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本实用新型公开一种采用微波垂直注入激励等离子体发生装置，包括线圈、等离子体放电腔体、连接法兰、微波窗、气体入口、真空泵组接口；所述线圈为中空结构设计；所述等离子体放电腔体两端为圆台型设计；所述等离子体放电腔体的侧壁上开设有一气体入口；气体入...
该专利属于合肥中科离子医学技术装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥中科离子医学技术装备有限公司授权不得商用。

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