The invention discloses a method for characterizing matrix temperature rise in vacuum coating process, which includes the following steps: using quenched steel as matrix, establishing a reference system for tempering transformation of quenched steel at different temperatures, using quenched steel as matrix, after vacuum coating, measuring the changes of structure and properties along the depth under the interface between film layer and matrix, and adopting equivalent comparison method, obtaining vacuum. Temperature rise of substrate during coating. There are two kinds of quenched steel as matrix, 40CrNiMo with high tempering temperature and GCr15 with low tempering temperature. By establishing the reference systems of tempering transformation of the two kinds of matrix, the coating process design of steel matrix with different requirements to maintain good bearing capacity of the matrix can be realized. Compared with the traditional temperature measurement method, the feasibility and accuracy are greatly improved.
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜过程中基体温升的表征方法
本专利技术属于真空镀、磁控溅射
，涉及到一种真空镀膜过程中基体温升的表征方法。
技术介绍
离子镀技术作为表面改性的方法之一，包括多弧离子镀、磁控溅射离子镀、空心阴极离子镀和热阴极离子镀等多种技术，由于其具有沉积速率快、膜层光滑平整、结合强度高等特点，且可以在纯金属或者合金、陶瓷、塑料等各种基材上沉积各种固体材料膜层，使表面获得耐磨损、耐高温、抗氧化或者其他声、光、电等特殊物理性能，所以近几十年来获得飞速发展，在机械、建筑及装饰、耐腐蚀、耐热、润滑及电子工业集成电路等方面得到了极其广泛的应用。离子镀技术中沉积膜层的过程中，高密度等离子体(由电子、离子和中性原子组成，多弧离子镀还可能有熔融液滴)在负偏压电场加速作用下定向运动并对基体进行轰击、注入及镀覆，荷能粒子与基体表面碰撞而发生能量传递，粒子动能转化为热能，在基体上产生能量积累，产生粒子轰击效应。同时，靶材放电过程中，靶功率密度越高，放电区域靶面温度越高，放电面积越大，靶面的热辐射越大。粒子轰击效应和靶面热辐射共同引起基体温升。然而，众所周知，真空镀膜过程中的基体温升，很...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜过程中基体温升的表征方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)以淬火钢作为基体，建立淬火钢在不同温度下发生回火转变的参考系；步骤2)用淬火钢作为基体进行真空镀膜后测膜层与基体界面下方沿纵深方向的组织与性能变化并采用等效对照的思路，得到真空镀膜过程中的基体温升。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜过程中基体温升的表征方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)以淬火钢作为基体，建立淬火钢在不同温度下发生回火转变的参考系；步骤2)用淬火钢作为基体进行真空镀膜后测膜层与基体界面下方沿纵深方向的组织与性能变化并采用等效对照的思路，得到真空镀膜过程中的基体温升...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭腾，景加荣，李灿伦，范秋林，倪俊，
申请(专利权)人：上海卫星装备研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31
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