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本发明涉及传感器技术领域，公开了一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器，该集成传感器包括叉指电容式湿度传感器和叉指电容式压力传感器，从上到下依次设置有湿度敏感薄膜、上金属层、柔性基板、中间金属层、介质层、下金属层与封装层，上金属层包括湿度敏感...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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