一种硅片制绒槽式机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片制绒槽式机，包括槽体(1)，位于所述槽体底部的循环管路(2)和位于所述循环管路上方的底板，其特征在于，所述底板包括固定基座(3)和实心板(4)，所述固定基座固定在所述槽体的槽壁上，所述实心板与所述固定基座可拆卸连接，所述底板设有硅片承载区，所述底板的硅片承载区外设有多个通孔(5)，通孔分别位于所述实心板和所述固定基座上。本实用新型专利技术一种硅片制绒槽式机，结构新颖，设计巧妙，分体式的底板和多个通孔有效降低了循环系统产生的气泡对硅片制绒的影响，同时降低了的检修作业难度，提升了整机运行的稳定性，最终有效提高了硅片产品的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片制绒槽式机
本技术属于半导体器件制造
，具体涉及一种硅片制绒槽式机及其底板装置。
技术介绍
黑硅制绒是硅片经过表面抛光、镀银、挖孔、扩孔等工艺流程，在表面形成纳米绒面以降低多晶电池片的光反射率。其中，挖孔槽是关键反应槽，槽内化学药剂由一定比例的添加剂配置而成，硅片在槽内挖孔完成后，反应区域的药液浓度相对较低，设备会按一定比例添加化学品原液，此时需要通过槽式机的循环系统将药液搅拌均匀，避免因药液浓度不均匀导致的硅片品质异常。现有技术中，搅拌过程会产生大量气泡并附着在硅片制绒槽式机底板的表面，底板气泡上浮经过硅片表面时，影响了硅片表面银离子的附着与化学反应，导致硅片表面形成了明显的色差。
技术实现思路
技术目的：本技术所要解决的技术问题在于针对现有技术的不足，提供一种能够消除流经硅片表面的气泡，确保硅片表面银离子的正常附着与反应的新型硅片制绒机。技术方案：一种硅片制绒槽式机，包括槽体，位于所述槽体底部的循环管路和位于所述循环管路上方的底板，所述底板包括固定基座和实心板，所述固定基座固定在所述槽体的槽壁上，所述实心板与所述固定基座可拆卸连接，所述底板设有硅片承载区，所述底板的硅片承载本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片制绒槽式机，包括槽体(1)，位于所述槽体底部的循环管路(2)和位于所述循环管路上方的底板，其特征在于，所述底板包括固定基座(3)和实心板(4)，所述固定基座固定在所述槽体的槽壁上，所述实心板与所述固定基座可拆卸连接，所述底板设有硅片承载区，所述底板的硅片承载区外设有多个通孔(5)，通孔分别位于所述实心板和所述固定基座上。

【技术特征摘要】
1.一种硅片制绒槽式机，包括槽体(1)，位于所述槽体底部的循环管路(2)和位于所述循环管路上方的底板，其特征在于，所述底板包括固定基座(3)和实心板(4)，所述固定基座固定在所述槽体的槽壁上，所述实心板与所述固定基座可拆卸连接，所述底板设有硅片承载区，所述底板的硅片承载区外设有多个通孔(5)，通孔分别位于所述实心板和所述固定基座上。2.根据权利要求1所述的硅片制绒槽式机，其特征在于，所述固定基座(3)位于所述实心板(4)的两侧，所述固定基座上的通孔(5)数量大于所述实心板上的通孔数量。3.根据权利要求2所述的硅片制绒槽式机，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张喜，唐亮，强翔，
申请(专利权)人：扬州协鑫光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32