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一种真空镀膜过程中基体温升的表征方法技术
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文档序号:20235917
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本发明公开了一种真空镀膜过程中基体温升的表征方法,包括以下步骤:以淬火钢作为基体,建立淬火钢在不同温度下发生回火转变的参考系,用淬火钢作为基体进行真空镀膜后测膜层与基体界面下方沿纵深方向的组织与性能变化并采用等效对照的思路,得到真空镀膜过程...
该专利属于上海卫星装备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过上海卫星装备研究所授权不得商用。
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