一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置制造方法及图纸

该发明专利技术一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，涉及电子技术领域，具体涉及一种测量扫描电镜电子束电流的测量装置。该装置包括：一个带有栅网的法拉第杯、贯穿有两个电极的扫描电子显微镜的样品室隔板、高灵敏度的电流表，各部分之间采用镀有陶瓷的导线连接；首先连接好电路后，将样品室隔板安装于样品室上，保证样品室密闭性；扫描电子显微镜发射的电子束入射到法拉第杯内，法拉第杯吸收电子，电流通过镀有陶瓷的导线经过样品室隔板的电极流到高敏度的电流表，通过电流表测出电流的大小，从而实现发明专利技术目的。具有作简单、方便，能够用于精确测量扫描电子显微镜电子束电流的效果。

A Device for Measuring Electron Beam Current of Scanning Electron Microscope

The invention relates to a device for measuring the electron beam current of a scanning electron microscope, which relates to the field of electronic technology, in particular to a measuring device for measuring the electron beam current of a scanning electron microscope. The device includes: a Faraday cup with grid, a sample chamber partition of scanning electron microscopy with two electrodes, a high sensitivity ammeter, and Ceramic-plated wires are used to connect each part; after connecting the circuit, the sample chamber partition is installed on the sample chamber to ensure the closure of the sample chamber; the electron beam emitted by scanning electron microscopy is incident on the Faraday chamber; and the sample chamber partition is installed on the sample chamber to ensure the confinement of the sample chamber. In the first cup, the Faraday cup absorbs electrons, and the current flows through the Ceramic-plated conductor through the electrode of the sample chamber partition to the high-sensitivity ammeter. The current is measured by the ammeter, thus realizing the purpose of the invention. It is simple and convenient, and can be used to measure the electron beam current of scanning electron microscopy accurately.

【技术实现步骤摘要】
一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置
本专利技术涉及电子
，具体涉及一种测量扫描电镜电子束电流的测量装置。
技术介绍
在高分辨率扫描电子显微镜的相关应用中，扫描电子显微镜电子束的参数指标对于表征扫描电子显微镜的工作性能具有重要意义，特别是电子束的电流大小和束斑尺寸。电子束的电流值将影响电子束的亮度，电子束的束斑尺寸将决定扫描电镜的成像分辨率。因此准确测量电子束电流值是十分有必要的。测量电子束电流可以使用内外壁绝缘的法拉第杯作为收集电子注的装置，再用一个数字万用表连接法拉第杯，就可以测得电子束的电流。而要测量扫描电镜的电子束电流就比较困难，这里需要解决几个问题，其一，需要制作一个用于扫描电子显微镜电子束的收集装置，即法拉第杯；其二，由于扫描电镜成像分辨率较高，电子束的电流很小，因此需要一个灵敏度极高的数字万用表作为测量电流的工具；其三，由于扫描电镜是工作在真空环境下的，因此法拉第杯与数字万用表的连线问题也是一个难点。目前用于收集电子束的法拉第杯结构简单，但大多都没有考虑到电子束打在法拉第杯底产生的二次电子发射等问题，这将会造成一定的测量误差。扫描电镜的成像原理主要是利用电子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，该装置包括：设置于扫描电子显微镜样品室内的法拉第杯，贯穿有两个电极的扫描电子显微镜样品室隔板，高灵敏度电流表，法拉第杯与样品室隔板上的电极通过镀有陶瓷的导线连接，样品室隔板上的电极与电流表通过镀有陶瓷的导线连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，该装置包括：设置于扫描电子显微镜样品室内的法拉第杯，贯穿有两个电极的扫描电子显微镜样品室隔板，高灵敏度电流表，法拉第杯与样品室隔板上的电极通过镀有陶瓷的导线连接，样品室隔板上的电极与电流表通过镀有陶瓷的导线连接。2.如权利要求1所述的一种用于测量扫描电子显微镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘梅，
申请(专利权)人：刘梅，
类型：发明
国别省市：江苏,32