【技术实现步骤摘要】
一种可用于LTPS的玻璃基板及其制备方法
本专利技术涉及玻璃领域,尤其涉及一种可用于LTPS的玻璃基板及其制备方法。
技术介绍
平板显示器广泛应用于平板电视、台式电脑显示器、笔记本电脑、车载显示器、手机、MP4等。传统的平板显示器,主要是液晶显示器。随着市场对显示器更高分辨率、更高亮度的、更低功耗和寿命最大化、低成本的要求,以LTPS-OLED为主的新一代显示器件逐渐被开发出来,在LTPS-OLED显示器面板的制造过程中,需要反复经过一些加热的过程,最高温度高达约600℃。用于传统的TFT-LCD的玻璃基板,应变点大约640℃—660℃,在经受约600℃的温度时,将发生显著的热变形,导致所镀膜的电子单元尺寸达不到要求的精度。基于LTPS-OLED显示器的应用和生产制程的特殊要求,急需开发一种高应变点高弹性模量的玻璃基板。另外,由于在热处理过程中碱金属离子扩散进入沉积半导体材料,损害半导体膜特性,因此也要求新型玻璃应不含碱金属氧化物。在对玻璃的澄清化处理中,如何选用合适的澄清剂,在保证澄清效果的前提下降低毒性也是技术的关键。玻璃组分的改良与制备方法的改进与玻璃性质息 ...
【技术保护点】
1.一种可用于LTPS的玻璃基板,其特征在于,以重量份计,所述玻璃基板包含下列化学成分:氧化硅58‑64%、氧化铝17‑20%、氧化硼1‑3%、氧化镁1‑3%、氧化钙4‑6%、氧化锶1‑3%、氧化钡6‑9%、氧化锆1‑3%和氧化锡0.2‑0.3%。
【技术特征摘要】
1.一种可用于LTPS的玻璃基板,其特征在于,以重量份计,所述玻璃基板包含下列化学成分:氧化硅58-64%、氧化铝17-20%、氧化硼1-3%、氧化镁1-3%、氧化钙4-6%、氧化锶1-3%、氧化钡6-9%、氧化锆1-3%和氧化锡0.2-0.3%。2.根据权利要求1所述的玻璃基板,其特征在于:所述氧化硅和氧化铝的合量不低于玻璃基板总重量的76%。3.根据权利要求2所述的玻璃基板,其特征在于:所述化学成分中,碱土金属氧化物的含量(即氧化镁、氧化钙、氧化锶和氧化钡的合量)不低于玻璃基板总重量的14%。4.根据权利要求3所述的玻璃基板,其特征在于,以重量份计,所述玻璃基板包含下列化学成分:氧化硅60-61%、氧化铝18-20%、氧化硼1-2%、氧化镁2-3%、氧化钙4-5%、氧化锶1-2%、氧化钡7-9%、氧化锆1-2%和氧化锡0.2-0.3%。5.根据权利要求1任项所述的玻璃基板,其特征在于:所述玻璃基板的应变点...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭寿,谢军,陈英,王国全,周小军,何流,崔春风,
申请(专利权)人:成都中光电科技有限公司,东旭集团有限公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
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