半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，包括用于产生X射线的X射线源，其可照射到待测试的半导体材料片上，使其产生非线性光学效应；用于引入一束探针光照射到所述半导体材料片的延时模块，并在该半导体材料片表面被反射，延时模块能够对该探针光的传输光程进行调节；用于对延时模块引入的探针光进行分光的分光片，用于接收经半导体材料片反射的探针光的光谱仪A，用于接收经分光片透射的探针光的光谱仪B，通过对光谱仪A光谱仪B最终所测的光谱进行差分对比分析即可完成测试。可以快速灵敏的完成半导体材料非线性光学效应的测试，且具有较高的测试效率和测试精度，为后续试验提供参数依据，便于操作实施。

【技术实现步骤摘要】
半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置
本技术涉及半导体材料性能测试
，具体涉及一种半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置。
技术介绍
在等离子体相关实验与实际应用场景中，X射线是重要的诊断工具和探测对象，而有的实验关键过程持续时间仅为几十到几百皮秒，因此对X射线进行高速探测有着重要意义。在实验过程中，传统诊断仪器和设备通常是使用电信号进行诊断，即射线辐射半导体，产生相应的电信号，通过电信号的变化得出X射线的变化进而获取相应的物态信息，诊断过程中容易受到电磁干扰，从而影响诊断结果的准确性，并且，由于以电信号为媒介，现有设备也难以实现对X射线的高速探测。现有技术中提出了一种新的探测方式，即利用X射线导致的半导体材料非线性光学效应，通过光信号对X射线进行超快探测，而且此效应响应速度非常快，可以进行不受电磁干扰的超快探测，但是采用这种探测方式时，需先对所用的半导体材料进行非线性光学效应测试才能知道探测效果的优劣。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，能够快速灵敏的完成半导体材料的非线性光学效应测试，提高测试效率和精度。为实现上述目的，本技术技术方案如本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，其特征在于，包括：X射线源(9)，其用于产生X射线，并照射到待测试的半导体材料片(4)上，使其产生非线性光学效应；延时模块(1)，其用于引入一束探针光照射到所述半导体材料片(4)上，并在该半导体材料片(4)表面被反射，所述延时模块(1)能够对该探针光的传输光程进行调节；分光片(3)，其用于对延时模块(1)引入的探针光进行分光；光谱仪A(5)，其用于接收经半导体材料片(4)反射的探针光；光谱仪B(8)，其用于接收经分光片(3)透射的探针光。

【技术特征摘要】
1.一种半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，其特征在于，包括：X射线源(9)，其用于产生X射线，并照射到待测试的半导体材料片(4)上，使其产生非线性光学效应；延时模块(1)，其用于引入一束探针光照射到所述半导体材料片(4)上，并在该半导体材料片(4)表面被反射，所述延时模块(1)能够对该探针光的传输光程进行调节；分光片(3)，其用于对延时模块(1)引入的探针光进行分光；光谱仪A(5)，其用于接收经半导体材料片(4)反射的探针光；光谱仪B(8)，其用于接收经分光片(3)透射的探针光。2.根据权利要求1所述的半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，其特征在于：所述X射线和探针光照射至所述半导体材料片(4)相对的两侧表面上，其中在X射线入射的一侧表面上镀有高反膜。3.根据权利要求1或2所述的半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，其特征在于：所述延时模块(1)包括底座(10)，该底座(10)...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱九匡，易涛，陈绍荣，张军，江少恩，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：四川,51