下载致动传感模块的技术资料

文档序号:20158301

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一种致动传感模块,包含基板、至少一个传感器以及至少一个致动装置,传感器安装于基板上;致动装置安装于基板上,并与基板之间设置至少一信道,且信道位于传感器之一侧,致动装置受驱动而致动压缩传输一流体由通道流出,并通过传感器,以令传感器量测所接收之...
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