用于Veeco K465i的清洁平台及其清洁方法技术

本发明专利技术提供一种用于Veeco K465i的清洁平台，用于清洁Veeco K465i设备的尾气管路部件，包含至少两个相同的碱洗槽，用于浸泡尾气管路部件；至少两个相同的纯水水洗槽，用于冲洗尾气管路部件；纯水超声波清洗装置，用于超声波冲洗尾气管路部件；本发明专利技术还提供一种利用所述平台对Veeco K465i的尾气管路进行清洁的方法，包含将对管路部件的拆解、除尘、置于KOH溶液浸泡、使用纯水冲洗、使用纯水超声波清洁、使用氮气吹扫、置于无氧化烤箱烘烤、部件组装等步骤。本发明专利技术的清洁平台结构简单，本发明专利技术的方法具有良好的清洁效果，操作方便，节约了企业对Veeco K465i设备的维护成本。

【技术实现步骤摘要】
用于VeecoK465i的清洁平台及其清洁方法
本专利技术涉及一种对设备的清洁方法，具体涉及一种针对VeecoK465i设备尾气管路的清洁方法。
技术介绍
MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition金属有机化学气相沉积)设备是LED芯片生产过程中最为关键的设备，可用于用于生产高亮度发光二极管(HBLED)。美国Veeco公司的VeecoK465i设备是集“液压、电气、自动控制与一体”的MOCVD精密设备，在市场上占有较大份额。该类设备国内生产技术和国外还有不小差距，尽管单台费用至少上千万，多数企业处於成本和利益考虑，还是购买国外产品。目前VeecoK465i机台，在运行过程中，会有未反应完全的NH3、TMGa、TEGa、TMIn、Cp2Mg、TMAl进入尾气管路，这些气体会有一部分附着在其尾气管路内壁上，随着时间积累，附着物越积越厚，使尾气管路的内径变窄，从而影响到反应室的抽速。目前VeecoK465i设备在做PM(预防性PreventiveMaintenance)维护的时候，只对尾气管路使用清扫真空进行清洁，无法达到最佳清洁效果。请生产厂商进行专业维护的费用高，增加了企业成本。
技术实现思路
本专利技术提供了一种针对VeecoK465i设备尾气管路的清洁平台及其清洁方法，解决尾气管路内径变窄的问题，从而恢复机台反应室的正常抽速。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种用于VeecoK465i的清洁平台，用于除去附着在VeecoK465i设备尾气管路内壁的灰尘，包含一体化设置的：至少两个相同的碱洗槽，用于放置碱性混合溶液，将尾气管路部件置于所述溶液中浸泡；至少两个相同的纯水水洗槽，用于通过纯水冲洗尾气管路部件；纯水超声波清洗装置，包含纯水超声波清洗槽；用于将尾气管路部件放置在所述纯水超声波清洗槽中，通过纯水和超声波进行清洁。所述至少两个相同的碱洗槽相邻设置在所诉平台第一端，所述纯水超声波清洗装置设置在所述清洁平台的另一端，所述至少两个相同的纯水水洗槽相邻的设置在碱洗槽和纯水超声波清洁装置之间。一种用于VeecoK465i的清洁方法，用于除去附着在VeecoK465i设备尾气管路内壁的灰尘，包含步骤：S1、将尾气管路拆解；S2、使用真空清扫设备，吸除拆解的尾气管路部件附着的灰尘；S3、在碱洗槽中注入一定比例的KOH溶液，然后使用不锈钢棒搅拌均匀；拆解的尾气管路的部件置于混合好的KOH溶液的碱洗槽中浸泡，要求KOH溶液液面要完全没过拆解的尾气管路的部件；S4、将浸泡好的尾气管路部件从KOH溶液的碱洗槽中取出，放置纯水清洗槽内，使用纯水反复冲洗；S5、将冲洗好的的尾气管路部件从纯水清洗槽中取出，放置于纯水超声波清洗槽中清洁；S6、取出在纯水超声波清洗槽中的尾气管路部件，使用氮气吹扫干净；S7、将吹干的尾气管路部件置于无氧化烤箱烘烤；S8、将烘烤完毕的尾气管路部件组装起来还原。步骤S3所述的KOH溶液通过在30L纯水中加入300g的KOH配制而成。步骤S4所述的尾气管路部件在KOH溶液中的浸泡时间为4小时。步骤S5所述的使用纯水冲洗尾气管路部件的时间为10分钟。步骤S6所述的尾气管路部件在纯水超声波清洗槽中的清洁时间为6小时。步骤S8所述的无氧化烤箱烘烤的温度为100℃。步骤S8所述的无氧化烤箱烘烤的时间为72小时。S9、将烘烤完毕的尾气管路部件组装起来还原。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点。本方法能够最大程度确保VeecoK465i设备尾气管路的通畅性，从而保证VeecoK465i设备反应室的稳定，解决VeecoK465i设备尾气管路内径变窄的问题，从而恢复机台反应室的正常抽速；进而提高生产产品的稳定性。本专利技术的设备结构简单，本专利技术的方法具有良好的清洁效果，操作方便，节约了企业对VeecoK465i设备的维护成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术技术方案，下面将对描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：图1是本专利技术的用于VeecoK465i的清洁平台示意图。图2是利用本专利技术的清洁平台对VeecoK465i设备尾气管路进行清洁的步骤示意图。图3是VeecoK465i的尾气管路结构示意图；图中：1、碱洗槽；2、水洗槽；3、纯水超声波清洗槽。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术提供了一种用于VeecoK465i的清洁平台，用于除去附着在VeecoK465i设备尾气管路内壁的灰尘，如图1所示，包含一体化设置的：至少两个相同的碱洗槽1，用于放置碱性混合溶液，将尾气管路部件置于所述溶液中浸泡；至少两个相同的纯水水洗槽2，用于通过纯水冲洗尾气管路部件；纯水超声波清洗装置，包含纯水超声波清洗槽3；用于将尾气管路部件放置在所述纯水超声波清洗槽3中，通过纯水和超声波进行清洁。所述至少两个相同的碱洗槽1相邻设置在所诉平台第一端，所述纯水超声波清洗装置设置在所述清洁平台的另一端，所述至少两个相同的纯水水洗槽相邻的设置在碱洗槽1和纯水超声波清洁装置之间。一种用于VeecoK465i的清洁方法，用于除去附着在VeecoK465i设备尾气管路内壁的灰尘，如图2所示，包含步骤：S1、将尾气管路拆解；S2、使用真空清扫设备，吸除拆解的尾气管路部件附着的灰尘；S3、在碱洗槽1中注入一定比例的KOH(氢氧化钾)溶液，然后使用不锈钢棒搅拌均匀；拆解的尾气管路的部件置于混合好的KOH溶液的碱洗槽1中浸泡，要求KOH溶液液面要完全没过拆解的尾气管路的部件；S4、将浸泡好的尾气管路部件从KOH溶液的碱洗槽1中取出，放置水洗槽内，使用纯水反复冲洗；S5、将冲洗好的的尾气管路部件从水洗槽中取出，放置于纯水超声波清洗槽3中清洁；S6、取出在纯水超声波清洗槽3中的尾气管路部件，使用氮气吹扫干净；S7、将吹干的尾气管路部件置于无氧化烤箱烘烤；S8、将烘烤完毕的尾气管路部件组装起来还原。步骤S3所述的KOH溶液通过在30L纯水中加入300g的KOH配制而成。步骤S4所述的尾气管路部件在KOH溶液中的浸泡时间为4小时。步骤S5所述的使用纯水冲洗尾气管路部件的时间为10分钟。步骤S6所述的尾气管路部件在纯水超声波清洗槽3中的清洁时间为6小时。步骤S8所述的无氧化烤箱烘烤的温度为100℃。步骤S8所述的无氧化烤箱烘烤的时间为72小时。图3为VeecoK465i设备尾气管路结构示意图。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点。本方法能够最大程度确保VeecoK465i设备尾气管路的通畅性，从而保证VeecoK465i设备反应室的稳定，解决VeecoK465i设备尾气管路内径变窄的问题，从而恢复机台反应室的正常抽速；进而提高生产产品的稳定性。本专利技术的设备结构简单，本专利技术的方法具有良好的清洁效果，操作方便，节约了企业对VeecoK465i设备的维护成本。以上所述，仅为本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于Veeco K465i的清洁平台，用于除去附着在Veeco K465i设备尾气管路内壁的灰尘，其特征在于，包含一体化设置的：至少两个相同的碱洗槽，用于放置碱性混合溶液，将尾气管路部件置于所述溶液中浸泡；至少两个相同的纯水水洗槽，用于通过纯水冲洗尾气管路部件；纯水超声波清洗装置，包含纯水超声波清洗槽；用于将尾气管路部件放置在所述纯水超声波清洗槽中，通过纯水和超声波进行清洁。

【技术特征摘要】
1.一种用于VeecoK465i的清洁平台，用于除去附着在VeecoK465i设备尾气管路内壁的灰尘，其特征在于，包含一体化设置的：至少两个相同的碱洗槽，用于放置碱性混合溶液，将尾气管路部件置于所述溶液中浸泡；至少两个相同的纯水水洗槽，用于通过纯水冲洗尾气管路部件；纯水超声波清洗装置，包含纯水超声波清洗槽；用于将尾气管路部件放置在所述纯水超声波清洗槽中，通过纯水和超声波进行清洁。2.如权利要求1所述的用于VeecoK465i的清洁平台，其特征在于，所述至少两个相同的碱洗槽相邻设置在所述平台第一端，所述纯水超声波清洗装置设置在所述清洁平台的另一端，所述至少两个相同的纯水水洗槽相邻的设置在碱洗槽和纯水超声波清洁装置之间。3.一种用于VeecoK465i的清洁方法，采用如权利要求1-2中任一项所述的清洁平台除去附着在MOCVD设备尾气管路内壁的灰尘，其特征在于，包含步骤：S1、将尾气管路拆解；S2、使用真空清扫设备，吸除拆解的尾气管路部件附着的灰尘；S3、在碱洗槽中注入一定比例的KOH溶液，然后使用不锈钢棒搅拌均匀；拆解的尾气管路的部件置于混合好的KOH溶液的碱洗槽中浸泡，要求KOH溶液液面要完全没过拆解的尾气管路的部件；S4、将浸泡好的尾气管路部件从...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵明明，
申请(专利权)人：江苏中谷光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32