房各处将环境气体净化为洁净气体，并将洁净气体供分析仪、校正器等仪器使用。电源控制装置300提供多重安全保护机制，监测推车式气体处理设备1内部的各部件的运转情况以及外部供电情况，并于异常发生时及时供电或断电，以延长推车式气体处理设备中各部件的使用寿命。如图1所示，推车式气体处理设备1包括壳体11、滚轮12、抽屉式摆放空间13以及抽屉式托盘14。抽屉式托盘14以及抽屉式摆放空间13设于壳体11内。滚轮12设于壳体11底部，推车式气体处理设备1可依使用者需求在厂房内移动。实施例中，壳体11可为不锈钢材质并且符合人体工学操作。壳体11具有一斜式面板，抽屉式摆放空间13为可抽出式，通过推拉方式移出，可以同时放置多台气体处理仪器如分析仪、校正器等以供使用。抽屉式摆放空间13是具有散热系统及带散热孔的散热架空间。抽屉式摆放空间13可以有一或多个可抽出式带散热孔的散热架。参照图2，本实施例中，壳体11的抽屉式摆放空间13可包括一或多个可抽出式带散热孔的散热架，可以抽出以供一或多台仪器200例如气体分析仪摆放。举例来说，另一实施例中，散热架可迭放多台气体分析仪200。推车式气体处理设备1内部包括气体净化装置10、至少一仪器200以及电源控制装置300。气体净化装置10连通该至少一仪器200，该仪器200可以为气体分析仪、校正器或是其他仪器，该气体净化装置10对该仪器200供本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种推车式气体处理设备，其特征在于，包括：壳体，所述壳体底部设有滚轮，所述壳体内设有抽屉式摆放空间；气体净化装置，所述气体净化装置设于所述壳体内，包括：第一缓冲槽；供气压缩泵，所述供气压缩泵从所述壳体外吸取环境气体，并将环境气体导入至所述第一缓冲槽；除水器，所述除水器连通所述第一缓冲槽，并去除环境气体的水分；微粒过滤器，所述微粒过滤器连通所述第一缓冲槽，并去除环境气体中的微粒；储气槽，环境气体经过所述除水器及所述微粒过滤器处理后成为洁净气体，所述洁净气体被导入并存放于所述储气槽中。

【技术特征摘要】
1.一种推车式气体处理设备，其特征在于，包括：壳体，所述壳体底部设有滚轮，所述壳体内设有抽屉式摆放空间；气体净化装置，所述气体净化装置设于所述壳体内，包括：第一缓冲槽；供气压缩泵，所述供气压缩泵从所述壳体外吸取环境气体，并将环境气体导入至所述第一缓冲槽；除水器，所述除水器连通所述第一缓冲槽，并去除环境气体的水分；微粒过滤器，所述微粒过滤器连通所述第一缓冲槽，并去除环境气体中的微粒；储气槽，环境气体经过所述除水器及所述微粒过滤器处理后成为洁净气体，所述洁净气体被导入并存放于所述储气槽中。2.如权利要求1所述的推车式气体处理设备，其特征在于，所述壳体内还设有斜式面板。3.如权利要求2所述的推车式气体处理设备，其特征在于，所述壳体内设有抽屉式托盘。4.如权利要求3所述的推车式气体处理设备，其特征在于，所述壳体还设有空气滤网。5.如权利要求1所述的推车式气体处理设备，其特征在于，所述抽屉式摆放空间包括散热系统和带有散热孔的散热架，设于所述壳体内，以供至少一仪器散热。6.如权利要求5所述的推车式气体处理设备，其特征在于，所述仪器为连通所述储气槽的气体分析仪，所述气体净化装置为所述气体分析仪提供洁净气体。7.如权利要求1所述的推车式气体处理设备，其特征在于，还包括所述壳体内的环形管，所述环形管连通所述第一缓冲槽，所述环形管冷却环境气体。8.如权利要求7所述的推车式气体处理设备，其特征在于，所述气体净化装置还包括定时排水装置和卸水储水瓶，所述卸水储水瓶连通所述定时排水装置，所述定时排水装置连接所述除水器，并且所述定时排水装置使所述卸水储水瓶定时收集所述除水器从环境气体去除的水分。9.如权利要求8所述的推车式气体处理设备，其特征在于，所述气体净化装置还包括干燥器，环境气体依序经过所述环形管、除水器和微粒过滤器，所述环境气体干燥并达到-60oC以下之露点的条件而成为洁净气体，所述洁净气体从所述干燥器进入所述储气槽。10.如权利要求9所述的推车式气体处理设备，其特征在于，所述气体净化装置还包括气体切换开关，设于所述壳体内，并连通于所述干燥器以及所述储气槽之间，其中，所述气体切换开关选择性切换所述洁净气体或外部...

【专利技术属性】
技术研发人员：张家如，
申请(专利权)人：上海密亚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31