一种基于有机场效应管的光敏传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于有机场效应晶体管的光敏传感器及其制备方法，该制备方法，包括：对衬底进行清洗和干燥处理；采用金属纳米线，在清洗和干燥处理后的所述衬底的表面制备栅电极；将有机介电材料按比例进行超声配比，然后用配比后的溶液，在所述栅电极上面制备介电层；将有机半导体材料与叶绿素按比例进行超声混合，然后用混合后的溶液，在介电层上制备半导体层；采用金属纳米线，在所述半导体层上制备源电极和漏电极；采用虫胶，在所述源电极和漏电极上面制备封装层。本发明专利技术通过采用有机半导体材料与叶绿素的混合材料制备光敏传感器的半导体层，使得制备的光敏传感器相比传统的光敏传感器，具有高响应度和高稳定性的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于有机场效应管的光敏传感器及其制备方法
本专利技术属于传感器
，特别涉及一种基于有机场效应管的光敏传感器及其制备方法。
技术介绍
传感器的应用领域十分宽广，可以说从太空到海洋，从各种复杂的工程系统到人们日常生活的衣食住行，都离不开各种各样的传感器，传感技术对国民经济的发展日益起着巨大的作用。而有机场效应晶体管光敏传感器相比于传统光敏电阻式器件，由于具有响应度高、室温工作、易于集成以及独立的多参数来提高选择性等优点，加上有机材料本身所具备的由于质轻、价廉、具有柔性、制备方法简单、种类多、性能可通过分子设计进行调整等优势，在光敏传感器领域一直倍受人们关注。然而，随着材料和制作工艺成本的增长，加上人们对环保电子材料的渴望，促使人们研发低成本、制备方法简单、种类多、环境友好的有机电子材料。以场效应管为基础构成的光敏传感器成为传感器领域的一个研究热点，将其应用于紫外光强和红外光强检测已有广泛报道。而生物材料本身所具备的来源广泛、环境友好、具有柔性、制备方法简单、种类多、性能可通过分子设计进行调整等优势，在光敏传感器领域一直倍受人们关注。叶绿素为镁卟啉化合物，属于含脂的色素家族，是植本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于有机场效应晶体管的光敏传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对衬底(1)进行清洗和干燥处理；S2、采用金属纳米线，在清洗和干燥处理后的所述衬底(1)的表面制备栅电极(2)；S3、将有机介电材料按比例进行超声配比，然后用配比后的溶液，在所述栅电极(2)上面制备介电层(3)；S4、将有机半导体材料与叶绿素按比例进行超声混合，然后用混合后的溶液，在所述介电层(3)上制备半导体层(4)；S5、采用金属纳米线，在所述半导体层(4)上制备源电极(5)和漏电极(6)；S6、在所述源电极(5)和漏电极(6)上面制备封装层(7)。

【技术特征摘要】
1.一种基于有机场效应晶体管的光敏传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对衬底(1)进行清洗和干燥处理；S2、采用金属纳米线，在清洗和干燥处理后的所述衬底(1)的表面制备栅电极(2)；S3、将有机介电材料按比例进行超声配比，然后用配比后的溶液，在所述栅电极(2)上面制备介电层(3)；S4、将有机半导体材料与叶绿素按比例进行超声混合，然后用混合后的溶液，在所述介电层(3)上制备半导体层(4)；S5、采用金属纳米线，在所述半导体层(4)上制备源电极(5)和漏电极(6)；S6、在所述源电极(5)和漏电极(6)上面制备封装层(7)。2.如权利要求1所述的基于有机场效应晶体管的光敏传感器的制备方法，其特征在于，步骤S3中的所述介电层(3)和步骤S4中的所述有机半导体层(4)，均通过旋涂、辊涂、滴膜、压印、印刷或喷涂中的一种方法制备。3.如权利要求1所述的基于有机场效应晶体管的光敏传感器的制备方法，其特征在于，步骤S2中的栅电极(2)，以及步骤S5中的源电极(5)和漏电极(6)，均通过真空热蒸镀、磁控溅射、等离子体增强的化学气相沉积、丝网印刷、打印或旋涂中的一种方法制备。4.如权利要求1所述的基于有机场效应晶体管的光敏传感器的制备方法，其特征在于，步骤S2和S5中，所述金属纳米线为铜纳米线、银纳米线、金纳米线、铝纳米线、镍纳米线和铟纳米线中的一种。5.如权利要求1所述的基于有机场效应晶体管的光敏传感器的制备方法，其特征在于，步骤S3中，所述有机介电材料为聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚...

【专利技术属性】
技术研发人员：于军胜，邵炳尧，庄昕明，侯思辉，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51