【技术实现步骤摘要】
工件处理装置、工件输送系统本申请是申请日为2014年11月21日、申请号为201410669762.0、专利技术名称为“工件处理装置、工件输送系统”的申请的分案申请。
本专利技术关于执行工件的定位的工件处理装置等。
技术介绍
现有技术中，使晶圆旋转，并使其边缘位置对应旋转角度加以检测记忆，依据检测讯号的最大值、最小值来计算晶圆位置的偏心量及方向，以依照该偏心数据进行晶圆的中心对正。在设于晶圆的平坦部等的开始点及结束点上，由于边缘位置的变化较其他部分急剧，故藉由将边缘位置数据的变化率达一定程度以上的部分加以计算，并在相同装置上进行使该平坦部等对输送装置等其他作业台而言位于特定位置的作法已为公知技术(例如，参照专利文献1)。【先前技术文献】〔专利文献〕(专利文献1)日本专利第2729297号公报(第1页图1等)
技术实现思路
〔专利技术所欲解决的课题〕透过利用工件输送装置，将使用例如上述现有装置实施定位的工件输送到进行CVD(化学汽相沉积，ChemicalVaporDeposition)或CMP(化学机械抛光，ChemicalMechanicalPolishing)等的装...
【技术保护点】
1.一种工件处理装置，其特征在于，具备：第一旋转距离资讯储存部，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯则为关于从对应该旋转角度的工件旋转中心至边缘为止的距离资讯；合成装置，将包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成；合成处理装置，在前述合成装置将第一距离资讯合成并取得的资讯的多个合成距离资讯中，将对应的旋转角度相连续且值的大小变化较小的多个合成距离资讯进行检测，并取得检测所得的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯及...
【技术特征摘要】
2013.12.02 JP 2013-249159;2014.03.28 JP 2014-067881.一种工件处理装置，其特征在于，具备：第一旋转距离资讯储存部，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯则为关于从对应该旋转角度的工件旋转中心至边缘为止的距离资讯；合成装置，将包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成；合成处理装置，在前述合成装置将第一距离资讯合成并取得的资讯的多个合成距离资讯中，将对应的旋转角度相连续且值的大小变化较小的多个合成距离资讯进行检测，并取得检测所得的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯及与合成前的一个以上第一距离资讯对应的旋转角度；修正资讯取得装置，使用前述合成处理装置所取得的多个第一距离资讯及旋转角度，取得用以使前述工件的旋转中心与前述工件的中心对准的修正资讯；以及修正资讯输出装置，输出前述修正资讯取得装置所取得的修正资讯。2.根据权利要求1所述的工件处里装置，其特征在于，具备：第二距离资讯取得装置，使用前述修正资讯输出装置所输出的修正资讯，取得表示前述工件为边缘无凹凸的圆形时的旋转角度与第二距离资讯的关系的关系式，而该第二距离资讯则为关于与旋转角度相应的工件至边缘的距离的资讯，将与前述多个第一旋转距离资讯对应的多个旋转角度分别代入该取得的关系式，并取得第二距离资讯；计算装置，使用前述多个第一旋转距离资讯及前述第二距离资讯取得装置所取得的多个第二距离资讯，来取得与相同的旋转角度形成对应的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差；以及距离差相关输出装置，输出关于前述计算装置所计算的差的资讯。3.根据权利要求1所述的工件处理装置，其特征在于，前述合成处理装置在前述多个合成距离资讯中，将从值较大者依序检测一个以上合成距离资讯的第一处理及从值较小者依序检测一个以上合成距离资讯的第二处理的至少一个执行1次以上，并在该第一处理及第二处理未受检测的其余合成距离资讯中，取得与对应的旋转角度在预先指定数以上的相连续合成距离资讯的一个以上合成距离资讯对应的合成前多个第一距离资讯、与对应合成前的一个以上第一距离资讯的旋转角度的组对。4.根据权利要求2所述的工件处理装置，其特征在于，前述合成处理装置在前述多个合成距离资讯中，将从值较大者依序检测一个以上合成距离资讯的第一处理及从值较小者依序检测一个以上合成距离资讯的第二处理的至少一个执行1次以上，并在该第一处理及第二处...
【专利技术属性】
技术研发人员：仓桥孝治，宫本玲，川上敦司，崎元直树，
申请(专利权)人：株式会社大亨，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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