一种能够对电子级高纯二氧化碳中的硫进行检测的设备制造技术

一种能够对电子级高纯二氧化碳中的硫进行检测的设备，包括按序依次相连接的压缩机，其用于对CO2进行压缩；精脱硫器，其用于去除CO2中的含硫物质；脱烃塔，其用于除去CO2中的碳氢化合物；干燥器，其用于干燥CO2；蒸馏吸收器，其用于将CO2中的其它组分蒸馏排出；冷凝机构，其用于液化CO2；储罐，其用于储存液体CO2；电加热减压阀，其用于气化CO2；总硫分析仪，其用于检测CO2中的总硫量。通过设置总硫分析仪，能有效的对高纯二氧化碳中的总硫杂质进行在线分析，并保存数据和图谱，便于查询，对高纯二氧化碳中的总硫杂质进行有效的检测，保证产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种能够对电子级高纯二氧化碳中的硫进行检测的设备
本技术涉及高纯二氧化碳的检测设备，尤其是指一种能够对电子级高纯二氧化碳中的硫进行检测的设备。
技术介绍
电子级高纯二氧化碳主要用于激光、电子工业、反应堆气体冷却剂、科学研究等领域。为了保证产品的质量，需在具有杂质去除效果的工艺过程点设立关键质量控制点，取样分析产品中杂质的含量是否降低到规定检测值以下，以此验证工艺净化的有效性。如在干燥后监测产品中的水含量，在脱轻组分后监测产品中的氢气、氧气、氮气、一氧化碳、总硫、总烃等含量，以确保最终的产品气体满足电子级高纯二氧化碳的要求，实现更高的生产效率。对于99.999%高纯二氧化碳杂质中的总硫<0.1×10-6，一般的热导分析仪很难实现检测。中国专利文献公开了一种高纯二氧化碳分析专用气相色谱仪（授权公告号CN202770815U），其公开了一种高纯二氧化碳分析专用气相色谱仪，其进样系统包括十通控制阀、两组定量管，第一组定量管通过十通控制阀与预分离柱连接，预分离柱通过另一四通控制阀与分子筛柱连接，分子筛柱与高灵敏度热导检测器连接，高灵敏度热导检测器通过Ni转化炉与火焰离子化检测器连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能够对电子级高纯二氧化碳中的硫进行检测的设备，其特征在于：包括按序依次相连接的压缩机，其用于对CO2进行压缩；精脱硫器，其用于去除CO2中的含硫物质；脱烃塔，其用于除去CO2中的碳氢化合物；干燥器，其用于干燥CO2；蒸馏吸收器，其用于将CO2中的其它组分蒸馏排出；冷凝机构，其用于液化CO2；储罐，其用于储存液体CO2；电加热减压阀，其用于气化CO2；总硫分析仪，其用于检测CO2中的总硫量。

【技术特征摘要】
1.一种能够对电子级高纯二氧化碳中的硫进行检测的设备，其特征在于：包括按序依次相连接的压缩机，其用于对CO2进行压缩；精脱硫器，其用于去除CO2中的含硫物质；脱烃塔，其用于除去CO2中的碳氢化合物；干燥器，其用于干燥CO2；蒸馏吸收器，其用于将CO2中的其它组分蒸馏排出；冷凝机构，其用于液化CO2；储罐，其用于储存液体CO2；电加热减压阀，其用于气化CO2；总硫分析仪，其用于检测CO2中的总硫量。2.如权利要求1所述一种能够对电子级高纯二氧化碳中的硫进行检测的设备，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李善俊，石洪强，
申请(专利权)人：智胜化工股份有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35