采用微波垂直注入激励等离子体发生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种采用微波垂直注入激励等离子体发生装置，包括线圈、等离子体放电腔体、连接法兰、微波窗、气体入口、真空泵组接口；所述线圈为中空结构设计；所述等离子体放电腔体两端为圆台型设计；所述等离子体放电腔体的侧壁上开设有一气体入口；气体入口通过连接法兰与微波窗进行连接；所述等离子体放电腔体的侧壁上还开设有两个真空泵组接口；所述等离子体放电腔体的侧壁上设有六组线圈。本实用新型专利技术利用设有的真空泵组接口抽真空，确保等离子体放电腔体的真空度满足工作条件；通过气体入口向等离子体放电腔体内通入工作气体，线圈通电产生磁场，通过调节通电电流大小改变磁场位型来约束微波馈入激励产生的等离子体。

【技术实现步骤摘要】
采用微波垂直注入激励等离子体发生装置
本技术属于离子源应用
，涉及一种采用微波垂直注入激励等离子体发生装置。
技术介绍
微波注入激励等离子体装置原理主要是电子的回旋共振，当馈入微波频率与电子在磁场中的回旋频率相等时会产生共振，电子获得能量，从而是腔体内的工作气体电离形成等离子体。微波激励的优势在于没有阴极，并且电离度高，形成的等离子体密度高，性能稳定可靠。等离子体装置的研究在离子注入、离子刻蚀、薄膜技术、辐照育种、材料表面改性、离子束沉积等工农业、医学与科研领域都得到了广泛的应用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种采用微波垂直注入激励等离子体发生装置。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：采用微波垂直注入激励等离子体发生装置，包括线圈、等离子体放电腔体、连接法兰、微波窗、气体入口、真空泵组接口；所述线圈为中空结构设计；所述等离子体放电腔体两端为圆台型设计；所述等离子体放电腔体的侧壁上开设有一气体入口；气体入口通过连接法兰与微波窗进行连接；所述等离子体放电腔体的侧壁上还开设有两个真空泵组接口；所述等离子体放电腔体的侧壁上设有六组线圈。所述气体入口开设在等离子体放电腔体的中间位置，两本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.采用微波垂直注入激励等离子体发生装置，其特征在于，包括线圈(1)、等离子体放电腔体(2)、连接法兰(3)、微波窗(4)、气体入口(5)、真空泵组接口(6)；所述线圈(1)为中空结构设计；所述等离子体放电腔体(2)两端为圆台型设计；所述等离子体放电腔体(2)的侧壁上开设有一气体入口(5)；气体入口(5)通过连接法兰(3)与微波窗(4)进行连接；所述等离子体放电腔体(2)的侧壁上还开设有两个真空泵组接口(6)；所述等离子体放电腔体(2)的侧壁上设有六组线圈(1)。

【技术特征摘要】
1.采用微波垂直注入激励等离子体发生装置，其特征在于，包括线圈(1)、等离子体放电腔体(2)、连接法兰(3)、微波窗(4)、气体入口(5)、真空泵组接口(6)；所述线圈(1)为中空结构设计；所述等离子体放电腔体(2)两端为圆台型设计；所述等离子体放电腔体(2)的侧壁上开设有一气体入口(5)；气体入口(5)通过连接法兰(3)与微波窗(4)进行连接；所述等离子体放电腔体(2)的侧壁上还开设有两个真空泵组接口(6)；所述等离子体放电腔体(2)的侧壁上设有六组线圈(1)。2.根据权利要求1所述的采用微波垂直注入激励等离子体发生装置，其特征在于，所述气体入口(5)开设在等离子体放电腔体(2)的中间位置，两个真空泵组接口(6)在竖直方向上分别位于气体入口(5)两侧。3.根据权利要求1所述的采用微波...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈根，陈俞钱，徐世文，杨庆喜，宋云涛，赵燕平，陈永华，黄熙，
申请(专利权)人：合肥中科离子医学技术装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34