用于近红外窄带滤光片的AR膜层及滤光片制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于近红外窄带滤光片的AR膜层及滤光片，其中所述AR膜层(1)镀制所述滤光片的玻璃基板(2)上，所述AR膜层(1)包括第一折射率材料层和第二折射率材料层或者包括第一折射率材料层、第二折射率材料层和第三折射率材料；所述第三折射率材料层的折射率大于所述第一折射率材料层折射率，所述第二折射率材料层的折射率大于所述第三折射率材料层的折射率。采用本实用新型专利技术的AR膜层制作滤光片，能够在保证近红外光透过率的情况下，降低膜层厚度，有效改善滤光片的膜层附着力。

AR Films and Filters for Near Infrared Narrow Band Filters

The utility model relates to an AR film layer and a filter for a near infrared narrowband filter, wherein the AR film layer (1) is coated on a glass substrate (2) of the filter, and the AR film layer (1) comprises a first refractive index material layer and a second refractive index material layer or a first refractive index material layer, a second refractive index material layer and a third refractive index material layer. The refractive index of the first refractive index material layer is larger than that of the first refractive index material layer, and the refractive index of the second refractive index material layer is larger than that of the third refractive index material layer. The AR film layer of the utility model is used to make the filter, which can reduce the thickness of the film layer and effectively improve the film adhesion of the filter under the condition of ensuring the near infrared transmittance.

【技术实现步骤摘要】
用于近红外窄带滤光片的AR膜层及滤光片
本技术属于光学传感
，尤其涉及一种用于近红外窄带滤光片的AR膜层。
技术介绍
随着科技的发展，在智能手机、车载激光雷达、安防门禁、智能家居、虚拟现实/增强现实/混合现实、3D体感游戏、3D摄像与显示等终端中逐步嵌入了人脸设备、手势识别等功能。在人脸识别、手势识别时需要用到近红外窄带滤光片，其能起到增透通带中近红外光线，截止环境中可见光的作用。通常近红外窄带滤光片包括两个膜系，分别为IR带通膜系和长波通AR膜系。然而现有技术中滤光片AR膜层对近红外光线的增透效果以及截止可见光的效果较差，同时存在膜系膜层厚度较厚并且膜层附着力较差的问题，从而导致将滤光片组装到人脸识别、手势识别等装置后，成像效果较差、识别精度不高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于近红外窄带滤光片的AR膜层及滤光片，解决现有滤光片的AR膜层结构近红外光增透效果差、膜层附着力差的问题。为实现上述目的，本技术提供一种用于近红外窄带滤光片的AR膜层，所述AR膜层镀制所述滤光片的玻璃基板上，所述AR膜层包括第一折射率材料层和第二折射率材料层或者包括第一折射率材料层、第二折射率材料层和第三折射率材料层；所述第三折射率材料层的折射率大于所述第一折射率材料层折射率，所述第二折射率材料层的折射率大于所述第三折射率材料层的折射率。根据本技术的一个方面，沿远离所述玻璃基板的方向，所述AR膜层的最外层为第一折射率材料层。根据本技术的一个方面，沿着远离所述玻璃基板的方向，所述AR膜层的结构依次为(LH)*q、L，其中，L表示第一折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*q表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置q次，q为大于等于1的整数。根据本技术的一个方面，沿着远离所述玻璃基板的方向，所述AR膜层的结构依次为M、(LH)*k、L，其中M表示第三折射率材料层、L表示第一折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*k表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置k次，k为大于等于1的整数。根据本技术的一个方面，沿着远离所述玻璃基板的方向，所述AR膜层的结构依次为(LH)*n、L、M、(LH)*p、L，其中，L表示第一折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*n表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置n次，n为大于等于0的整数,(LH)*p表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置p次，p为大于等于1的整数。根据本技术的一个方面，所述第二折射率材料层物理厚度与所述第一折射率材料层物理厚度满足关系式：0.05≤DL/DH≤20，所述第三折射率材料层物理厚度与所述第二折射率材料层物理厚度满足关系式：0.02≤DM/DH≤50。根据本技术的一个方面，所述第二折射率材料层为氢化硅层，在800-1200nm波长范围内的折射率大于3，消光系数小于0.002；所述第二折射率材料层在850nm处折射率大于3.6，在940nm处折射率大于3.55。根据本技术的一个方面，所述氢化硅层为溅射反应镀制材料层，溅射温度范围为80-300摄氏度、氢气流量为10-50sccm、溅射速率为0.1nm/s-1nm/s。根据本技术的一个方面，在800-1200nm波长范围内，所述第三折射率材料层的折射率小于4，所述第一折射率材料层的折射率小于3。根据本技术的一个方面，所述AR膜层在350-1200nm波长范围内具有一个通带波段、一个截止波段和一个过渡波段，沿着从350nm至1200nm的方向，所述截止波段、所述过渡波段和所述通带波段顺序排布；所述通带波段的透过率大于90％；所述过渡波段的透过率为0.1％-90％；所述截止波段的透过率小于0.1％。本技术提供一种滤光片，包括玻璃基板和镀制在所述玻璃基板上的AR膜层。根据本技术的一个方案，本技术的AR膜层按照上述方式进行设置，在有效保证近红外光高透过率的同时，由于AR膜层中设置了第三折射率材料层M，相比于现有技术中滤光片的AR膜层，有效降低了总膜层厚度，同时能够改善膜层的附着力。附图说明图1是示意性表示根据技术一种实施方式的AR膜层的结构示图；图2是示意性表示根据技术第二种实施方式的AR膜层的结构示图。图3是示意性表示根据技术第三种实施方式的AR膜层的结构示图。图4是示意性表示实施例1中AR膜层的光线波长透过率曲线图；图5是示意性表示实施例2中AR膜层的光线波长透过率曲线图；图6是示意性表示实施例3中AR膜层的光线波长透过率曲线图；图7是示意性表示实施例4中AR膜层的光线波长透过率曲线图。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在针对本技术的实施方式进行描述时，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”所表达的方位或位置关系是基于相关附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本技术的限制。下面结合附图和具体实施方式对本技术作详细地描述，实施方式不能在此一一赘述，但本技术的实施方式并不因此限定于以下实施方式。图1是示意性表示根据技术一种实施方式的AR膜层的结构示图。如图1所示，本技术的AR膜层1用于镀制近红外窄带滤光片，AR膜层1镀制在玻璃基板2上，玻璃基板1可以采用D263T或者AF32。在本实施方式中，AR膜层1为减反膜层，即增透膜层，可以对特定范围内的波长起到增透作用。AR膜层1镀制在玻璃基板2的下表面上，在玻璃基板2的上表面镀有IR膜层。如图1所示，在本实施方式中，本技术的用于近红外窄带滤光片的AR膜层1包括第一折射率材料层L和第二折射率材料层H，具体来说，沿着远离玻璃基板2的方向，AR膜层1依次包括第一折射率材料层L、第二折射率材料层H和第一折射率材料层L。即在本实施方式中，AR膜层1结构可以表示为(LH)、L，即沿着远离玻璃基板2的方向，AR膜层1共包括两层结构，依次为由第一折射率材料层L和第二折射率材料层H交替镀制而成的第一结构层和最外层的第一折射率材料层L。此外，本技术AR膜层1中的第一结构层中第一折射率材料层L和第二折射率材料层H交替也可以为多次，即AR膜层1结构可以表示为(LH)*q、L，(LH)*q表示第一折射率材料层L和第二折射率材料层H交替设置q次，q可取大于等于1的整数。图2是示意性表示根据技术第二种实施方式的AR膜层的结构示图。如图2所示，在本实施方式中，沿这远离玻璃基板2的方向，本技术的AR膜层1包括第三折射率材料层M、第一折射率材料层L、第二折射率材料层H和最外层第一折射率材料层L，即在本实施方式中，AR膜层1共包括三层结构，依次最内层的第三折射率材料层M、由第一折射率材料层L和第二折射率材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于近红外窄带滤光片的AR膜层，所述AR膜层(1)镀制所述滤光片的玻璃基板(2)上，其特征在于，所述AR膜层(1)包括第一折射率材料层和第二折射率材料层或者包括第一折射率材料层、第二折射率材料层和第三折射率材料层；所述第三折射率材料层的折射率大于所述第一折射率材料层折射率，所述第二折射率材料层的折射率大于所述第三折射率材料层的折射率。

【技术特征摘要】
1.一种用于近红外窄带滤光片的AR膜层，所述AR膜层(1)镀制所述滤光片的玻璃基板(2)上，其特征在于，所述AR膜层(1)包括第一折射率材料层和第二折射率材料层或者包括第一折射率材料层、第二折射率材料层和第三折射率材料层；所述第三折射率材料层的折射率大于所述第一折射率材料层折射率，所述第二折射率材料层的折射率大于所述第三折射率材料层的折射率。2.根据权利要求1所述的AR膜层，其特征在于，沿远离所述玻璃基板(2)的方向，所述AR膜层(1)的最外层为第一折射率材料层。3.根据权利要求2所述的AR膜层，其特征在于，沿着远离所述玻璃基板(2)的方向，所述AR膜层(1)的结构依次为(LH)*q、L，其中，L表示第一折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*q表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置q次，q为大于等于1的整数。4.根据权利要求2所述的AR膜层，其特征在于，沿着远离所述玻璃基板(2)的方向，所述AR膜层(1)的结构依次为M、(LH)*k、L，其中M表示第三折射率材料层、L表示第一折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*k表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置k次，k为大于等于1的整数。5.根据权利要求2所述的AR膜层，其特征在于，沿着远离所述玻璃基板(2)的方向，所述AR膜层(1)的结构依次为(LH)*n、L、M、(LH)*p、L，其中，L表示第一折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*n表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置n次，n为大于等于0的整数,(LH)*p表示第一折射率材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈策，丁维红，肖念恭，陈吉利，
申请(专利权)人：信阳舜宇光学有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41