一种旋转靶靶材保养维护的靶材架制造技术

本实用新型专利技术公开一种旋转靶靶材保养维护的靶材架，包括两个平行设置的支架单元，每个支架单元均包含两根竖直的支撑柱，两根支撑柱底部分别设有支撑座，两根支撑柱顶部之间架设有支撑横梁，支撑横梁与两根支撑柱构成“冂”字形，支撑横梁顶部设有靶材承托座，靶材承托座顶部设有承托凹槽；两个支架单元的承托凹槽相互对应，对旋转靶靶材构成承托配合；本靶材架专门用于旋转靶靶材的承载，结构稳定，便于对旋转靶靶材的保养维护，且拆装方便，适合运输至不同的地方使用；另外，套管的设置利于放置维护工具，不至于乱丢乱放，维护有序；还可以根据旋转靶靶材的材质来更换与之相适应的靶材承托座，适用性强。

A Target Frame for Maintenance and Maintenance of Rotary Target

The utility model discloses a target frame for maintenance of rotating target material, which comprises two parallel support units. Each support unit comprises two vertical support pillars, two support pillars are separately provided with support supports at the bottom, two support pillars are provided with support beams at the top, and the support beams and two support pillars are formed into a zigzag shape, and the support beams are provided with target support at the top. The support groove is arranged on the top of the support base of the target material; the support grooves of the two support units correspond to each other, and constitute the support cooperation for the rotating target material; the target frame is specially used for the bearing of the rotating target material, with stable structure, convenient maintenance and maintenance of the rotating target material, and convenient disassembly and assembly, and suitable for transportation to different places; moreover, the setting of the sleeve is beneficial to the placing and maintenance workers. It can not be thrown in disorder and maintained in an orderly manner. It can also replace the suitable bearing base of the target according to the material of the rotating target, which has strong applicability.

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶靶材保养维护的靶材架
本技术涉及磁控溅射设备
，具体是一种旋转靶靶材保养维护的靶材架。
技术介绍
旋转靶，也称磁控溅射旋转圆柱阴极靶，已经被广泛的应用于工业化制备大面积功能薄膜的生产中。旋转靶是以磁控溅射技术为基础，它的出现恰恰满足了工业化制备大面积高质量功能薄膜的要求。旋转靶不但继承了磁控溅射技术在较低工作压强下得到较高的沉积速率、在较低的基片温度下获得较均匀的附着力较高的薄膜的优势，而且比传统的平面靶有着突出的优势。旋转靶在不使用时需要保养维护，目前，从磁控溅射设备上拆卸旋转靶之后，只是随便找个支架临时放置，没有专门相配套的放置装置，这不仅存在旋转靶可能落地伤人的安全隐患，还容易造成靶材损伤。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种旋转靶靶材保养维护的靶材架，该靶材架能够可靠地承载旋转靶，提高安全性与稳定性。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种旋转靶靶材保养维护的靶材架，包括两个平行设置的支架单元，每个支架单元均包含两根竖直的支撑柱，两根支撑柱底部分别设有支撑座，两根支撑柱顶部之间架设有支撑横梁，支撑横梁与两根支撑柱构成“冂”字形，支撑横梁顶部设有靶材承托座，靶材承托座顶部设有承托凹槽；两个支架单元的承托凹槽相互对应，对旋转靶靶材构成承托配合。进一步的，靶材承托座的承托凹槽包含相邻设置的两个，两个支架单元的承托凹槽分别相互对应。进一步的，所述承托凹槽呈半圆形。进一步的，所述支撑柱的侧壁设有套管，套管用于放置维护工具。进一步的，所述支撑座、支撑柱、支撑横梁与靶材承托座相互之间为可分离式结构。本技术的有益效果是，本靶材架专门用于旋转靶靶材的承载，结构稳定，便于对旋转靶靶材的保养维护，且拆装方便，适合运输至不同的地方使用；另外，套管的设置利于放置维护工具，不至于乱丢乱放，维护有序；还可以根据旋转靶靶材的材质来更换与之相适应的靶材承托座，适用性强。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明：图1是本技术的结构示意图；图2是本技术支架单元的放大示意图；图3是本技术加强筋板的放大示意图；图4是本技术支撑横梁的放大示意图；图5是本技术靶材承托座的仰视立体图。具体实施方式结合图1～3所示，本技术提供一种旋转靶靶材保养维护的靶材架，包括两个平行设置的支架单元1，每个支架单元1均包含两根竖直的支撑柱2，两根支撑柱2底部分别设有支撑座3，支撑座3与支撑柱2可通过呈直角三角形的加强筋板4进行连接，支撑座3与支撑柱2分别通过固定螺栓5与加强筋板4的两个直角边相连；两根支撑柱2顶部之间架设有支撑横梁11，支撑横梁11与两根支撑柱构成“冂”字形，支撑横梁11与两根支撑柱2之间也可通过加强筋板进行固定连接；支撑横梁11顶部沿支撑横梁的轴向有靶材承托座6，结合图4与图5所示，在具体安装时，可沿支撑横梁11设置一组第一安装螺孔11a，靶材承托座6底部设有一组第二安装螺孔6a，第一安装螺孔11a与第二安装螺孔6a一一对应，通过穿入第一安装螺孔11a与第二安装螺孔6a的安装螺栓7实现螺纹固定安装。靶材承托座6顶部设有承托凹槽8，作为优选的，承托凹槽8包含相邻设置的两个，两个支架单元的承托凹槽分别相互对应，承托凹槽8呈半圆形。支撑柱2的侧壁设有套管9，套管9用于放置维护工具，例如可以向套管9内插入扳手、螺丝刀、内六角等等。使用时，将旋转靶靶材10放置于两个支架单元相对应的承托凹槽上，对旋转靶靶材10构成承托配合。在其中一对承托凹槽支撑旋转靶靶材10时,另外一对承托凹槽可以用来支撑从旋转靶靶材10内部取出的磁体10a。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和
技术实现思路
对本技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本技术技术方案保护的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转靶靶材保养维护的靶材架，其特征在于，包括两个平行设置的支架单元，每个支架单元均包含两根竖直的支撑柱，两根支撑柱底部分别设有支撑座，两根支撑柱顶部之间架设有支撑横梁，支撑横梁与两根支撑柱构成“冂”字形，支撑横梁顶部设有靶材承托座，靶材承托座顶部设有承托凹槽；两个支架单元的承托凹槽相互对应，对旋转靶靶材构成承托配合。

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶靶材保养维护的靶材架，其特征在于，包括两个平行设置的支架单元，每个支架单元均包含两根竖直的支撑柱，两根支撑柱底部分别设有支撑座，两根支撑柱顶部之间架设有支撑横梁，支撑横梁与两根支撑柱构成“冂”字形，支撑横梁顶部设有靶材承托座，靶材承托座顶部设有承托凹槽；两个支架单元的承托凹槽相互对应，对旋转靶靶材构成承托配合。2.根据权利要求1所述的一种旋转靶靶材保养维护的靶材架，其特征在于，靶材承托座的承托...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈开通，刘林，崔杨杨，陶司权，
申请(专利权)人：凯盛光伏材料有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34