粉尘抽吸装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够有效地抽吸去除在基板表面附着的粉尘等微小异物而获得高品质的产品的粉尘抽吸装置。所述粉尘抽吸装置具有：空气抽吸口(9b)，其以与加工的基板(W)对置的方式配置，并抽吸基板(W)表面的粉尘；空气喷射口(9c)，其防止基板(W)表面与空气抽吸口(9b)紧贴，所述粉尘抽吸装置采用以能够沿基板(W)的表面相对地移动的方式形成的结构，防止基板(W)紧贴于空气抽吸口(9b)并可靠地保持基板(W)与空气抽吸口(9b)之间的间隙。

Dust suction device

The invention provides a dust suction device capable of effectively sucking and removing small foreign bodies such as dust adhering to the surface of the substrate and obtaining high quality products. The dust suction device has: an air suction port (9b), which is arranged opposite to the processed substrate (W) and sucks dust from the surface of the substrate (W); an air jet port (9c), which prevents the surface of the substrate (W) from being close to the air suction port (9b). The dust suction device adopts a structure formed by relative movement along the surface of the substrate (W) to prevent the substrate (W) from being close to the air. The air suction port (9b) can reliably maintain the gap between the substrate (W) and the air suction port (9b).

【技术实现步骤摘要】
粉尘抽吸装置
本专利技术涉及一种在基板加工装置设置并使用的粉尘抽吸装置，所述基板加工装置用于在玻璃等脆性材料基板加工刻划线(切割槽)或者沿刻划线对基板进行分割。本专利技术特别涉及一种在柔性OLED(OrganicLightEmittingDiode：有机发光二级管)显示器的制造过程中，对在玻璃基板的上表面层叠有作为柔性基材的树脂膜(聚亚酰胺膜(也称PI膜))的母基板加工刻划线、实施分割的基板加工装置所使用的、抽吸去除在刻划线的加工时、分割时产生的粉尘的粉尘抽吸装置。
技术介绍
在对玻璃基板等脆性材料基板进行分割的加工中，一直以来，在通过将刀轮按压至基板表面而形成刻划线之后，从与刻划线形成面相反侧的面沿刻划线施加外力使基板弯曲，从而分割出每个单位基板(参照专利文献1)。近年来，因为追求显示器的高精度化，需要进一步改善基板的表面品质、端面强度。此外，从扩展显示器的用途的观点出发，也存在采用柔性显示器的需求，因而制造使用了柔性基板的OLED。在这种OLED显示器中，在制造过程中在玻璃基板上形成树脂膜(PI膜)，在其上形成具有电极层、有机EL层的有机膜。由于电极层、有机EL层等的膜厚度薄，并且组成非常地纤细，所以即使极度微小的异物附着在树脂膜表面也会成为产生缺陷的原因，影响并降低成品率。为了获得高品质且生产性高的OLED显示器制造技术，必须在有机膜形成之前避免形成了树脂膜(PI膜)的玻璃板产生伤痕、附着粉尘等微小异物。即，玻璃板的伤痕成为强度劣化的原因，并且附着的异物被输送至有机膜形成工序中而成为使作业环境劣化的原因。并且，当伤痕、微小异物附着在玻璃板背面时，在进行有机膜形成后的产品的玻璃基板与树脂膜的分离的剥离(Lift-Off)工序中难以避免会成为剥离不良的原因，所以不仅在玻璃基板的表面侧(有机膜形成侧)，在背面侧也必须要极力避免伤痕的产生、粉尘的附着。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5210356号公报。专利技术要解决的课题在通常的基板加工装置中，由于在刻划线加工时、分割时产生的细微的切削粉等粉尘以附着在基板的表背两面的状态被输送至接下来的工序中，所以成为产品的品质劣化的主要原因。此外，在使要加工的基板移动到刻划位置时将其载置于传送带、载置台的上表面来输送，因此基板的背面与传送带、载置台持续接触。此外，由于在刻划时夹着刻划线的基板左右两侧的背面也被传送带、载置台保持，因此基板背面依然是接触的。在这种情况下，接触时间越长、此外在接触状态下的移动距离越长，在基板背面产生小的伤痕的概率越增大，并且在传送带、载置台上的粉尘等的微小异物附着的概率越增大，影响并降低成品率，给制造高精度且品质优异的产品带来障碍。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于解决上述的课题，提供一种能够有效地抽吸去除在基板附着的粉尘等的微小异物而获得高品质的产品的粉尘抽吸装置。用于解决课题的方案为了解决上述问题，本专利技术采用了如下技术方案。即，本专利技术的粉尘抽吸装置的结构为，具有：空气抽吸口，其以与加工的基板对置的方式配置，抽吸基板表面的粉尘；空气喷射口，其防止所述基板表面与所述空气抽吸口紧贴，所述粉尘抽吸装置形成为能够沿所述基板的表面相对地移动。专利技术效果由于本专利技术以上述方式构成，所以在使粉尘抽吸装置沿要分割的基板的表面移动并用空气抽吸口抽吸去除附着在基板表面的粉尘等微小异物时，通过从设置在空气抽吸口的周围的空气喷射口喷射的空气，能够防止基板紧贴于空气抽吸口，从而可靠地保持基板和空气抽吸口之间的间隙。由此，本专利技术具有如下效果，即能够有效地抽吸去除附着在基板表面的粉尘，能够获得高精度且品质优异的产品。在本专利技术中，优选所述粉尘抽吸装置形成为被安装在具有对基板加工刻划线的刻划机构的基板加工装置，所述粉尘抽吸装置沿通过所述刻划机构加工的刻划线移动。由此，能够抽吸去除刻划线加工时产生的粉尘而消除对基板的附着，获得高品质的产品。此外，所述粉尘抽吸装置也可以采用以下结构，其形成为被安装在具有切断机构的基板加工装置，所述切断机构沿在基板形成的刻划线对基板进行分割，所述粉尘抽吸装置沿通过所述切断机构分割的基板的分割线移动。由此，能够抽吸去除分割时产生的粉尘、之前进行的刻划线加工时产生的附着于基板的粉尘而获得高品质的产品。此外，所述粉尘抽吸装置也能够采用以下结构，其被安装在具有刻划机构和切断机构的基板加工装置，所述刻划机构对基板加工刻划线，所述切断机构沿该刻划线对基板进行分割，所述粉尘抽吸装置沿通过所述切断机构分割的分割线移动。由此，通过使粉尘抽吸装置沿基板的分割线移动，能够抽吸去除刻划线加工时、分割时产生的粉尘而获得高品质的产品。附图说明图1为包含本专利技术所涉及的粉尘抽吸装置的基板加工装置的概要侧视图。图2为图1中的基板加工装置的概要俯视图。图3为图1中的基板加工装置的刻划机构部以及/或者切断机构部的放大正视图。图4为与图3相同的放大侧视图。图5为表示本专利技术的加工对象基板的立体图。图6为表示本专利技术的粉尘抽吸装置的剖视图以及仰视图。图7为表示通过上游侧夹钳和下游侧夹钳对基板进行夹持的状态的立体图。图8为表示刻划机构部以及/或者切断机构部的刻划线加工时的剖视图。图9为表示刻划机构部以及/或者切断机构部的切断动作时的剖视图。图10为表示粉尘抽吸装置的动作时的剖视图。图11为表示基板加工装置的动作的第一步骤的俯视图。图12为表示基板加工装置的动作的第二步骤的俯视图。图13为表示基板加工装置的动作的第三步骤的俯视图。图14为表示基板加工装置的动作的第四步骤的俯视图。图15为表示基板加工装置的动作的第五步骤的俯视图。图16为表示基板加工装置的动作的第六步骤的俯视图。图17为表示基板加工装置的动作的第七步骤的俯视图。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术所涉及的粉尘抽吸装置一个实施例进行详细说明。图1为表示包含本专利技术所涉及的粉尘抽吸装置的基板加工装置A的整体概要侧视图，图2为其俯视图。基板加工装置A具有上游输送部B、刻划机构部以及/或者切断机构部C、下游输送部D，所述上游输送部B将要加工的基板W以水平姿态从上游朝向下游直线输送，所述刻划机构部以及/或者切断机构部C在与输送方向正交的方向上在输送来的基板W的背面加工刻划线，并且沿该刻划线对基板W进行分割，所述下游输送部D将分割的基板W朝向下游输送。此外，用于向基板加工装置A的上游输送部B供给要加工的基板W的基板供给部E配置在上游输送部B的上游侧。另外，以下，将基板W的输送方向设为X方向，将与其正交的方向设为Y方向。由该基板加工装置A加工的基板W在OLED显示器的制造过程中被用作母基板，如图5所示，在玻璃板W2的上表面形成有成为柔性基材的用于有机膜的生成的薄树脂膜W1。另外，沿预定刻划线L带状地形成未设置树脂膜W1的区域。树脂膜W1使用了聚亚酰胺膜(PI膜)。基板加工装置A的上游输送部B具有通过喷射气压使基板W以水平姿态浮起的悬浮载置台1、对浮起的基板W的上游侧端缘部进行夹持并向下游侧输送该基板W的夹钳2。夹钳2被在Y方向延伸的横梁部件2a支承，横梁部件2a以能够相对于沿基板W的输送方向(X方向)平行配置的左右的导轨2b、2b移动的方式安装。在本实施例中，作为为了使基板W浮起而从悬浮载置台1喷射空气使基板浮起的浮起机构(气垫单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种粉尘抽吸装置，具有：空气抽吸口，其以与加工的基板对置的方式配置，并抽吸基板表面的粉尘；空气喷射口，其防止所述基板表面与所述空气抽吸口紧贴，所述粉尘抽吸装置形成为能够沿所述基板的表面相对地移动。

【技术特征摘要】
2017.07.31 JP 2017-1480051.一种粉尘抽吸装置，具有：空气抽吸口，其以与加工的基板对置的方式配置，并抽吸基板表面的粉尘；空气喷射口，其防止所述基板表面与所述空气抽吸口紧贴，所述粉尘抽吸装置形成为能够沿所述基板的表面相对地移动。2.根据权利要求1所述的粉尘抽吸装置，其中，所述粉尘抽吸装置被安装在具有刻划机构的基板加工装置，所述刻划机构对基板加工刻划线，所述粉尘抽吸装置形成为沿通过所述刻划...

【专利技术属性】
技术研发人员：上野勉，高松生芳，西尾仁孝，
申请(专利权)人：三星钻石工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP