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一种能够对电子级高纯二氧化碳中的硫进行检测的设备制造技术
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下载一种能够对电子级高纯二氧化碳中的硫进行检测的设备的技术资料
文档序号:20363529
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一种能够对电子级高纯二氧化碳中的硫进行检测的设备,包括按序依次相连接的压缩机,其用于对CO2进行压缩;精脱硫器,其用于去除CO2中的含硫物质;脱烃塔,其用于除去CO2中的碳氢化合物;干燥器,其用于干燥CO2;蒸馏吸收器,其用于将CO2中的其...
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