一种紧固螺丝环部件洗净溶射保护专用治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种紧固螺丝环部件洗净溶射保护专用治具，包括：上保护罩、下保护罩，所述上保护罩与下保护罩为圆环结构，两个圆环结构的外径相同，下保护罩圆环结构的内径小于上保护罩圆环结构的内径；所述上保护罩圆环结构内部设有凸台a，所述下保护罩圆环结构内部设有凸台b，所述凸台a与凸台b相对设置形成一个容置腔体，待洗净溶射部件的非溶射区域位于容置腔体内部。本实用新型专利技术方案具有使用方便，精度高，可重复使用及节省人力、物料成本的特点。

A special fixture for cleaning and spraying protection of fastening screw ring components

The utility model discloses a special treatment tool for cleaning and spraying protection of fastening screw ring components, which comprises an upper protective cover and a lower protective cover. The upper protective cover and a lower protective cover are circular structures, the outer diameters of the two ring structures are the same, and the inner diameters of the lower protective cover are smaller than those of the upper protective cover. The inner part of the shield ring structure is provided with a convex platform B. The convex platform a and the convex platform B are arranged relative to each other to form an accommodation cavity. The non-dissolution area of the dissolution component to be washed is located in the inner part of the accommodation cavity. The scheme of the utility model has the characteristics of convenient use, high precision, reusable use and saving manpower and material cost.

【技术实现步骤摘要】
一种紧固螺丝环部件洗净溶射保护专用治具
本技术涉及一种溶射保护治具，具体说是一种半导体设备氮化钛气相沉积装置紧固螺丝环部件洗净溶射保护专用治具。
技术介绍
目前在对半导体设备部件进行洗净再生过程中，溶射工序中需要对部件的非溶射区域进行遮蔽保护，通常是采用手工耐高温胶带进行保护，用溶射胶带保护时，依据工艺要求，将胶带根据部件所需要遮蔽的范围进行粘贴，剪切，此做法存在以下三点缺陷：1、溶射后的胶带无法重复利用，增加生产成本。2、用手工胶带剪切保护，受人工作业限制，遮蔽部位范围精度不足，尤其保护边缘位置参次不齐，会造成溶射不良。3、耐高温胶带在使用后会有少量残胶留在表面，再次造成不良。
技术实现思路
本申请提出一种紧固螺丝环部件洗净溶射保护专用治具，用于代替耐高温胶带对部件的非溶射部分进行遮蔽保护。为实现上述目的，本申请的技术方案为：一种紧固螺丝环部件洗净溶射保护专用治具，包括：上保护罩、下保护罩，所述上保护罩与下保护罩为圆环结构，两个圆环结构的外径相同，下保护罩圆环结构的内径小于上保护罩圆环结构的内径；所述上保护罩圆环结构内部设有凸台a，所述下保护罩圆环结构内部设有凸台b，所述凸台a与凸台b相对设置形成一个容置腔体，待洗净溶射部件的非溶射区域位于容置腔体内部。进一步的，所述上保护罩与下保护罩的材质为不锈钢。进一步的，待洗净溶射部件的溶射区域裸露在容置腔体外部。本技术由于采用以上技术方案，能够取得如下的技术效果：1、洗净溶射遮蔽保护治具可以重复利用，只需经过适当的清洗就可以使表面光亮如新，达到再使用的要求。2、可代替人工用耐热胶带遮蔽部件的非溶射区域，保护范围定位准确，精度高。3、因是不锈钢治具，表面不会留下残胶，污垢等副产物。本技术方案具有使用方便，精度高，可重复使用及节省人力、物料成本的特点。附图说明图1为一种紧固螺丝环部件洗净溶射保护专用治具结构示意图；图2为图1的A-A剖视图；图3为图2的局部放大图。图中序号说明：1、上保护罩；2、下保护罩；3、凸台a；4、凸台b；5、容置腔体。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细的描述：以此为例对本申请做进一步的描述说明。如图1-3所示，本实施例提供一种治具，是专门为英特尔公司使用的半导体设备氮化钛气相沉积装置紧固螺丝环部件洗净溶射保护的专用治具，具体包括：上保护罩、下保护罩，所述上保护罩与下保护罩为圆环结构，两个圆环结构的外径相同，下保护罩圆环结构的内径小于上保护罩圆环结构的内径；所述上保护罩圆环结构内部设有凸台a，所述下保护罩圆环结构内部设有凸台b，所述凸台a与凸台b相对设置形成一个容置腔体，待洗净溶射部件的非溶射区域位于容置腔体内部。上述治具的工作方法为：将下保护罩2平放，待洗净溶射部件平放在下保护罩2上，然后再将上保护罩1放在待洗净溶射部件上，露出需要洗净溶射的区域。溶射后将本治具取下，可重复实用。以上所述，仅为本技术创造较佳的具体实施方式，但本技术创造的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术创造披露的技术范围内，根据本技术创造的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术创造的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种紧固螺丝环部件洗净溶射保护专用治具，其特征在于，包括：上保护罩、下保护罩，所述上保护罩与下保护罩为圆环结构，两个圆环结构的外径相同，下保护罩圆环结构的内径小于上保护罩圆环结构的内径；所述上保护罩圆环结构内部设有凸台a，所述下保护罩圆环结构内部设有凸台b，所述凸台a与凸台b相对设置形成一个容置腔体，待洗净溶射部件的非溶射区域位于容置腔体内部。

【技术特征摘要】
1.一种紧固螺丝环部件洗净溶射保护专用治具，其特征在于，包括：上保护罩、下保护罩，所述上保护罩与下保护罩为圆环结构，两个圆环结构的外径相同，下保护罩圆环结构的内径小于上保护罩圆环结构的内径；所述上保护罩圆环结构内部设有凸台a，所述下保护罩圆环结构内部设有凸台b，所述凸台a与凸台b相对设置形...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈智慧，朱光宇，张正伟，李泓波，贺贤汉，
申请(专利权)人：富乐德科技发展大连有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21