致动传感模块制造技术

一种致动传感模块，包含基板、至少一个传感器以及至少一个致动装置，传感器安装于基板上；致动装置安装于基板上，并与基板之间设置至少一信道，且信道位于传感器之一侧，致动装置受驱动而致动压缩传输一流体由通道流出，并通过传感器，以令传感器量测所接收之流体。

【技术实现步骤摘要】
致动传感模块
本案关于一种致动传感模块，尤指一种可应用于电子装置中，以监测环境之致动传感模块。
技术介绍
目前人类在生活上对环境的监测要求愈来愈重视，例如一氧化碳、二氧化碳、挥发性有机物(VolatileOrganicCompound，VOC)、PM2.5等等环境的监测，环境中这些气体暴露会对人体造成不良的健康影响，严重的甚至危害到生命。因此环境监测纷纷引起各国重视，要如何去实施环境监测是目前急需要去重视的课题。可携式之电子装置在现代生活中被广泛使用及应用，也是不可缺的电子装置，因此利用此可携式之电子装置来监测周围环境气体是可行的，若又能实时提供监测信息，警示处在环境中的人，能够实时预防或逃离，避免遭受环境中的气体暴露造成人体健康影响及伤害，所以利用可携式之电子装置来监测周围环境是非常好的应用。然，在电子装置中提供额外传感器来监测环境，虽能向电子装置之用户提供关于该使用者之环境的较多信息，但对于监测敏度、精准之最佳效能就需要去考虑，例如，传感器单靠环境中流体自然流通之引流，不仅无法获取稳定、一致性之流体流通量以进行稳定监测，且环境中流体自然流通之引流要到达接触传感器之监测反应作用时间较长，因此会影响到实时监测之成效。有鉴于此，要如何能够提供解决传感器之监测准度及如何增进传感器之监测反应速度等问题，实为目前迫切需要解决之问题。
技术实现思路
本案之主要目的在于提供一种致动传感模块，由至少一个传感器结合至少一个致动装置所整合的模块设置，致动装置能加快流体产生流通，并提供稳定、一致性之流量，让传感器能获取该稳定、一致性之流体流通量以直接监测，且有效缩短传感器之监测反应作用时间，达成精准之监测。为达上述目的，本案之一较广义实施态样为提供一种致动传感模块，包含：一基板；至少一个传感器，安装于该基板上；以及至少一个致动装置，安装于该基板上，并与该基板之间设置至少一信道，且该信道位于该传感器一侧，该致动装置受驱动而致动压缩一流体，由该通道流出，并通过该传感器，以令该传感器量测所接收之该流体。附图说明图1A所示为本案致动传感器模块之相关构件外观示意图。图1B所示为本案致动传感器模块之相关构件剖面示意图。图2所示为本案致动传感器模块之致动装置采用流体致动器之作动示意图。图3A及图3B所示分别为本案致动传感器模块之致动装置采用流体致动器于不同视角之分解结构示意图。图4所示为第3A及3B图所示之压电致动器之剖面结构示意图。图5所示为本案致动传感器模块之流体致动器之剖面结构示意图。图6A至图6E所示为本案致动传感器模块之致动装置采用流体致动器作动之流程结构图。附图标记说明1：致动传感模块11：基板12：传感器13：致动装置、流体致动器130：第一腔室131：导流板131a：导流孔131b：总线孔131c：中心凹部132：共振片132a：可动部132b：固定部132c：中空孔洞133：压电致动器1331：悬浮板1331a：凸部1331b：第二表面1331c：第一表面1332：外框1332a：第二表面1332b：第一表面1332c：导电接脚1333：支架1333a：第二表面1333b：第一表面1334：压电片1335：空隙134a、134b：绝缘片135：导电片135a：导电接脚h：间隙14：通道具体实施方式体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。请参阅图1A、图1B所示，本案致动传感模块1系应用于一电子装置中，用以监测环境之相关参数，但不以此为限；致动传感模块1主要包括一基板11、至少一个传感器12及至少一个致动装置13。传感器12结合致动装置13整合成模块设置，致动装置13设置于传感器12一侧，并设有至少一个通道14，该致动装置13受驱动而致动产生流体由该通道14流出，并通过传感器12处，以令传感器12上量测所接收之该流体。致动装置13为能将控制讯号转换成具有推动被控系统之动力装置，致动装置13可以包含一电动致动器、一磁力致动器、一热动致动器、一压电致动器及一流体致动器。例如：交直流马达、步进马达等电动致动器，磁性线圈马达等磁力致动器，热泵等热动致动器，压电泵等压电驱动器，气体泵、液体泵等流体致动器，均不以此为限。本案之传感器12可包括像是如以下各者之传感器：温度传感器、挥发性有机化合物传感器(例如，量测甲醛、氨气之传感器)、微粒传感器(例如，PM2.5之微粒传感器)、一氧化碳传感器、二氧化碳传感器、氧气传感器、臭氧传感器、其他气体传感器、湿度传感器、水分传感器、量测水或其他液体中或空气中之化合物及/或生物学物质之传感器(例如，水质传感器)、其他液体传感器，或用于量测环境之光传感器，亦可为该等传感器之任意组合而成之群组，均不以此为限。又请参阅图1A、图1B所示，本案实施例中，致动传感模块1之致动装置13系采用一流体致动器做说明，以下说明以流体致动器13代表本案之致动装置。本案致动传感模块1之基板11即为整合传感器12与流体致动器13之平台，如图1A所示，基板11可为一印刷电路板(PCB)，传感器12与流体致动器13可采以数组安装于上。本案之流体致动器13则可为一压电致动泵之驱动结构，或者一微机电系统(MEMS)泵之驱动结构，均不以此为限。本实施例中，以下就以压电致动泵作流体致动器13之作动说明:请参阅图3A及图3B所示，流体致动器13包括进气板131、共振片132、压电致动器133、绝缘片134a、134b及导电片135等结构，其中压电致动器133对应于共振片132而设置，并使进气板131、共振片132、压电致动器133、绝缘片134a、导电片135及另一绝缘片134b等依序堆栈设置，其组装完成之剖面图系如图5所示。于本实施例中，进气板131具有至少一进气孔131a，其中进气孔131a之数量以4个为较佳，但不以此为限。进气孔131a系贯穿进气板131，用以供流体自装置外顺应外界压力之作用而自该至少一进气孔131a流入流体致动器13之中。进气板131上具有至少一总线孔131b，用以与进气板131另一表面之该至少一进气孔131a对应设置。于总线孔131b的中心交流处系具有中心凹部131c，且中心凹部131c系与总线孔131b相连通，藉此可将自该至少一进气孔131a进入总线孔131b之流体引导并汇流集中至中心凹部131c，以实现流体传递。于本实施例中，进气板131具有一体成型的进气孔131a、总线孔131b及中心凹部131c，且于中心凹部131c处即对应形成一汇流流体的汇流腔室，以供流体暂存。于一些实施例中，进气板131之材质可为例如但不限于不锈钢材质所构成。于另一些实施例中，由该中心凹部131c处所构成之汇流腔室之深度与总线孔131b之深度相同，但不以此为限。共振片132系由一可挠性材质所构成，但不以此为限，且于共振片132上具有一中空孔洞132c，系对应于进气板131之中心凹部131c而设置，以使流体流通。于另一些实施例中，共振片132系可由一铜材质所构成，但不以此为限。压电致动器133系由一悬浮板1331、一外框1332、至少一支架1333以及一压电片1334所共同组装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动传感模块，包含：一基板；至少一个传感器，安装于该基板上；以及至少一个致动装置，安装于该基板上，并与该基板之间设置至少一信道，且该信道位于该传感器一侧，该致动装置受驱动而致动压缩一流体，由该通道流出，并通过该传感器，以令该传感器量测所接收之该流体。

【技术特征摘要】
1.一种致动传感模块，包含：一基板；至少一个传感器，安装于该基板上；以及至少一个致动装置，安装于该基板上，并与该基板之间设置至少一信道，且该信道位于该传感器一侧，该致动装置受驱动而致动压缩一流体，由该通道流出，并通过该传感器，以令该传感器量测所接收之该流体。2.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该流体为气体。3.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该流体为液体。4.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该基板为一印刷电路，该传感器与该流体致动器系以数组安装于其上。5.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一氧气传感器、一一氧化碳传感器及一二氧化碳传感器之至少其中之一任意组合而成之群组。6.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一液体传感器。7.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一温度传感器、一液体传感器、及一湿度传感器至少其中之一任意组合而成之群组。8.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一臭氧传感器。9.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一微粒传感器。10.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一挥发性有机物传感器。11.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一光传感器。12.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该致动装置为一流体致动器。13.如权利要求12所述的致动传感模块，其中该流体致动器为一微机电系统泵。14.如权利要求12所述的致动传感模块，...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，薛达伟，张英伦，余荣侯，张正明，戴贤忠，廖文雄，韩永隆，黄启峰，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71