一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器制造技术

本发明专利技术涉及传感器技术领域，公开了一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器，该集成传感器包括叉指电容式湿度传感器和叉指电容式压力传感器，从上到下依次设置有湿度敏感薄膜、上金属层、柔性基板、中间金属层、介质层、下金属层与封装层，上金属层包括湿度敏感电容，中间金属层包括压力敏感电容，叉指电容式湿度传感器包括湿度敏感薄膜、湿度敏感电容与柔性基板，叉指电容式压力传感器包括柔性基板、压力敏感电容、介质层、下金属层与封装层。上述集成传感器通过将湿度敏感电容、压力敏感电容、两个平板电容与电感连接形成双谐振电路，实现对湿度、压力两个参数的实时无线监测，且两个频率信号互不干扰，测量精度高，能够适应更多环境。

A Flexible Passive Wireless Integrated Humidity and Pressure Sensor

The invention relates to the field of sensor technology, and discloses a flexible passive wireless integrated humidity and pressure sensor. The integrated sensor comprises an interdigital capacitive humidity sensor and an interdigital capacitive pressure sensor. The humidity sensitive film, an upper metal layer, a flexible substrate, an intermediate metal layer, a dielectric layer, a lower metal layer and a packaging layer are arranged from top to bottom, and the upper metal layer includes a humidity sensitive film, an upper metal layer and a lower metal layer. The interdigital capacitive humidity sensor includes humidity sensitive film, humidity sensitive capacitor and flexible substrate. The interdigital capacitive pressure sensor includes flexible substrate, pressure sensitive capacitor, dielectric layer, lower metal layer and packaging layer. By connecting humidity sensitive capacitor, pressure sensitive capacitor and two flat capacitors with inductance, the integrated sensor can realize real-time wireless monitoring of humidity and pressure parameters. The two frequency signals do not interfere with each other, and the measurement accuracy is high. It can adapt to more environments.

【技术实现步骤摘要】
一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器
本专利技术涉及压力传感器领域，尤其涉及一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器。
技术介绍
无线传感器技术的发展对于物联网的建立至关重要。根据传感器的基本结构，无线传感器可以被分为有源无线传感器和无源无线传感器两大基本类别，其中有源无线传感器含有有源器件，且通常需要一个电源提供能量，因而在实际应用上受到一定的限制，而无源无线传感器不含电源或其它任何有源器件，其使用寿命不受电源限制，能够适应更多应用场景下的参数检测，包括但不限于人体内部检测、表皮伤口监测、食品药品包装内部检测等，因而受到学术界的广泛关注。典型的无源无线传感器由一个敏感电容和一个固定电感组成，二者串联形成LC谐振回路，其谐振频率能够被读数线圈无线读取，从而实现对待测参数的无线检测。在某些应用场景下，需要对环境中的多个参数进行同时检测，但当多个LC型无源无线传感器放在一起时，因为各线圈电感之间存在互感干扰，会令各传感器谐振频率发生分裂或偏移，使得读数线圈测得的谐振频率与单个传感器实际频率之间偏差过大，读数失效，因而难以实现多个参数的同时测量。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本专利技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器，其特征在于，所述集成传感器包括叉指电容式湿度传感器和叉指电容式压力传感器，所述集成传感器从上到下依次设置有湿度敏感薄膜、上金属层、柔性基板、中间金属层、介质层、下金属层与封装层，所述上金属层包括湿度敏感电容，所述中间金属层包括压力敏感电容，所述叉指电容式湿度传感器包括所述湿度敏感薄膜、所述湿度敏感电容与所述柔性基板，所述叉指电容式压力传感器包括所述柔性基板、所述压力敏感电容、所述介质层、所述下金属层与所述封装层。

【技术特征摘要】
1.一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器，其特征在于，所述集成传感器包括叉指电容式湿度传感器和叉指电容式压力传感器，所述集成传感器从上到下依次设置有湿度敏感薄膜、上金属层、柔性基板、中间金属层、介质层、下金属层与封装层，所述上金属层包括湿度敏感电容，所述中间金属层包括压力敏感电容，所述叉指电容式湿度传感器包括所述湿度敏感薄膜、所述湿度敏感电容与所述柔性基板，所述叉指电容式压力传感器包括所述柔性基板、所述压力敏感电容、所述介质层、所述下金属层与所述封装层。2.如权利要求1所述的柔性无源无线湿度、压力集成传感器，其特征在于，所述上金属层包括湿度敏感电容、共用上电极、内圈电感与设置于所述内圈电感外周的外圈电感，所述内圈电感的一端设置有内引线、所述内圈电感的另一端与所述外圈电感的一端相连，所述外圈电感的另一端设置有外引线。3.如权利要求2所述的柔性无源无线湿度、压力集成传感器，其特征在于，所述内圈电感与所述外圈电感为平面螺旋电感，所述内圈电感与所述外圈电感的电感大小相等。4.如权利要求1-3中任意一项所述的柔性无源无线湿度、压力集成传感器，其特征在于，所述中间金属层包括压力敏感电容、第一下电极与第二下电极，所述第一下电极与所述第二下电极分别与所述压力敏感电容的一端相连，所述压力敏感电容包括内引线与外引线。5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓文俊，王立峰，董蕾，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32