一种制作靶材用多主元合金及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种制作靶材用多主元合金及其制备方法，属于金属材料及其制备领域。该多主元合金的化学式为AlxCoCuMnyNiTiz，其中0.1≤x≤1.2；0.1≤y≤1.2；0.1≤z≤1.2；0.01

A Multi-Principal Alloy for Target Making and Its Preparation Method

The invention provides a multi-principal alloy for making target materials and a preparation method thereof, which belongs to the field of metal materials and preparation. The chemical formula of the multi-principal alloy is AlxCoCuMnyNiTiz, in which 0.1 < x < 1.2; 0.1 < y < 1.2; 0.1 < Z < 1.2; 0.01;

【技术实现步骤摘要】
一种制作靶材用多主元合金及其制备方法
本专利技术涉及金属材料及其制备领域，具体涉及一种制作靶材用多主元合金及其制备方法。
技术介绍
靶材作为涂层技术的材料来源，直接影响着涂层的种类和性能。将靶材成分与涂层性能结合起来，提供针对特定用途的涂层的靶材成分设计具有重要意义。靶材常见的制备方法主要有熔融铸造法和粉末冶金法。但对于熔沸点或密度相差较大的多种金属元素组成的靶材来说，熔铸法难以获得成分均匀的合金靶材。粉末冶金制备靶材的方法主要有热等静压法、热压法、冷等静压-烧结法、放电等离子烧结法等。不同的方法根据原料粉末成分粒度、升温模式不同，所制备出的靶材组织结构也有一定的区别。靶材制备过程中除严格要求材料的纯度、致密度、晶粒度、取向以外，对靶材的合金成分、热处理工艺、成型加工等也有一定的要求从而保证靶材以及相应涂层的质量。2004年，多主元高熵合金首次报道，便因其有别于传统合金的设计理念和高硬度、抗回火软化、耐高温、耐腐蚀、耐磨损等性能引起了广泛关注，这些优异性能决定了多主元高熵合金在涂层材料和靶材领域具有巨大的应用潜力。因此，设计一种新型的制作靶材用多主元合金的材料具有巨大的市场需求和广阔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制作靶材用多主元合金，其特征在于：该多主元合金的化学式为AlxCoCuMnyNiTiz，其中0.1≤x≤1.2；0.1≤y≤1.2；0.1≤z≤1.2；0.01

【技术特征摘要】
1.一种制作靶材用多主元合金，其特征在于：该多主元合金的化学式为AlxCoCuMnyNiTiz，其中0.1≤x≤1.2；0.1≤y≤1.2；0.1≤z≤1.2；0.01<x/(x+y+z+3)<0.30；0.01<y/(x+y+z+3)<0.30；0.01<z/(x+y+z+3)<0.30。2.权利要求1所述的制作靶材用多主元合金的制备方法，其特征在于步骤如下：（1）按AlxCoCuMnyNiTiz化学计量比称取各种纯金属粉末置于球磨罐中，加入不锈钢球，然后在保护气氛环境下将放有纯金属粉末的球磨罐密封起来；（2）将上述密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料；（3）将上述均匀混料后的粉末在保护气氛环境下装入石墨模具，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志新，马明星，梁存，周家臣，赵量，
申请(专利权)人：中原工学院，
类型：发明
国别省市：河南,41