用于检测托盘盖开关机构异常的装置和方法制造方法及图纸

本公开提供了一种用于检测托盘盖开关机构异常的装置和方法，其中，所述托盘盖开关机构包括用于吸起托盘盖的一个或多个真空吸附构件，所述装置包括：托盘盖模拟物；附接到所述托盘盖模拟物上的一个或多个吸附性能传感器，用于在所述托盘盖模拟物被吸附时感测各个真空吸附构件的吸附性能，以用于确定所述托盘盖开关机构是否异常。

【技术实现步骤摘要】
用于检测托盘盖开关机构异常的装置和方法
本公开通常涉及半导体器件制造领域，更具体地，涉及一种用于检测托盘盖开关机构异常的装置和方法。
技术介绍
在半导体器件制造领域，对半导体器件进行生产、制造和封装的过程是在大规模流水线上进行的。JEDEC标准托盘(JEDECstandardtray)广泛应用于半导体工业中，该标准托盘通常由托盘底(traybase)和托盘盖(traylid)构成，其中，托盘底中具有用于容纳半导体器件的空间。在工作时，半导体器件被容纳在托盘底中，并加盖有托盘盖。通常，在半导体器件装配过程时，需要托盘盖开关机构来开启托盘盖，将半导体器件放置在托盘底的容纳空间中，然后将托盘盖放回到托盘底以闭合托盘。由于半导体器件非常脆弱，细微的震动和碰撞都可能导致半导体器件的擦伤或损坏而造成产品不合格。如果托盘盖开关机构在开启/闭合托盘盖时托盘盖意外落下，所产生的震动或碰撞也会造成半导体器件擦伤或损坏，因而开启和闭合托盘盖的操作稳定性对于产品质量非常重要。
技术实现思路
本公开提供了一种用于检测托盘盖开关机构异常的装置和方法。利用所述装置和方法，通过附接到托盘盖模拟物上的吸附性能传感器，在托盘盖模拟物被吸附时感测托盘盖开关机构的各个真空吸附构件的吸附性能，以确定托盘盖开关机构是否异常，可以有效地对托盘盖开关机构的操作异常进行诊断，并且能够确定和查明异常原因。根据本公开的一个方面，提供了一种用于检测托盘盖开关机构异常的装置，其中，所述托盘盖开关机构包括用于吸起托盘盖的一个或多个真空吸附构件，所述装置包括：托盘盖模拟物；附接到所述托盘盖模拟物上的一个或多个吸附性能传感器，用于在所述托盘盖模拟物被吸附时感测各个真空吸附构件的吸附性能，以用于确定所述托盘盖开关机构是否异常。可选地，在上述方面的一个示例中，所述装置还包括异常确定单元，用于基于所述各个真空吸附构件的吸附性能感测值来确定所述托盘盖开关机构是否异常。可选地，在上述方面的一个示例中，所述装置还包括：一个或多个感测值显示单元，用于显示所述各个真空吸附构件的吸附性能感测值，以供用户确定所述托盘盖开关机构是否异常。可选地，在上述方面的一个示例中，所述一个或多个吸附性能传感器是可移动的，并且所述吸附性能传感器的数量和位置基于所述托盘盖开关机构中的真空吸附构件的数量和位置来进行调整。可选地，在上述方面的一个示例中，所述装置还包括：一个或多个真空吸附构件位置传感器，用于感测所述托盘盖开关机构中的各个真空吸附构件的位置；以及吸附性能传感器位置调整机构，用于基于所感测到的各个真空吸附构件的位置来调整对应吸附性能传感器在所述托盘盖模拟物上的位置。可选地，在上述方面的一个示例中，所述吸附性能传感器位置调整机构包括与所述吸附性能传感器集成在一起的移动驱动机构，并且所述移动驱动机构与所述一个或多个真空吸附构件位置传感器之间采用无线通信的方式进行通信。可选地，在上述方面的一个示例中，所述托盘盖模拟物至少部分地由钢铁构成，以及所述吸附性能传感器至少部分地由磁铁构成。可选地，在上述方面的一个示例中，所述吸附性能传感器包括真空度传感器或压力传感器。可选地，在上述方面的一个示例中，所述装置还包括：托盘底模拟物，所述托盘底模拟物与所述托盘盖模拟物一起模拟要被所述托盘底开关机构开启和关闭的托盘盒体。可选地，在上述方面的一个示例中，所述托盘盖模拟物被形成为比托盘盖重。根据本公开的另一方面，提供了一种用于检测托盘盖开关机构异常的方法，其中，所述托盘盖开关机构包括用于吸起托盘盖的一个或多个真空吸附构件，所述方法包括：在托盘盖模拟物被所述一个或多个真空吸附构件吸附时，利用附接到所述托盘盖模拟物上的一个或多个吸附性能传感器，感测各个真空吸附构件的吸附性能；以及基于所述各个真空吸附构件的吸附性能感测值来确定所述托盘盖开关机构是否异常。可选地，在上述方面的一个示例中，在托盘该模拟物被所述一个或多个真空吸附构件吸附之前，所述方法还包括：基于所述托盘盖开关机构中的真空吸附构件的数量和位置来调整所述吸附性能传感器的数量和位置。可选地，在上述方面的一个示例中，所述方法还包括：感测所述一个或多个真空吸附构件的位置，以及基于所述托盘盖开关机构中的真空吸附构件的数量和位置来调整所述吸附性能传感器的数量和位置包括：基于所述托盘盖开关机构中的真空吸附构件的数量和所感测到的各个真空吸附构件的位置来调整所述吸附性能传感器的数量和位置。利用本公开的装置和方法，通过附接到托盘盖模拟物上的吸附性能传感器，在托盘盖模拟物被吸附时感测托盘盖开关机构的各个真空吸附构件的吸附性能，以确定托盘盖开关机构是否异常，可以有效地对托盘盖开关机构是否异常进行诊断，有助于确定和查明异常原因以便有针对性地调整托盘盖开关机构。利用本公开的装置和方法，通过基于所述各个真空吸附构件的吸附性能感测值来确定所述托盘盖开关机构是否异常，可以通过标准化的过程准确且量化地确定各个真空吸附构件的吸附性能，查明导致异常的根源以便有针对性地调整托盘盖开关机构。利用本公开的装置和方法，通过显示所述各个真空吸附构件的吸附性能感测值来确定所述托盘盖开关机构是否异常，可以量化且直观地显示各个真空吸附构件的吸附性能，查明导致异常的根源，便于对托盘盖开关机构进行调试。利用本公开的装置和方法，通过基于所述托盘盖开关机构中的真空吸附构件的数量和位置来调整所述吸附性能传感器的数量和位置，能够使得该用于检测托盘盖开关机构异常的装置适配各种规格和配置的托盘和各种流水线工具，能够提高该检测装置的可复用性和检测效率。利用本公开的装置和方法，通过一个或多个真空吸附构件位置传感器，感测所述托盘盖开关机构中的各个真空吸附构件的位置，并且通过吸附性能传感器位置调整机构基于所感测到的各个真空吸附构件的位置来调整对应吸附性能传感器在所述托盘盖模拟物上的位置，能够在检查装置的工作中减少人工对齐相互对应的部件所产生的误差，并且节约试错成本，提高检测装置的工作效率。利用本公开的装置和方法，托盘盖模拟物被形成为比托盘盖重，使得增强对于托盘盖开关机构稳定性的信任度。具体地，使用更重的托盘盖模拟物时，托盘盖开关机构表现为健康且无异常，那么，大规模生产中托盘盖开关机构稳定地吸起常规的托盘盖将更容易。附图说明通过参照下面的附图，可以实现对于本公开内容的本质和优点的进一步理解。在附图中，类似组件或特征可以具有相同的附图标记。图1示出了根据一个实施例的托盘盖开关机构的示意图。图2示出了根据本公开的实施例的用于检测托盘盖开关机构异常的装置的结构框图。图2A示出了根据本公开的实施例的用于检测托盘盖开关机构异常的装置的结构框图。图2B示出了根据本公开的实施例的用于检测托盘盖开关机构异常的装置的结构框图。图3示出了根据本公开的实施例的用于检测托盘盖开关机构异常的方法的流程图。图4示出了根据本公开的实施例的检测托盘盖开关机构异常的示意图。图5示出了根据本公开的实施例的用于检测托盘盖开关机构异常的装置的结构框图。图6示出了根据本公开的实施例的用于检测托盘盖开关机构异常的方法的流程图。附图标记10托盘盖开关机构12托盘101真空吸附构件101-1真空吸附构件101-2真空吸附构件121托盘盖123托盘底20检测装置201托盘盖模拟物203本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于检测托盘盖开关机构异常的装置，其中，所述托盘盖开关机构包括用于吸起托盘盖的一个或多个真空吸附构件，所述装置包括：托盘盖模拟物；附接到所述托盘盖模拟物上的一个或多个吸附性能传感器，用于在所述托盘盖模拟物被吸附时感测各个真空吸附构件的吸附性能，以用于确定所述托盘盖开关机构是否异常。

【技术特征摘要】
1.一种用于检测托盘盖开关机构异常的装置，其中，所述托盘盖开关机构包括用于吸起托盘盖的一个或多个真空吸附构件，所述装置包括：托盘盖模拟物；附接到所述托盘盖模拟物上的一个或多个吸附性能传感器，用于在所述托盘盖模拟物被吸附时感测各个真空吸附构件的吸附性能，以用于确定所述托盘盖开关机构是否异常。2.根据权利要求1所述的装置，还包括：异常确定单元，用于基于所述各个真空吸附构件的吸附性能感测值来确定所述托盘盖开关机构是否异常。3.根据权利要求1所述的装置，还包括：一个或多个感测值显示单元，用于显示所述各个真空吸附构件的吸附性能感测值，以供用户确定所述托盘盖开关机构是否异常。4.根据权利要求1到3中任一所述的装置，其中，所述一个或多个吸附性能传感器是可移动的，并且所述吸附性能传感器的数量和位置基于所述托盘盖开关机构中的真空吸附构件的数量和位置来进行调整。5.根据权利要求4所述的装置，还包括：一个或多个真空吸附构件位置传感器，用于感测所述托盘盖开关机构中的各个真空吸附构件的位置；以及吸附性能传感器位置调整机构，用于基于所感测到的各个真空吸附构件的位置来调整对应吸附性能传感器在所述托盘盖模拟物上的位置。6.根据权利要求5所述的装置，其中，所述吸附性能传感器位置调整机构包括与所述吸附性能传感器集成在一起的移动驱动机构，并且所述移动驱动机构与所述一个或多个真空吸附构件位置传感器之间采用无线通信的方式进行通信。7.根据权利要求4所述的装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈星宇，华雨，
申请(专利权)人：英特尔产品成都有限公司，英特尔公司，
类型：发明
国别省市：四川,51