Problem: In order to release gas directly from the discharge electrode and make its structure simple. Scheme: The discharge electrode E in the electrode chamber C is formed by a pair of electrode components 8 and 9 whose length is equal to or greater than the width of the film F. In addition, a pair of electrode members 8 and 9 are arranged face to face with each other so as to clamp the supporting member 4 between them, the supporting member has almost the same length as the electrode member, a gap is formed in the part facing each other of a pair of electrode members 8 and 9, and the gap is opened at the top of the discharge electrode for use as a gas channel 15. At the same time, in the support member 4, a plurality of gas guide holes 5 are formed vertically, and the gas guide holes are connected with the gas supply system.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面改性设备
本专利技术涉及一种表面改性装置,其使放电能量作用在处理基材(例如薄膜等)的表面上,以改性基材表面。
技术介绍
这种类型的表面改性装置包括安装在电极室内的放电电极和面向放电电极放置的处理辊。并且,根据预期的表面改性,向电极室供给替换气体。然后,当电极室保持在替换气体的气氛中时,高频电压施加到放电电极上,以在放电电极和处理辊之间产生电晕放电。上述通过电晕放电的放电能量用于改性沿着处理辊转移的薄膜等的表面。并且,在上述电晕放电过程中产生的等离子体的数量和质量根据电极室中的替换气体的种类和/或浓度而变化。如果等离子体的数量和/或质量变化,则这对薄膜等的表面改性具有不利影响。因此,替换气体的种类和浓度的管理是重要的,但这是微不足道的,因为只要确保适当的选择,可预先确定替换气体的种类。然而,即使在表面改性过程中,气体浓度也容易受到流入电极室的空气的影响,等等。如上所述,气体浓度的变化将改变等离子体的数量和/或质量,使得不可能实现预期的表面改性。此外,电极室必须具有与通过处理辊转移的薄膜的尺寸相应的尺寸。因为,例如,一些薄膜的宽度达到10米,根据该薄膜的宽度,电极室的体积将非常大。为了在如此大体积的电极室内保持恒定的气体浓度,需要增加替换气体的供给量。这将导致生产效率的降低。为了解决这个问题,专利文献1和2公开了一种用于将替换气体直接供给到局部区域的方法,该局部区域是放电电极和处理辊之间的放电区域。例如,专利文献1中公开的装置配置成直接从放电电极供给替换气体。以这种方式,可以将替换气体直接供给到局部区域,该局部区域是放电电极和处理辊之间的放电区域。因此,替 ...
【技术保护点】
1.一种表面改性装置,包括放电电极,所述放电电极放置在电极室中并且长度等于或大于诸如薄膜等的处理基材的宽度,还包括转移所述处理基材的处理辊,所述放电电极面对所述处理基材,在所述放电电极和所述处理辊之间产生放电,其中所述放电电极包括一对电极构件,每个所述电极构件的长度大致与所述处理基材的宽度相匹配,所述一对电极构件隔着放在所述电极构件之间的支撑构件彼此面对,所述支撑构件的长度近似等于所述电极构件的长度,在所述电极构件之间的面对面区域中形成裂缝,以用作气体通道,所述气体通道具有通向所述放电电极和所述处理辊之间的面对面区域的远端,以及所述支撑构件在支撑构件的纵向方向上具有在其中形成的多个气体引导孔,所述多个气体引导孔与替换气体供给系统连通,以及所述气体引导孔与所述气体通道连通。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.31 JP 2016-1091151.一种表面改性装置,包括放电电极,所述放电电极放置在电极室中并且长度等于或大于诸如薄膜等的处理基材的宽度,还包括转移所述处理基材的处理辊,所述放电电极面对所述处理基材,在所述放电电极和所述处理辊之间产生放电,其中所述放电电极包括一对电极构件,每个所述电极构件的长度大致与所述处理基材的宽度相匹配,所述一对电极构件隔着放在所述电极构件之间的支撑构件彼此面对,所述支撑构件的长度近似等于所述电极构件的长度,在所述电极构件之间的面对面区域中形成裂缝,以用作气体通道,所述气体通道具有通向所述放电电极和所述处理辊之间的面对面区域的远端,以及所述支撑构件在支撑构件的纵向方向上具有在其中...
【专利技术属性】
技术研发人员:小木曽智,森下贵生,稻村达也,吉田纯也,杉村智,
申请(专利权)人:春日电机株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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