一种光电传感器装置及真空镀膜设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光电传感器装置，包括：筒体、视窗件和光电传感器，所述光电传感器设置于所述视窗件背离所述筒体的一侧表面上。因此筒体与真空镀膜设备相连接时，镀膜物质只能穿过筒体内部的通道才能到达视窗件处，绝大部分的镀膜物质会被筒体的内壁吸附，大大地减少镀膜物质积聚于视窗件处，有效延长了光电传感器检测使用时间。本发明专利技术还提供了一种真空镀膜设备，包括一真空腔体，所述真空腔体上配置上述的光电传感器装置，所述筒体远离所述光电传感器的一端与所述真空腔体相连接且与该真空腔体的内部相连通。

【技术实现步骤摘要】
一种光电传感器装置及真空镀膜设备
本专利技术涉及真空镀膜设备
，特别是一种光电传感器装置和一使用该光电传感器装置的真空镀膜设备。
技术介绍
众所周知，真空镀膜设备被广泛应用于现代化工业生产，由于真空设备内部环境的特殊性(例如高温、高洁净度要求、物质低放气率要求等)，检测元件多采用光电传感器。光电传感器将可见光线及红外线等通过发射器进行发射，并通过接收器检测由检测物体反射的光或被遮挡的光量变化，从而获得检测信号。如图1所述，传统的真空镀膜设备包括一真空腔体10’，所述真空腔体10’相对的两侧壁上开设有供光线穿过的视窗件20’，其中一块视窗件20’背离所述真空腔体10’的一侧表面上设置有电光传感器30’，由于真空腔体10’中的镀膜物质在真空腔体10’内以原子、分子或者离子状态进行运动，碰撞到检测光路的视窗件20’时，会有一定概率被吸附到视窗件20’上，长时间后会影响视窗件20’的透光量，从而影响光电传感器30’的检测效果和缩短了光电传感器30’的检测使用时间。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术的目的在于提供一种结构简单，同时可以延长其检测时间的光电传感器装置，还提供了一种可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光电传感器装置，其特征在于，包括：筒体(10)，所述筒体(10)的内部开设有一贯穿整个筒体(10)的通道；视窗件(20)，所述视窗件(20)设置于所述筒体(10)一端的开口处；光电传感器(30)，所述光电传感器(30)设置于所述视窗件(20)背离所述筒体(10)的一侧表面上；所述筒体(10)远离所述光电传感器(30)的一端可与真空镀膜设备相连接。

【技术特征摘要】
1.一种光电传感器装置，其特征在于，包括：筒体(10)，所述筒体(10)的内部开设有一贯穿整个筒体(10)的通道；视窗件(20)，所述视窗件(20)设置于所述筒体(10)一端的开口处；光电传感器(30)，所述光电传感器(30)设置于所述视窗件(20)背离所述筒体(10)的一侧表面上；所述筒体(10)远离所述光电传感器(30)的一端可与真空镀膜设备相连接。2.根据权利要求1所述的一种光电传感器装置，其特征在于：所述筒体(10)邻近所述视窗件(20)的一端处还设置有用于将所述视窗件(20)锁紧于该筒体(10)上的第一锁紧装置。3.根据权利要求2所述的一种光电传感器装置，其特征在于：所述第一锁紧装置包括两块能够将所述视窗件(20)压紧于所述筒体(10)一端的端部上的第一压紧块(41)。4.根据权利要求1或2或3所述的一种光电传感器装置，其特征在于：所述视窗件(20)与所述筒体(10)之间设置有用于密封该视窗件(20)与所述筒体(10)之间的间隙的第一密封圈(51)。5.根据权利要求4所述的一种光电传感器装置，其特征在于：所述筒体(10)的一端处设置用于放置所...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴国敬，邝斌，王志海，陈金良，齐鹏飞，戴春田，
申请(专利权)人：中山瑞科新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44