一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备制造技术

一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，包括一个用于制备高纯二氧化碳的CO2提纯装置，还包括用于检测总烃的第一色谱分析仪和用于检测甲烷烃的第二色谱分析仪，CO2提纯装置输出端与第一色谱分析仪输入端连接以用于检测该CO2提纯装置输出的高纯二氧化碳中的总烃含量；CO2提纯装置输出端与第二色谱分析仪输入端连接，以用于检测该CO2提纯装置输出的高纯二氧化碳中的甲烷烃含量。本实用新型专利技术能有效的对高纯二氧化碳中的总烃和甲烷烃进行在线分析，并保存数据和图谱，便于查询；能对高纯二氧化碳中的总烃和甲烷烃进行有效的检测，保证产品的质量；电子级高纯二氧化碳可用于验证工艺净化的有效性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备
本技术涉及电子级高纯二氧化碳中烃的检测分析方法，尤其是指一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备。
技术介绍
本公司是以食品级二氧化碳为原料经纯化后得到电子级高纯度二氧化碳。电子级高纯二氧化碳可用于：在半导体制造中氧化、扩散、化学气相淀积、超临界清洗气体；某些反应的惰性介质；石墨反应器的热载体；输送易燃液体的压入气体、标准气、校正气、在线仪表标准气、特种混合气；检测分析用标准气体、医疗设备用气体。为了保证产品的质量，需在具有杂质去除效果的工艺过程中设立关键质量控制点，取样分析产品中的杂质含量是否降低到规定检测值以下，以此验证工艺净化的有效性。如在干燥后监测产品中的水含量，在脱轻组分后监测产品中的氢气、氧气、氮气、一氧化碳、总硫、总烃等含量，以确保最终的产品气体满足电子级高纯二氧化碳的要求，实现更高的生产效率。现有技术中存在高纯二氧化碳中的总烃和甲烷烃的检测存在效率低、有效性低的问题。中国专利文献公开了一种高纯二氧化碳分析专用气相色谱仪（授权公告号CN202770815U），其公开了一种高纯二氧化碳分析专用气相色谱仪，其进样系统包括十通控制阀、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，包括一个用于制备高纯二氧化碳的CO2提纯装置，其特征在于：还包括用于检测总烃的第一色谱分析仪和用于检测甲烷烃的第二色谱分析仪，所述CO2提纯装置输出端与所述第一色谱分析仪输入端连接以用于检测该CO2提纯装置输出的高纯二氧化碳中的总烃含量；所述CO2提纯装置输出端与所述第二色谱分析仪输入端连接以用于检测该CO2提纯装置输出的高纯二氧化碳中的甲烷烃含量。

【技术特征摘要】
1.一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，包括一个用于制备高纯二氧化碳的CO2提纯装置，其特征在于：还包括用于检测总烃的第一色谱分析仪和用于检测甲烷烃的第二色谱分析仪，所述CO2提纯装置输出端与所述第一色谱分析仪输入端连接以用于检测该CO2提纯装置输出的高纯二氧化碳中的总烃含量；所述CO2提纯装置输出端与所述第二色谱分析仪输入端连接以用于检测该CO2提纯装置输出的高纯二氧化碳中的甲烷烃含量。2.如权利要求1所述一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，其特征在于：所述第一色谱分析仪为9000THA总烃色谱分析仪。3.如权利要求2所述一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，其特征在于：所述9000THA总烃色谱分析仪包括第一FID检测器。4.如权利要求1所述一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，其特征在于：所述第二色谱分析仪为GC9560色谱分析仪。5.如权利要求4所述一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，其特征在于：所述GC9560色谱分析仪包括第二FID检测器。6.如权利要求1所述一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，其特征在于：所述CO2提纯装置包括CO2纯化机构、食品CO2储...

【专利技术属性】
技术研发人员：李善俊，石洪强，
申请(专利权)人：智胜化工股份有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35