一种等离子体处理工艺的控制方法技术

本发明专利技术公开了一种等离子体处理工艺的控制方法，包括获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作；本发明专利技术可灵活根据配置的工艺数据，实时控制工艺设备执行相应的工艺操作。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体处理工艺的控制方法
本专利技术涉及控制
，具体来说，涉及一种等离子体处理工艺的控制方法。
技术介绍
等离子体技术是真空处理技术中最常用的方法之一，广泛应用于表面物质的刻蚀和各种薄膜的制备。等离子体处理工艺中，工艺参数多且杂，一个完整的工艺操作过程包括大量的步骤，而每个步骤又包含大量的参数变量，采用传统的数据管理方式修改、增减及存储工艺数据，不够便捷，同时易产生参数设置错误或历史数据无法存储调用等问题。
技术实现思路
为解决现有技术中存在的问题，本专利技术的目的是提供一种等离子体处理工艺的控制方法，可灵活根据配置的工艺数据，实时控制工艺设备执行相应的工艺操作。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种等离子体处理工艺的控制方法，包括获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作；在所述工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息，其中，所述工艺操作状态实时信息包括正在执行的工艺步骤及对应工艺步骤下的实际工艺参数；将所述工艺操作状态实时信息中正在执行的工艺步骤和实际工艺参数，与所述已配置的工艺数据中的工艺步骤和工艺参数，进行对比；根据所述对比结果，反向控制所述工业组态监控设备调整正在执行的工艺操作。优选的，工艺流程参数管理表包括用于数据处理和统计分析的EXCEL表。优选的，工业组态监控设备包括用于从工艺设备获取工艺操作状态实时信息和命令工艺设备执行工艺操作的可编程控制器，以及组态软件。优选的，获取所述工艺组态监控设备根据所述工艺操作状态实时信息生成的至少一个统计图表；通过基于所述OPC协议的数据通讯，将所述获取的至少一个统计图表发送给所述工艺流程参数管理表。一种等离子体处理的工艺控制装置，包括：工艺数据获取模块、工艺操作状态实时信息获取模块、对比模块和控制模块，工艺数据获取模块用于获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；工艺数据发送模块，用于通过基于OPC协议的数据通讯，对所述工艺数据获取模块获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作；工艺操作状态实时信息获取模块，用于在所述工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息，其中，所述工艺操作状态实时信息包括正在执行的工艺步骤及对应工艺步骤下实际工艺参数；对比模块，用于将所述工艺操作状态实时信息中正在执行的工艺步骤和实际工艺参数，与所述已配置的工艺数据中的工艺步骤和工艺参数，进行对比；控制模块，用于根据所述对比结果，反向控制所述工业组态监控设备调整正在执行的工艺操作。本专利技术的有益效果是：本专利技术实施例通过所述工艺流程参数管理表与所述工业组态监控设备间的工艺数据传递，可采用所述工艺流程管理表编辑工艺数据，然后将所述工艺数据发送给所述工业组态监控设备使工艺设备执行对应的工艺操作，提高了等离子体处理中的工艺数据处理能力，可灵活配置工艺数据，进而提高了等离子体处理的产品质量。附图说明图1为本专利技术实施例提供的一种等离子体处理的工艺控制方法的流程示意图；图2为本专利技术实施例提供的一种具体的工艺流程参数管理表；图3为本专利技术实施例提供的另一种等离子体处理的工艺控制方法的流程示意图；图4为本专利技术实施例提供的一种等离子体处理的工艺控制装置的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的另一种等离子体处理的工艺控制装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的实施例进行详细说明。请参见图1，为本专利技术实施例提供的一种等离子体处理的工艺控制方法的流程示意图，所述方法包括：S101：获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；可选的，所述获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，可通过编程语言编写功能块从所述工艺流程参数管理表提供的接口获取工艺数据。所述工艺流程参数管理表可为EXCEL表，表单号Sheetn表示不同批次的工艺数据，行表示执行的工艺步骤，列表示执行每步工艺步骤的工艺参数，根据(表单号，行号，列号)定位并获取所述工艺数据，由所述工艺流程参数管理表对所述工艺数据进行编辑处理。具体的，所述工艺参数包括制备薄膜的温度、气体流量、工艺压力、工艺电源的功率、工艺时间等，所述故障报警参数包括真空压力、温度上升斜率、阀门动作延时间隔等；所述工艺步骤包括放置样品、打开电源、预热、加压、通入工作气体或关闭电源等操作。可选地，请参见图2所示的一种具体的包含工艺数据的工艺流程参数管理表，第一列表示各工艺参数名称，第一行表示各工艺步骤，其他内容表示每种工艺参数在每个工艺步骤中的实际值，如表中在执行工艺步骤step6时，需通入75sccm的SF6气体，60sccm的O2等，在执行步骤step7时，工艺设备的射频功率为1000W。S102：通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作；其中，所述通过基于工业标准OPC(OLEforProcessControlObjectLinkingandEmbedding)协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装即按本端与所述工业组态监控设备之间约定的通信规则或数据格式将所述工艺数据发送给所述工业组态监控设备；然后，所述工业组态监控设备通过相关的驱动接口将所述工艺数据发送给对应的工艺设备；最后，所述工艺设备按照所述工艺数据中包含的工艺步骤和工艺参数执行工艺操作。本专利技术实施例通过实现所述工艺流程参数管理表与所述工业组态监控设备间的工艺数据传递，可由所述工艺流程管理表编辑工艺数据，然后将所述工艺数据发送给所述工业组态监控设备使工艺设备执行对应的工艺操作，提高了等离子体处理中的工艺数据处理能力，灵活配置工艺数据，进而提高了等离子体处理的产品质量。请参见图3，为本专利技术实施例提供的另一种等离子体处理的工艺控制方法的流程示意图，所述方法具体包括：S201：获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；S202：通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作；步骤S201、S202与上述实施例中的S101、S102相同，这里不再详述。S203：在所述工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子体处理工艺的控制方法，其特征在于，包括获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作；在所述工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息，其中，所述工艺操作状态实时信息包括正在执行的工艺步骤及对应工艺步骤下的实际工艺参数；将所述工艺操作状态实时信息中正在执行的工艺步骤和实际工艺参数，与所述已配置的工艺数据中的工艺步骤和工艺参数，进行对比；根据所述对比结果，反向控制所述工业组态监控设备调整正在执行的工艺操作。

【技术特征摘要】
1.一种等离子体处理工艺的控制方法，其特征在于，包括获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作；在所述工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息，其中，所述工艺操作状态实时信息包括正在执行的工艺步骤及对应工艺步骤下的实际工艺参数；将所述工艺操作状态实时信息中正在执行的工艺步骤和实际工艺参数，与所述已配置的工艺数据中的工艺步骤和工艺参数，进行对比；根据所述对比结果，反向控制所述工业组态监控设备调整正在执行的工艺操作。2.根据权利要求1所述的等离子体处理工艺的控制方法，其特征在于，所述工艺流程参数管理表包括用于数据处理和统计分析的EXCEL表。3.根据权利要求1所述的等离子体处理工艺的控制方法，其特征在于，所述工业组态监控设备包括用于从工艺设备获取工艺操作状态实时信息和命令工艺设备执行工艺操作的可编程控制器，以及组态软件。4.根据权利要求1所述的等离子体处理工艺的控制方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：游代华，
申请(专利权)人：游代华，
类型：发明
国别省市：四川,51